Wachstum und Eigenschaften polykristalliner Siliziumschichten auf Glas:
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Aachen
Shaker
1997
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Berichte aus der Halbleitertechnik
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I
NHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGEN
UND
SYMBOLE.
.
III
ZUSAMMENFASSUNG
.
.VII
1
EINFUEHRUNG.
.
1
2
KRISTALLINE
SILIZIUMSCHICHTEN
FUER
DIE
PHOTOVOLTAIK
.
4
2.1
PRINZIPIELLER
AUFBAU
EINER
DUENNSCHICHT-SILIZIUM-SOLARZELLE
.
5
2.2
ANFORDERUNGEN
AN
KRISTALLISATIONS
UND
DEPOSITIONSVERFAHREN
FUER
POLYKRISTALLINES
SILIZIUM
.
8
2.3
SILIZIUMBAENDER
FUER
DIE
SOLARZELLENHERSTELLUNG
.
9
2.4
SILIZIUMSCHICHTEN
AUF
FREMDSUBSTRATEN
FUER
DIE
PHOTOVOLTAIK
.
15
2.4.1
REKRISTALLISATION
VON
AMORPHEM
ODER
FEINKRISTALLINEM
SILIZIUM
.
16
2.4.2
ABSCHEIDUNG
VON
KRISTALLINEM
SILIZIUM
.
17
2.5
BEURTEILUNG
DER
POTENTIALE
DER
VERFAHREN
.
20
3
EINFUEHRUNG
DER
ABSCHEIDETECHNIKEN
.
25
3.1
FLUESSIGPHASENEPITAXIE
.
26
3.2
CHEMISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
BEI
HOHER
TEMPERATUR
UND
UNTER
ATMOSPHAERENDRUCK
.
29
3.3
LONENASSISTIERTES
AUFDAMPFEN
.
31
3.4
HEISSDRAHT
-
GASPHASENABSCHEIDUNG
.
33
4
ABSCHEIDEPROZESSE
FUER
POLYKRISTALLINE
SILIZIUMSCHICHTEN
.
36
4.1
DER
EINSTUFIGE
PROZESS
.
37
4.2
DER
ZWEISTUFIGE
PROZESS
.
38
4.3
HERSTELLUNG
VON
SAATSCHICHTEN
.
39
II
I
NHALTSVERZEICHNIS
4.3.1
FESTPHASENKRISTALLISATION
AMORPHER
SILIZIUMSCHICHTEN
AUS
DER
NIEDERDRUCK
GASPHASENABSCHEIDUNG
.
39
4.3.2
AL/SI
SAATSCHICHTEN
AUS
DER
LOESUNGSZUECHTUNG
.
40
5
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
DER
ABSCHEIDUNG
VON
POLYKRISTALLINEM
SILIZIUM
.
47
5.1
FLUESSIGPHASENEPITAXIE
(LPE)
.
47
5.1.1
DER
LPE
NIEDERTEMPERATURPROZESS
.
47
5.1.2
DER
LPE
HOCHTEMPERATURPROZESS
.
59
5.1.3
SOLARZELLEN
.
67
5.2
CHEMISCHE
GASPHASENABSCHEIDUNG
BEI
HOHER
TEMPERATUR
(HT-CVD)
.
69
5.3
LONENASSISTIERTES
AUFDAMPFEN
.
72
5.4
HEISSDRAHT-CVD
.
81
5.5
ZUSAMMENFASSUNG
DER
EXPERIMENTELLEN
ERGEBNISSE
.
87
6
WACHSTUMSMECHANISMEN
BEI
DER
DEPOSITION
VON
POLYKRISTALLINEM
SILIZIUM
AUF
GLAS.89
6.1
DIE
KRITISCHE
KEIMGROESSE
BEI
DER
HOMOEPITAXIE
AUF
FEINKRISTALLINEN
SCHICHTEN
.
89
6.2
ENTSTEHUNG
DER
SCHICHTMORPHOLOGIE
.
99
6.2.1
KORNGROESSEN
.
102
6.2.2
MORPHOLOGIE
DER
KOERNER
.
102
6.2.3
GRAEBEN
AN
KOMGRENZEN
.
103
6.2.4
ENTSTEHUNG
VON
VORZUGSORIENTIERUNGEN
.
104
6.3
EPITAKTISCHES
WACHSTUM
.
105
7
ZUSAMMENFASSENDER
VERGLEICH
DER
VIER
ABSCHEIDETECHNIKEN
UND
AUSBLICK
.108
LITERATURVERZEICHNIS
.
113
DANKSAGUNG
.
129
LEBENSLAUF.
.
131 |
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