Grundlagen der Kontaktlochfüllung und Planarisierung von sub-mym-Strukturen mit PVD-Aluminium:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
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1997
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INHALT
1.
EINLEITUNG
.
1
2.
GRUNDLAGEN
.
4
2.1
ABSCHATTUNGSEFFEKT
.
4
2.2
WACHSTUM
DUENNER
SCHICHTEN
.
6
2.3
OBERFLAECHENSELBSTDIFFUSION
.
9
3.
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
.
13
3.1
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
13
3.2
AUGER-SPEKTROSKOPIE
.
14
3.3
RASTERKRAFTMIKROSKOPIE
.
15
3.4
ROENTGENBEUGUNG
.
16
3.5
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
18
4.
PROBENHERSTELLUNG
.
19
4.1
KATHODENZERSTAEUBUNG
.
19
4.2
TESTSTRUKTUR
.
22
5.
HERSTELLUNGSPARAMETER
UND
FUELLVERHALTEN
.
24
5.1
SUBSTRATTEMPERATURUNDSTRUKTUR-FUELLMECHANISMUS
.
24
5.1.1
GRABENSTRUKTUREN
UND
GROSSE
KONTAKTLOECHER
.
26
5.1.2
KONTAKTLOECHER
MIT
GROSSEM
ASPEKTVERHAELTNIS
.
28
5.1.3
REAKTIONSZONE
UND
YYTEMPERATURSENSOR
"
.
34
5.2
MODELL
DER
KONTAKTLOCHFUELHMG
.
39
5.3
RESTGASZUSAMMENSETZUNG
.
44
5.3.1
LUFTLECK
.
44
5.3.2
SAUERSTOFFLECK
.
48
5.4
INITIALSCHICHT
-
OBERFLAECHENDIFFUSION
.
53
6.
KANTENBEDECKUNG
.
56
6.1
TIN
ALS
DIFFUSIONSBARRIERE
.
57
6.2
KANTENBEDECKUNG
IM
FRUEHSTADIUM
.
58
6.3
KANTENBEDECKUNG
BEI
HOHEN
TEMPERATUREN
.
59
6.4
WECHSELWIRKUNG
VON
ALSICU
MIT
DER
KANTENBEDECKUNG
.
66
6.4.1
KANTENBEDECKUNG
OHNE
TI-INITIALSCHICHT
.
66
6.4.2
KANTENBEDECKUNG MIT
TI-INITIALSCHICHT
.
69
6.5
RESTGASZUSAMMENSETZUNG
UND
KANTENBEDECKUNG
.
77
7.
ZUSAMMENFASSUNG
.
80
LITERATURVERZEICHNIS
.
83 |
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