Entwicklungsbegleitende Risikobehandlung neuer Technologien: am Beispiel der Physical Vapour Deposition (PVD) Technologie
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Mainz
1997
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Werkstoffwissenschaftliche Schriftenreihe
17 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Habil.-Schr., 1996 |
| Beschreibung: | IV, 178 S. graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
III
1.
EINLEITUNG
1
2.
STAND
DER
ENTWICKLUNG
3
2.1.
UMWELTDISKUSSION
3
2.2.
RISIKOANALYSEN
6
2.2.1
EMPIRISCHE
RISIKOANALYSE
6
2.2.2
PROBALISTISCHE
RISIKOANALYSE
6
2.2.3
QUALITATIVE
RISIKOANALYSE
11
3.
RISIKOLOGISCHER
ANSATZ
13
3.1.
METHODEN
13
3.1.1
KYBERNETIK
13
3.1.2
SYSTEMANALYSE
17
3.1.3
GRUPPENARBEIT
UND
KREATIVITAETSTECHNIKEN
22
3.1.3.1
GRUPPENARBEIT
22
3.1.3.2
KREATIVITAETSTECHNIKEN
24
3.2
VORGEHENSWEISE
UND
VERFAHREN
28
3.2.1
VORBEREITENDE
MASSNAHMEN
29
3.2.1.1
ORGANISATORISCHE
MASSNAHMEN
31
3.2.1.2
AUSWAHL
DER
ZU
BETRACHTENDEN
RISIKEN
32
3.2.2
RISIKOIDENTIFIKATION
33
3.2.2.1
BILANZHUELLEN
FESTLEGEN
35
3.2.2.2
INPUT-OUTPUT
ANALYSE
35
3.2.3
BEWERTUNG
38
3.2.3.1
BEWERTUNGSPROBLEMATIK
38
3.2.3
2
INFORMATIONSBESCHAFFUNG
40
3.2.3.3
GRENZWERTE
40
3.2.3.4
EXPOSITION
UND
WIRKUNGSPOTENTIAL
41
3.2.3.5
AUFHAHMEPFADE
42
3.2.3.OE
WIRKUNG
45
3.2.3.7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
BEWERTUNGSSCHEMA
48
3.2.4
MASSNAHMEN
59
IV
INHALTSVERZEICHNIS
4.
PVD-VERFAHREN
63
4.1.
VERFAHRENSPRINZIPIEN
64
4.2.
SCHICHTBILDUNG
69
4.3.
EIGENSCHAFTEN
VON
PVD-SCHICHTEN
70
5.
RISIKOLOGISCHE
BETRACHTUNG
DER
PVD-TECHNOLOGIE
73
5.1
VORBEREITENDE
MASSNAHMEN
73
5.2
OBJEKTGRUPPE
SUBSTRATREINIGUNG
81
5.3
OBJEKTGRUPPE
BESCHICHTUNG
100
5.4
OBJEKTGRUPPE
ANLAGENREINIGUNG
106
6.
AUSBLICK
129
ANHANG
A
GLOSSAR
131
B
LITERATURVERZEICHNIS
163
C
STOFFLISTE
FUER
KUPFER
175 |
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