Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
1997
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5919 |
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