Hierlemann, M. (1997). Simulation der Abscheidung von Silizium- und Silizium-Germanium-Schichten.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hierlemann, Matthias. Simulation Der Abscheidung Von Silizium- Und Silizium-Germanium-Schichten. 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hierlemann, Matthias. Simulation Der Abscheidung Von Silizium- Und Silizium-Germanium-Schichten. 1997.
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