Neuartiges Auswerteverfahren für Differentialkondensatoren:
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1997
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I
INHALTSVERZEICHNIS
SEITE
0
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE
III
1
EINLEITUNG
UND
AUFGABENSTELLUNG
1
2
BESCHLEUNIGUNGSMESSUNG
2.1
GRUNDLAGEN
DER
BESCHLEUNIGUNGSMESSUNG
3
2.2
ANWENDUNGSBEISPIELE
FUER
BESCHLEUNIGUNGS-SENSOREN
5
2.3
MESSPRINZIPIEN
FUER
BESCHLEUNGIGUNGSSENSOREN
6
2.3.1
PIEZORESISTIVES
MESSPRINZIP
6
2.3.2
PIEZOELEKTRISCHES
MESSVERFAHREN
7
2.3.3
KAPAZITIVES
MESSVERFAHREN
8
2.3.4
AUSWERTEVERFAHREN
FUER
MESSKAPAZITAETEN
9
2.4
VORSTELLUNG
DES
NEUEN
SIGNALVERARBEITUNGSKONZEPTS
12
3
OSZILLATORGRUNDLAGEN
3.1
OSZILLATORMODELL
14
3.2
OSZILLATOREINTEILUNG
15
3.3
RUECKKOPPLUNGSNETZWERKE
FUER
RC-OSZILLATOREN
17
3.4
AMPLITUDENSTABILISIERUNG
21
3.4.1
AMPLITUDENSTABILISIERUNG
DURCH
NICHTLINEARITAETEN
21
3.4.2
SCHALTUNGSTECHNISCHE
REALISIERUNG
EINER
DEGRESSIVEN
KENNLINIE
22
3.4.3
EXTERNE
REGELUNG
DER
OSZILLATORAMPLITUDE
23
3.4.4
EINFLUSS
EINER
KAPAZITAETSAENDERUNG
AUF
DIE
WIENTEILER
26
4
SYNCHRONISATIONSFORMEN
4.1
NACHLAUFSYNCHRONISATION
29
4.2
MITNAHMESYNCHRONISATION
30
4.3
ANALYSE
GEKOPPELTER
WIEN-ROBINSON-OSZILLATOREN
32
4.3.1
RUNGE-KUTTA-VERFAHREN
33
4.3.2
NAEHERUNGSLOESUNG
FUER
DIE
PHASENDIFFERENZFUNKTION
A9
34
S
ENTWICKLUNG
EINES
SENSOR-PROTOTYPS
5.1
GRUNDLAGEN
37
5.1.1
MATERIALAUSWAHL
FUER
DIE
FESTELEKTRODEN
37
5.1.2
MATERIALAUSWAHL
FUER
DAS
FEDER-MASSE-ELEMENT
38
5.2
SENSORGEOMETRIE
5.2.1
GEOMETRIE
DER
FESTELEKTRODEN
38
5.2.2
GEOMETRIE
DES
FEDER-MASSE-ELEMENTS
SOWIE
DESSEN
OPTIMIERUNG
39
5.3
ENTWICKLUNG
EINES
ZWEITEN
SENSOR-PROTOTYPS
5.3.1
TIEFENAETZUNG
ALS
FERTIGUNGSVERFAHREN
44
5.3.2
ERMITTLUNG
DER
PARAMETER
ZUR
TIEFENAETZUNG
44
5.3.3
AUSWERTUNG
DER
KENNLINIEN
45
5.3.4
DATEN
DES
SENSOR-PROTOTYPS
47
II
INHALTSVERZEICHNIS
6
MESSTECHNISCHE
UNTERSUCHUNG
DES
SENSOR-PROTOTYPS
6.1
STATISCHER
PRUEFSTAND
49
6.2
MECHANISCHE
KENNGROESSEN
DES
FEDER-MASSE-ELEMENTS
50
6.3
BESTIMMUNG
DER
FEDERKONSTANTE
CP
52
6.4
STATISCHE
KENNLINIE
DES
SIGNALVERARBEITUNGSVERFAHRENS
54
6.5
ANALYSE
DER
STATISCHEN
KENNLINIEN
59
6.6
KRAFTKOMPENSATION
62
6.6.1
GRUNDLAGEN
DER
ELEKTROSTATISCHEN
KRAFTKOMPENSATION
62
6.6.2
EINSATZ
DER
ELEKTROSTATISCHEN
KRAFTKOMPENSATION
63
6.6.3
STATISCHE
MESSUNG
65
6.6.4
DYNAMISCHE
MESSUNG
66
6.7
ERFASSUNG
FEHLENDER
SYNCHRONISATION
70
6.7.1
DEMODULATOREN
72
6.7.2
DIGITALE
PHASEN
BZW.
FREQUENZDETEKTOREN
72
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
77
8
LITERATURVERZEICHNIS
79
A
ANHANG
85 |
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