Simulation der Abscheidung von Silizium- und Silizium-Germanium-Schichten:
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1997
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINFUEHRUNG
5
1.1
EINLEITUNG
.
5
1.2
DER
CVD-PROZESS
.
9
1.3
AUFGABENSTELLUNG
.
12
1.4
AUFBAU
DER
ARBEIT
.
16
1.5
LITERATUR
ZU
KAPITEL
1
.
18
2
GRUNDLAGEN
DER
EQUIPMENTSIMULATION
21
2.1
GRUNDGLEICHUNGEN
.
21
2.1.1
FLUIDDYNAMISCHES
MODELL
.
21
2.1.2
MASSENAUSTAUSCH
.
23
2.1.3
RANDBEDINGUNGEN
.
25
2.1.4
THERMODYNAMIK
UND
TRANSPORTEIGENSCHAFTEN
.
25
2.2
REAKTIONSMECHANISMEN
UND
REAKTIONSKINETIK
.
26
2.2.1
GASPHASENREAKTIONEN
.
27
2.2.2
OBERFLAECHENREAKTIONEN
.
31
2.3
SIMULATIONSPROGRAMME
.
32
2.3.1
PHOENICS
.
33
2.3.2
C
HEMKIN
.
34
2.3.3
P
HOE
C
HEM
.
35
2.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
37
2
INHALTSVERZEICHNIS
2.5
LITERATUR
ZU
KAPITEL
2
.
38
3
ABSCHEIDUNG
VON
EPI-SILIZIUM
MIT
DICHLORSILAN
41
3.1
EXPERIMENT
.
42
3.2
MODELLIERUNG
.
45
3.2.1
REAKTIONSMECHANISMUS
.
45
3.2.2
REAKTIONSKINETIK
.
47
3.2.3
KINETISCHE
PARAMETER
.
49
3.3
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
51
3.4
DISKUSSION
DER
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
56
3.5
ZUSAMMENFASSUNG
.
61
3.6
LITERATUR
ZU
KAPITEL
3
.
61
4
ZERLEGUNG
VON
GEH
4
IN
DER
GASPHASE
65
4.1
METHODIK
.
66
4.1.1
AB
INITIO
MOLEKUELORBITALRECHNUNGEN
.
67
4.1.2
BERECHNUNG
THERMODYNAMISCHER
EIGENSCHAFTEN
.
73
4.1.3
BESTIMMUNG
VON
RATENKONSTANTEN
.
74
4.2
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
76
4.2.1
THERMODYNAMIK
.
76
4.2.2
RATENKONSTANTEN
.
81
4.3
REAKTORSIMULATION
.
84
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
88
4.5
LITERATUR
ZU
KAPITEL
4
.
89
5
SII_
X
GE
Z
-HETEROSCHICHTEN
MIT
SIH
4
UND
GEH
4
93
5.1
MODELLIERUNG
.
95
5.2
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
99
5.3
DISKUSSION
DER
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
103
5.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
104
INHALTSVERZEICHNIS
3
5.5
LITERATUR
ZU
KAPITEL
5
.
105
6
SII_
Z
GE
Z
-HETEROSCHICHTEN
MIT
DCS
UND
GEH
107
6.1
EXPERIMENT
.
108
6.2
MODELLIERUNG
.
108
6.3
SIMULATIONSERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
113
6.4
ZUSAMMENFASSUNG
.
117
6.5
LITERATUR
ZU
KAPITEL
6
.
118
7
SCHLUSSBETRACHTUNG
UND
AUSBLICK
119
7.1
SCHLUSSBETRACHTUNG
.
119
7.2
AUSBLICK
.
121
A
NOTATION
123
A.L
SYMBOLE
.
123
A.2
GRIECHISCHE
SYMBOLE
.
125
A.3
OPERATOREN
.
125
A.4
INDIZES
UND
SONSTIGE
KENNZEICHNUNGEN
.
126
A.5
AKRONYME
.
126
B
DAS
RRKM-VERFAHREN
129
B.L
LITERATUR
ZU
ANHANG
B
.
131
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
133
TABELLENVERZEICHNIS
137 |
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