Fischer, M. (1997). Entwicklung und Charakterisierung elektrostatisch auslenkbarer Torsionsspiegel aus Polysilizium.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Fischer, Markus. Entwicklung Und Charakterisierung Elektrostatisch Auslenkbarer Torsionsspiegel Aus Polysilizium. 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Fischer, Markus. Entwicklung Und Charakterisierung Elektrostatisch Auslenkbarer Torsionsspiegel Aus Polysilizium. 1997.
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