Spektroskopische Untersuchungen zur Prozeßoptimierung beim plasmagestützten CVD von Hartstoffschichten:
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Clausthal-Zellerfeld
Papierflieger
1997
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| Edition: | 1. Aufl. |
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| Item Description: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997 |
| Physical Description: | VI, 136 S. Ill., graph. Darst. |
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