Gate dielectrics and MOS ULSIs: principles, technologies and applications
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hori, Takashi (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Berlin [u.a.] Springer 1997
Schriftenreihe:Springer series in electronics and photonics 34
Schlagworte:
Beschreibung:XIV, 352 S. graph. Darst.
ISBN:3540631828

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