Mechanische Spannungen und ihre Wechselbeziehung zu strukturellen und magnetischen Eigenschaften von Tb/Fe-Viellagenschichten:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
I
EINLEITUNG
UND
ZIEL
DER
ARBEIT
I
2
MECHANISCHE
SPANNUNGEN
IN
DUENNEN
SCHICHTEN
5
2.
1
URSACHEN
MECHANISCHER
SPANNUNGEN
5
2.2
MESSMETHODEN
8
2.2.1
TOPOGRAPHIEAENDERUNG
DURCH
ANISOTROPE
SPANNUNGEN
9
2.2.2
TOPOGRAPHIEAENDERUNG
BEI
MAGNETOSTRIKTIONSMESSUNGEN
14
3
MAGNETISCHE
ANISOTROPIE
18
3.
1
MIKROSKOPISCHE
URSACHE
DER
ANISOTROPIE
1
8
3.2
MAKROSKOPISCHE
BESCHREIBUNG
DER
ANISOTROPIE
20
4
MESSSYSTEME
24
4.
1
KAPAZITIVES
MESSSYSTEM
25
4.1.1
AUFBAU
DES
KAPAZITIVEN
MESSSYSTEMS
25
4.1.2
MESSPRINZIP
DES
KAPAZITIVEN
SENSORS
29
4.1.3
AUSWERTUNG
DER
KAPAZITIVEN
MESSUNG
37
4.1.4
ELEKTRONISCHE
KOMPONENTEN
DES
MESSSYSTEMS
41
4.1.5
HERSTELLUNG
DES
DUENNSCHICHTSENSORS
44
4.1.6
KALIBRIERUNG
UND
TESTMESSUNGEN
DES
KAPAZITIVEN
SYSTEMS
48
4.2
PHASENSENSITIVES
MICHELSON-INTERFEROMETER
52
4.2.
1
AUFBAU
DES
PHASENSENSITIVEN
MICHELSON-INTERFEROMETERS
52
4.2.2
MESSPRINZIP
DES
PHASENSENSITIVEN
MICHELSON-INTERFEROMETERS
55
4.2.3
AUSWERTUNG
DER
INTERFEROMETERMESSUNGEN
62
4.2.4
KALIBRIERUNG
UND
TESTMESSUNGEN
DER
INTERFEROMETEREINHEIT
62
4.3
VERGLEICH
BEIDER
MESSSYSTEME
65
II
INHALTSVERZEICHNIS
5
PROBENPRAEPARATION
67
5.
1
FUNKTIONSPRINZIP
DER
KATODENZERSTAEUBUNG
67
5.2 ZERSTAEUBUNGSANLAGE
MIT
FACE-TO-FACE
GEOMETRIE
70
5.3
HERSTELLUNG
UND
AUFBAU
DER
TB/FE-VIELLAGENSCHICHTEN
73
6
MESSERGEBNISSE
UND
INTERPRETATION
79
6.
I
.
SPANNUNGSMESSUNGEN
AN
DEN
TB/FE-VIELLAGENSCHICHTEN
79
6.1.1
VIELLAGENSCHICHTEN
MIT
VERGLEICHBARER
TB-DICKE
79
6.1.2
VIELLAGENSCHICHTEN
MIT
VERGLEICHBARER
PERIODENLAENGE
86
6.1.3
ZUSAMMENFASSUNG
DER
SPANNUNGSMESSUNGEN
89
6.2
STRUKTURELLE
CHARAKTERISIERUNG
DER
TB/FE-VIELLAGENSCHICHTEN
91
6.2.
1
KLEINWINKEL
-
ROENTGENBEUGUNG
(SAXRD)
92
6.2.2
GROSSWINKEL
-
ROENTGENBEUGUNG
(LAXRD)
96
6.2.3
BEUGUNG
SCHNELLER
ELEKTRONEN
(HEED)
103
6.2.4
TRANSMISSIONS
-
ELEKTRONEN
-
MIKROSKOPIE
(TEM)
109
6.2.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
STRUKTURELLEN
MESSUNGEN
111
6.3
MAGNETISCHE
CHARAKTERISIERUNG
DER
TB/FE-VIELLAGENSCHICHTEN
113
6.3.1
VIBRATIONSMAGNETOMETER
(VSM)
-
MESSUNGEN
1
14
6.3.1.1
PROBEN
MIT
REIN
UNIAXIALER
ANISOTROPIE
1
15
6.3.
1
.2
VSM
-
ERGEBNISSE
DER
TB/FE-VIELLAGENSCHICHTEN
11
6
6.3.2
TORSIONSMAGNETOMETER
(TMM)
-
MESSUNGEN
121
6.3.2.
1
PROBEN
MIT
REIN
UNIAXIALER
ANISOTROPIE
122
6.3.2.2
TMM
-
ERGEBNISSE
DER
TB/FE-VIELLAGENSCHICHTEN
126
6.3.3
KERR-EFFEKT
MESSUNGEN
1
35
6.3.3.
1
PROBEN
MIT
REIN
UNIAXIALER
ANISOTROPIE
137
6.3.3.2
ERGEBNISSE
DER
KERR-EFFEKT
MESSUNGEN
140
6.3.3.3
INTERPRETATION
DER
KERR-EFFEKT
MESSUNGEN
144
6.4
ZUSAMMENFASSUNG
DER
MESSERGEBNISSE
153
INHALTSVERZEICHNIS
III
7
MODELLBILDUNG
UND
DISKUSSION
155
7.
1
STABILITAET
DER
AMORPHEN
FE-PHASE
1
56
7.2
STRUKTURMODELL
1
58
7.3
DISKUSSION
DES
STRUKTURELLEN
VERHALTENS
ANHAND
DES
MODELLES
169
7.4
DISKUSSION
DES
MAGNETISCHEN
VERHALTENS
ANHAND
DES
MODELLES
174
8
COMPUTER-SIMULATION
ZUR
STRUKTURBERECHNUNG
179
8.1
FUNKTIONSPRINZIP
DER
COMPUTER-SIMULATION
179
8.2
BERECHNUNG
PHYSIKALISCHER
MESSGROESSEN
AUS
DEN
RELAXIERTEN
MODELLSTRUKTUREN
183
8.2.1
RADIALE
VERTEILUNGSFUNKTION
(RDF)
184
8.2.2
ROENTGENBEUGUNG
(XRD)
185
8.2.3
BEUGUNG
SCHNELLER
ELEKTRONEN
(HEED)
188
8.3
TEST
DES
SIMULATIONSPROGRAMMES
AN
BEKANNTEN
STRUKTUREN
191
9
COMPUTER-SIMULATION
DER
MAGNETISCHEN
EIGENSCHAFTEN
197
9.1
2-SCHICHT-MODELL
198
9.2
ATOMLAGENMODELL
200
9.3
FUNKTIONSPRINZIP
DES
SIMULATIONSPROGRAMMES
202
10
ZUSAMMENFASSUNG
210
A
ANHANG
214
AI
KLEINWINKEL
-
ROENTGENBEUGUNG
AN
RAUHEN
GRENZFLAECHEN
214
A2
SOFTWARE
ZUR
INTERFEROMETEREINHEIT
218
LITERATURVERZEICHNIS
220 |
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