Charakterisierung optisch anisotroper Hafniumoxid- und Zirkonoxidschichten:
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1997
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INHALT
INHALT
1 EINLEITUNG.3
1.1 OPTISCHE ANISOTROPIE.3
1.2 MIKROSTRUKTUR OPTISCHER SCHICHTEN.4
1.3 POTENTIELLE ANWENDUNGEN ANISOTROPER SCHICHTEN.6
1.4 INHALT DER ARBEIT. 7
2 ANISOTROPE DIELEKTRISCHE SCHICHTEN.9
2.1 HERSTELLUNG UND MIKROSTRUKTUR. 9
2.2 THEORETISCHE OBERGRENZE DER ANISOTROPIE.13
2.3 MODELL.15
2.3.1 GEOMETRISCHES MODELL.15
2.3.2 ANISOTROPE SCHICHTEN ALS EFFEKTIVE MEDIEN.^7.16
2.3.3 MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG.17
3 PROBENHERSTELLUNG.20
3.1 TECHNISCHE PARAMETER.20
3.2 VERDAMPFUNGSGEOMETRIE. 20
3.3 KEILFORM DER SCHICHTEN. 22
3.4 DOPPELSCHICHTEN ZUR KOMPENSATION DER KEILIGKEIT.23
3.5 LISTEN DER UNTERSUCHTEN PROBEN.26
4 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN.27
4.1 ZIELSETZUNG.27
4.2 TRANSMISSION ZWISCHEN GEKREUZTEN POLARISATOREN.27
4.2.1 MESSMETHODE.27
4.2.2 AUSWIRKUNG BEI VERWENDUNG EINES NAEHERUNGSWERTES FUER DEN
SAEULENWINKEL.29
4.2.3 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE.31
4.3 SPEKTRALPHOTOMETRIE MIT LINEAR POLARISIERTEM LICHT. 33
4.3.1 THEORETISCHE GRUNDLAGEN.33
4.3.2 EXPERIMENTELLE DETAILS UND FEHLERRECHNUNG.35
4.3.3 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE.38
4.4 M-LINIEN-SPEKTROSKOPIE.43
4.4.1 GRUNDLAGEN.43
4.4.2 EXPERIMENTELLER AUFBAU.45
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALT
4.4.3 DATEN RED UKTION.47
4.4.4 EINFLUSS DER GENAUIGKEIT DES SAEULENWINKELS - THEORETISCHE
ABSCHAETZUNG.48
4.4.5 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE.50
4.5 ELLIPSOMETRIE.59
4.5.1 THEORETISCHE GRUNDLAGEN.59
4.5.2 EXPERIMENTELLE DETAILS UND FEHLERRECHNUNG.61
4.5.3 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE.
T.64
5 MIKROSTRUKTUR.68
5.1 UNTERSUCHUNG VON QUERSCHNITTEN
MITTRANSMISSIONS-ELEKTRONEN-MIKROSKOPIE.68
5.2 UNTERSUCHUNG DER OBERFLAECHENSTRUKTUR MIT RASTERKRAFT-MIKROSKOPIE.71
5.3 WINKELAUFGELOESTES STREULICHT (ARS - ANGLE RESOLVED SCATTERING).76
5.3.1 GRUNDLAGEN UND EXPERIMENTELLE DETAILS.76
5.3.2 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE .:.R.~.79
5.4 MECHANISCHE STABILITAET DER SCHICHTEN.82
6 ZUSAMMENFASSENDE DISKUSSION DER ERGEBNISSE.83
6.1 VERGLEICH DER OPTISCHEN MESSMETHODEN.83
6.2 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN ALS FUNKTION DER HERSTELLUN^PARAMETER.85
6.3 MIKROSTRUKTUR DER SCHICHTEN.87
6.4 AUSBLICK.88
ANHANG A: VERZEICHNIS DER VERWENDETEN LITERATUR.I
ANHANG B: VERZEICHNIS DER VERWENDETEN FORMELZEICHEN.V
ANHANG C: SELBSTAENDIGKEITSERKLAERUNG. VIII
ANHANG D: LEBENSLAUF.IX
ANHANG E: DANKSAGUNG.X
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