Untersuchung der Konstitution, sowie der mechanischen und optischen Eigenschaften magnetrongesputterter BCN-Filme:
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1997
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| Beschreibung: | Karlsruhe, Univ., Diss., 1997 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG UND PROBLEMSTELLUNG I
2 GRUNDLAGEN
4
2.1 EIGENSCHAFTEN UND ANWENDUNGEN DER KOMPAKTMATERIALIEN 4
2.1.1 DIAMANT 4
2.1.2 C-BN
6
2.1.3 GRAPHIT
7
2.1.4 H-BN G
2.1.5 H-BCN
8
2.2 EIGENSCHAFTEN UND ANWENDUNGEN DER SCHICHTMATERIALIEN 10
2.2.1 KOHLENSTOFF 10
2.2.2 BOMITRID
11
2.2.3 BOROKARBONITRID
1 J
2.3
PVD-BESCHICHTUNGSVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DUENNEN SCHICHTEN 13
2.4 ABHAENGIGKEIT DER KONSTITUTION UND DER SCHICHTEIGENSCHAFTEN VON DEN
SPUTTERPARAMETEM 18
2.4.1 KEIMBILDUNG UND WACHSTUM
18
2.4.2 STRUKTURZONENMODELLE
20
2.4.3 PHASENAUSBILDUNG 24
3 LITERATURUEBERSICHT
28
3.1 KOHLENSTOFFSCHICHTEN 28
3.2 BN-SCHICHTEN
41
3.3 BCN-SCHICHTEN
40
4 EXPERIMENTELLER TEIL
49
4.1 SCHICHTHERSTELLUNG
49
4.1.1 BESCHICHTUNG
49
4.
1.2 TARGETHERSTELLUNG 49
4.
1.3 SUBSTRATE UND VORBEHANDLUNG 50
4.
1.4 BESCHICHTUNGSVORGANG 51
4.2 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
52
4.2
.1 UNTERSUCHUNG DER SCHICHTDICKE 52
4.2.2 UNTERSUCHUNGEN ZUR SCHICHTKONSTITUTION 52
4.2.2
.1 ELEMENTARE ZUSAMMENSETZUNG 52
4.2.2
.2 KRISTALLOGRAPHISCHE STRUKTUR 53
4.2.2.3 KORNGROESSEN
55
4.2.2.4 (BRUCH-)MORPHOLOGIE
56
4.2.2.5 BINDUNGSZUSTAENDE
56
4.2.2.6 HYBRIDISIERUNG 60
II
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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4.2.3 UNTERSUCHUNGEN DER SCHICHTEIGENSCHAFTEN 61
4.2.3.1 ELASTISCHES VERHALTEN 61
4.2.3.2 EIGENSPANNUNGEN 62
4.2.3.3 HAERTE 64
4.2.3.4 ADHAESION 67
4.2.3.5 DICHTE 67
4.2.3
.6 THERMISCHE LEITFAEHIGKEIT 68
4.2.3.7 BRECHUNGSINDEX 69
4.2.3.8 REFLEKTIVITAET 71
4.2.3.9 TRIBOLOGISCHE EIGENSCHAFTEN 71
5 ERGEBNISSE
73
5.1 SCHICHTHERSTELLUNG 73
5.2 SCHICHTCHARAKTERISIERUNG 76
5.2.1 SCHICHTDICKE 76
5.2.2 SCHICHTKONSTITUTION 76
5.2.2.1 ELEMENTARE ZUSAMMENSETZUNG 76
512 2.2 KRISTALLOGRAPHISEHE STRUKTUR 82
5.2.2.3 KORNGROESSEN 87
5.2.2.4 MORPHOLOGIE 89
5.2.2.5 BINDUNGSZUSTAENDE 92
5.2.2.6 HYBRIDISIERUNG 115
5.2.3 SCHICHTEIGENSCHAFTEN 117
5.2.3.1 ELASTISCHES VERHALTEN 117
5.2 3.2 EIGENSPANNUNGEN 118
5.2.3 3 HAERTE 120
5.2.3.4 ADHAESION 122
5.2.3.5 DICHTE 124
5.2.3.6 THERMISCHE LEITFAEHIGKEIT 124
5.2.3.7 BRECHUNGSINDEX 124
5.2.3
.8 REFLEKTIVITAET 126
5.2.3.9 TRIBOLOGISCHE EIGENSCHAFTEN 127
6
DISKUSSION UND AUSBLICK
135
7 LITERATURTEIL
159
III |
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