Optimierung der Meßstrategie zur streulichtspektroskopischen Mikrostrukturanalyse von Schichten durch theoretische Modellierung:
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| Format: | Buch |
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1997
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 1
2 DISTORTED WAVE BORN APPROXIMATION (DWBA) 4
2.1 AUSGANGSLAGE UND BEGRIFFSERKLAERUNG. . 5
2.2 DER MATRIXFORMALISMUS. 7
2.2.1 DIE MAXWELL-GLEICHUNGEN. 7
2.2.2 DIE AUSGANGSGLEICHUNGEN. 10
2.2.3 DIE LOESUNG DER HOMOGENEN GLEICHUNG. 12
2.2.4 DIE LOESUNG DER INHOMOGENEN GLEICHUNG. 15
2.2.5 DER STREUUEBERGANG. 17
2.3 DARSTELLUNG DURCH LOKALE FELDER. 20
2.4 INTENSITAETSBERECHNUNG. 23
3 STATISTIK UND STREUQUELLENBESCHREIBUNG 26
3.1 DIE STATISTISCHE CHARAKTERISIERUNG EINER RAUHEN GRENZFLAECHE. 27
3.1.1 SPEKTRALE LEISTUNGSDICHTE (PSD) UND WINKELAUFGELOESTES STREU
LICHT (ARS). 27
3.1.2 PSD UND RASTERKRAFTMIKROSKOPIE. 30
3.1.3 ABGELEITETE CHARAKTERISIERUNGSGROESSEN. 33
3.1.4 PSD UND INTEGRIERTES STREULICHT . 36
3.2 STREUUNG AN MEHREREN GRENZFLAECHEN. 40
3.3 VOLUMENSTREUUNG. 43
3.3.1 KOLUMNARE SCHICHTSTRUKTUR. 43
3.3.2 GRANULAERE STRUKTUR. 46
I
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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4 STRATEGIEN DER STREUQUEILENANALYSE MITTELS ARS 49
4.1 PHYSIKALISCHES GRUNDKONZEPT. 49
4.2 INTERNE REFLEXIONEN. 51
4.3 RESONANZEN. 56
4.4 ABSORPTION UND DAEMPFUNG. 62
4.5 INTERNE DIPOLINTERFERENZ . 64
5 ANALYSE AN EINEM DOPPELSCHICHTSYSTEM 71
5.1 VORUNTERSUCHUNGEN UND VORGEHENSWEISE. 72
5.2
ERSTE STREULICHT UNTERSUCHUNGEN BEI A = 325NM. 74
5.3 ANALYSE DER LAF
3
-EINZELSCHICHT . 77
5.4 ANALYSE DER DOPPELSCHICHT. 79
6 ZUSAMMENFASSUNG 82
A DAS PROGRAMMPAKET 86
II |
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