Spektroskopische Untersuchungen zur Prozeßoptimierung beim plasmagestützten CVD von Hartstoffschichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Clausthal-Zellerfeld
Papierflieger
1997
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997 |
| Beschreibung: | VI, 136 S. Ill., graph. Darst. |
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