Kinetische Untersuchungen zur katalysierten chemischen Gasphasenabscheidung von monokristallinen Siliciumnitrid-Filamenten:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
KURZFASSUNG
III
1.
EINLEITUNG
1
2.
EXPERIMENTELLES
5
2.1
AUSGANGSMATERIALIEN
5
2.1.1
GASE
5
2.1.2
SILICIUM
5
2.1.3
KATALYSATOREN
5
2.1.4
SUBSTRATMATERIALIEN
6
2.2
VERSUCHSAPPARATUREN
UND
-DURCHFUEHRUNGEN
6
2.2.1
NITRIDIERUNG
DES
SILICIUMS
UND
SYNTHESE
VON
SILICIUMHYDRIDEN
6
2.2.2
FILAMENTSYNTHESE
8
2.3
ANALYTISCHE
METHODEN
10
2.3.1
ELEKTRONENMIKROSKOPIE
UND
-BEUGUNG
10
2.3.2
ELEKTRONENSTRAHLMIKROANALYSE
13
2.3.3
ROENTGENBEUGUNG
14
2.3.4
INFRAROTSPEKTROSKOPIE
15
2.3.5
ZUGFESTIGKEITSMESSUNGEN
15
3.
THERMODYNAMISCHE
BETRACHTUNGEN
17
3.1
VORGEHENSWEISE
17
3.2
BILDUNG
UND
STABILITAET
DER
EDUKTGASE
19
3.3
LOESLICHKEITEN
UND
REAKTIONEN
DER
KATALYSATOREN
VON
26
BZW.
MIT
SILICIUM
UND
STICKSTOFF
3.3.1
LOESLICHKEIT
FUER
SILICIUM
UND
STICKSTOFF
26
3.3.2
STABILITAET
DER
SILICIDE
UND
NITRIDE
31
4.
ERGEBNISSE
34
4.1
PARAMETERSTUDIEN
ZUR
KINETIK
DER
FILAMENTSYNTHESE
34
4.1.1
EINFLUSS
DES
SUBSTRATS
34
4.1.2
EINFLUSS
DER
SILICIUMQUELLE
36
4.1.2.1
BILDUNG
DER
SILICIUMHYDRIDE
36
INHALTSVERZEICHNIS
II
4.1.2.2
VARIATION
DES
WASSERSTOFFVOLUMENSTROMS
43
4.1.2.3
VARIATION
DES
WASSERSTOFFPARTIALDRUCKS
46
4.1.3
EINFLUSS
DER
STICKSTOFFQUELLE
47
4.1.3.1
VARIATION
DES
AMMONIAKVOLUMENSTROMS
47
4.1.3.2
VARIATION
DES
AMMONIAKPARTIALDRUCKS
50
4.1.3.3
VARIATION
DES
AMMONIAK
STICKSTOFF
VOLUMENSTROMS
54
4.1.4
EINFLUSS
DES
KATALYSATORS
56
4.1.4.1
VARIATION
DER
KATALYSATORZUSAMMENSETZUNG
56
4.1.4.2
VARIATION
DES
KATALYSATORDURCHMESSERS
58
4.1.5
VARIATION
DER
REAKTIONSTEMPERATUR
60
4.2
CHARAKTERISIERUNG
DER
FILAMENTE
62
4.2.1
MORPHOLOGIE
62
4.2.2
KRISTALLINITAET
69
4.2.3
MONOKRISTALLINITAET
74
4.2.4
VORZUGSORIENTIERUNG
79
5.DISKUSSION
83
6.LITERATURVERZEICHNIS
92
7.FEHLERBETRACHTUNG
99 |
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