Modifikation der Oberflächeneigenschaften von Polymeren durch Ionenimplantation:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1997
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
1997,5 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1997 |
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MODIFIKATION
DER
OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN
VON
POLYMEREN
DURCH
IONENIMPLANTATION
INHALTSANGABE
1.
EINLEITUNG
.
1
1.1
EINSATZ
DER
IONENIMPLANTATION
.
1
1.2
MOTIVATION
UND
ZIEL
DER
ARBEIT
.
3
2.
GRUNDLAGEN
.
5
2.1
IMPLANTATION
IN
POLYMERE
.
5
2.1.1
ABBREMSMECHANISMEN
.
6
2.1.2
STRAHLENSCHAEDEN
.
7
2.1.3
LONENREICHWEITE
UND
REICHWEITEVERTEILUNG
.
12
2.1.4
AUSWIRKUNGEN
AUF
DIE
STRUKTUR
UND
ZUSAMMENSETZUNG
.
15
2.2
LEITFAEHIGKEIT
VON
POLYMEREN
.
19
2.2.1
DAS
HUEPFMODELL
.
20
2.2.2
DAS
TUNNELMODELL
.
22
2.2.3
BESTIMMUNG
DES
SPEZIFISCHEN
WIDERSTANDES
EINER
IMPLANTIERTEN
SCHICHT
.
23
2.3
OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN
.
25
2.3.1
MIKROHAERTE
.
25
2.3.2
REIBUNG
.
27
2.3.3
VERSCHLEISS
.
30
2.3.4
OBERFLAECHENBENETZUNG
.
33
3.
EXPERIMENTELLE
TECHNIK
.
37
3.1
IONENIMPLANTATION
.
37
3.2
PROBENPRAEPARATION
.
39
3.3
MESSUNG
VON
VERSCHLEISS,
REIBUNG
UND
MIKROHAERTE
.
41
3.4
BESTIMMUNG
DES
OBERFLAECHENWIDERSTANDES
VON
IMPLANTIERTEN
KUNSTSTOFFEN
44
3.4.1
VIER
UND
ZWEISPITZENMESSUNG
.
45
3.4.2
KONTAKTFREIE
SPANNUNGSMESSUNG
.
47
3.5
KONTAKTWINKEL
UND
OBERFLAECHENSPANNUNG
.
51
3.6
UNTERSUCHUNG
VON
AUSGASUNGEN
.
52
3.7
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
BESTIMMUNG
DER
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
.
.
53
4.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
.
55
4.1
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
UND
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE
.
55
4.2
AENDERUNG
DER
ZUSAMMENSETZUNG
UND
STRUKTUR
.
63
4.3
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
DER
MODIFIZIERTEN
SCHICHT
.
79
4.3.1
ABHAENGIGKEIT
DES
WIDERSTANDES
VON
DER
LONENDOSIS
.
79
4.3.2
ABHAENGIGKEIT
DES
WIDERSTANDES
VON
DER
LONENENERGIE
UND
LONENART
.
81
4.3.3
ABHAENGIGKEIT
DES
WIDERSTANDES
VON
DOSISRATE,
MATERIAL
UND
TEMPERATUR
.
89
4.3.4
WIDERSTANDSBESTIMMUNG
MITTELS
KONTAKTLOSER
SPANNUNGSMESSUNG
.
91
4.4
MECHANISCHES
UND
TRIBOLOGISCHES
VERHALTEN
.
95
4.4.1
MIKROHAERTE
.
95
4.4.2
REIBUNG
.
98
4.4.3
VERSCHLEISS
.
101
4.5
AENDERUNG
DER
OBERFLAECHENBENETZUNG
.
108
4.6
EINFLUSS
DER
IONENIMPLANTATION
AUF
DAS
AUSGASVERHALTEN
VON
KUNSTSTOFFEN
.
112
5.
MOEGLICHKEITEN
EINER
TECHNISCHEN
ANWENDUNG
.
115
6.
ZUSAMMENFASSUNG,
WERTUNG
UND
AUSBLICK
.
118
LITERATURVERZEICHNIS
.
123
SCHLAGWORTVERZEICHNIS
.
135
ANHANG
ANHANG
AL:
ERGAENZUNGEN
ZU
DEN
AUSGASUNTERSUCHUNGEN
WAEHREND
DER
IMPLANTATION
.
140
ANHANG
A2:
VOLLSTAENDIGE
ERGEBNISSE
ZUR
KONTAKTFTEIEN
SPANNUNGSMESSUNG
.
142
ANHANG
A3:
WEITERE
VERSCHLEISSMESSUNGEN
AN
KUNSTSTOFFEN
.
144 |
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