Gölz, A. (1997). Anwendung der Remote-PECVD-Technologie zur gezielten Verringerung von Defekten in Oxiden auf Siliziumkarbid (Als Ms. gedr.). Shaker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Gölz, Alexander. Anwendung Der Remote-PECVD-Technologie Zur Gezielten Verringerung Von Defekten in Oxiden Auf Siliziumkarbid. Als Ms. gedr. Aachen: Shaker, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Gölz, Alexander. Anwendung Der Remote-PECVD-Technologie Zur Gezielten Verringerung Von Defekten in Oxiden Auf Siliziumkarbid. Als Ms. gedr. Shaker, 1997.
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