Experimentelle Untersuchung einer kapazitiv gekoppelten HF-Entladung in Sauerstoff:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
6
1.1
VORAUSGEHENDE
ARBEITEN
.
7
1.2
MOTIVATION
UND
PROGRAMM
DIESER
ARBEIT
.
9
1.3
DIE
KAPAZITIV
GEKOPPELTE
HF-ENTLADUNG
.
10
2
AUFBAU
DER
ENTLADUNG
13
3
DIAGNOSTIK
17
3.1
LANGMUIR
SONDEN
.
18
3.1.1
DIE
SONDENKENNLINIE
.
.
.
22
3.1.2
AUSWERTUNG
DER
SONDENKENNLINIE
.
26
3.1.3
DIE
DOPPEL-PEAK-STRUKTUR
DER
2.
ABLEITUNG
.
28
3.2
LASER-INDUZIERTES
PHOTODETACHMENT
.
35
4
MODELLIERUNG
DER
ENTLADUNG
.41
4.1
DIE
EEVF
.
.
.
'
.
41
4.2
FLUID-MODELL
DER
IONEN
.
52
4.3
BESTIMMUNG
DER
NEUTRALEN-DICHTEN
.
59
4.4
SELBSTKONSISTENTES
MODELL
DES
BULKS
.
62
5
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
,
69
5.1
DIE
EEVF
.
70
5.2
AXIALE
PROFILE
DER
PLASMAPARAMETER
.
76
5.3
VARIATION
DER
PLASMAPARAMETER
MIT
P,JO
UND
D
.
,
.
84
5.4
RADIALE
STRUKTUR
DER
ENTLADUNG
.
.
91
6
ZUSAMMENFASSUNG
96 |
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