Zerstäubung rauher Oberflächen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IV, 112 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011467961 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970804s1997 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 951363247 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)614345415 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011467961 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-703 |a DE-12 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-706 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a UM 5000 |0 (DE-625)145902: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Küstner, Michael |d 1964- |e Verfasser |0 (DE-588)115632778 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Zerstäubung rauher Oberflächen |c vorgelegt von Michael Küstner |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a IV, 112 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Bayreuth, Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Rauigkeit |0 (DE-588)4128988-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Oberfläche |0 (DE-588)4042907-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Grafit |0 (DE-588)4158067-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Beryllium |0 (DE-588)4144824-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zerstäubung |0 (DE-588)4067687-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Oberfläche |0 (DE-588)4042907-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Ionenbestrahlung |0 (DE-588)4335201-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Zerstäubung |0 (DE-588)4067687-0 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Rauigkeit |0 (DE-588)4128988-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Grafit |0 (DE-588)4158067-9 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Rauigkeit |0 (DE-588)4128988-2 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Beryllium |0 (DE-588)4144824-8 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Rauigkeit |0 (DE-588)4128988-2 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007715152&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007715152 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807505229158023168 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
1.1
PROBLEMSTELLUNG
.
1
1.2
ZIELSETZUNG
.
4
2
GRUNDLAGEN
7
2.1
ZERSTAEUBUNG
.
7
2.1.1
PHYSIKALISCHE
ZERSTAEUBUNG
.
7
2.1.2
ANALYTISCHE
THEORIE
.
12
2.1.3
COMPUTERSIMULATION
VON
ZERSTAEUBUNGSPROZESSEN
.
14
2.1.4
CHEMISCHE
EROSION
.
15
2.2
OBERFIAECHENTOPOGRAPHIE
.
16
2.3
BISHERIGE
KONZEPTE
ZUR
BESCHREIBUNG
DER
RAUHIGKEIT
.
18
3
MODELL
ZUR
ZERSTAEUBUNG
RAUHER
OBERFLAECHEN
22
3.1
BESCHREIBUNG
DER
RAUHIGKEIT
.
22
3.1.1
GEOMETRISCHE
EFFEKTE
.
22
3.1.2
LOKALE
EINFALLSWINKELVERTEILUNG
.
26
3.2
ANALYSE
NACH
DEN
LOKALEN
EINFALLSWINKELN
.
27
3.2.1
KONSTRUKTION
DER
OBERFLAECHE
.
27
3.2.2
PROJEKTION
.
29
3.2.3
AUSLESEN
DER
OBERFLAECHE
.
30
3.2.4
VERGLEICH
ZWISCHEN
PROGRAMM
UND
ANALYTISCHER
RECHNUNG
.
33
3.3
REDEPONIERUNGSFRAKTION
.
36
3.3.1
AUFBAU
DES
UNTERPROGRAMMS
ZUR
ERMITTLUNG
DER
REDEPONIERUNG
.
37
3.3.2
VERGLEICH
ZWISCHEN
UNTERPROGRAMM
UND
ANALYTISCHER
RECHNUNG
.
41
3.4
ERWEITERUNG
VON
TRIM.SP
AUF
RAUHE
OBERFLAECHEN
.
45
4
AUSWAHL
DER
MESSPARAMETER
46
4.1
MESSUNG
VON
OBERFLAECHENTOPOGRAPHIEN
.
46
4.1.1
ANFORDERUNGEN
AN
DIE
OBERFLAECHENMESSUNG
.
47
4.1.2
RASTERTUNNELMIKROSKOPIE
.
48
4.1.2.1
MESSPRINZIP
.
48
4.1.2.2
AUFBAU
DES
RTM
.
51
4.1.2.3
MATERIALAUSWAHL
.
51
4.1.2.4
KALIBRIERUNG
DES
RTM
.
54
4.2
ORTSAUFLOESUNG
.
55
4.2.1
MINIMALE
GROESSE
DER
ELEMENTARFLAECHEN
.
56
4.2.2
BESTIMMENDE
PUNKTABSTAENDE
.
59
4.2.2.1
WAVELETS
.
59
4.2.2.2
HOEHENKORRELATION
.
64
4.3
REPRAESENTATIVE
FLAECHE
.
67
5
ERGEBNISSE
71
5.1
HOCHSTROMIONENQUELLE
.
72
5.2
ABSCHAETZUNG
DER
FEHLER
DER
SIMULATIONSRECHNUNG
.
73
5.2.1
FEHLERQUELLEN
IN
DER
RTM-MESSUNG
.
73
5.2.2
FEHLERABSCHAETZUNG
FUER
TRIM.SP
.
74
5.3
AUFRAUHUNG
VON
PYROLYTISCHEM
GRAPHIT
.
75
5.3.1
LONENBESCHUSS
UND
RTM-MESSUNG
.
75
5.3.2
EINFALLSWINKELVERTEILUNGEN
.
78
5.3.3
REDEPONIERUNGSFRAKTION
.
80
5.3.4
ERGEBNISSE
.
82
5.4
VERGLEICH
VERSCHIEDENER
GRAPHITOBERFLAECHEN
.
84
5.4.1
ZERSTAEUBUNGSMESSUNG
.
84
5-4.2
RTM-MESSUNG
.
85
5.4.3
BESTIMMUNG
DER
EINFALLSWINKELVERTEILUNG
UND
DER
REDEPONIERUNGSFRAKTION
.
88
5.4.4
ERGEBNISSE
DER
SIMULATIONSRECHNUNGEN
.
92
5.4.4.1
PYROLYTISCHER
GRAPHIT
.
92
5.4.4.2
ISOTROPER
GRAPHIT
EK98
.
94
5.5
ZERSTAEUBUNG
VON
BERYLLIUM
.
95
5.5.1
RTM-MESSUNG
.
95
5.5.2
VERGLEICH
.
96
6
ZUSAMMENFASSUNG
99 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Küstner, Michael 1964- |
| author_GND | (DE-588)115632778 |
| author_facet | Küstner, Michael 1964- |
| author_role | aut |
| author_sort | Küstner, Michael 1964- |
| author_variant | m k mk |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011467961 |
| classification_rvk | UM 5000 |
| ctrlnum | (OCoLC)614345415 (DE-599)BVBBV011467961 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011467961</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970804s1997 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">951363247</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)614345415</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011467961</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-706</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UM 5000</subfield><subfield code="0">(DE-625)145902:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Küstner, Michael</subfield><subfield code="d">1964-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)115632778</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Zerstäubung rauher Oberflächen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Michael Küstner</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 112 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bayreuth, Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Rauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128988-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Oberfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042907-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Grafit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158067-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beryllium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144824-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zerstäubung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4067687-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Oberfläche</subfield><subfield code="0">(DE-588)4042907-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Ionenbestrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4335201-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Zerstäubung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4067687-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Rauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128988-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Grafit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4158067-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Rauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128988-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Beryllium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144824-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Rauigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128988-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007715152&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007715152</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011467961 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T01:21:53Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007715152 |
| oclc_num | 614345415 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-703 DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-703 DE-12 DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-706 DE-11 DE-188 |
| physical | IV, 112 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Küstner, Michael 1964- Verfasser (DE-588)115632778 aut Zerstäubung rauher Oberflächen vorgelegt von Michael Küstner 1997 IV, 112 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bayreuth, Univ., Diss., 1997 Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd rswk-swf Rauigkeit (DE-588)4128988-2 gnd rswk-swf Oberfläche (DE-588)4042907-6 gnd rswk-swf Grafit (DE-588)4158067-9 gnd rswk-swf Beryllium (DE-588)4144824-8 gnd rswk-swf Zerstäubung (DE-588)4067687-0 gnd rswk-swf Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Oberfläche (DE-588)4042907-6 s Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 s Zerstäubung (DE-588)4067687-0 s Rauigkeit (DE-588)4128988-2 s DE-604 Grafit (DE-588)4158067-9 s Sputtern (DE-588)4182614-0 s Beryllium (DE-588)4144824-8 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007715152&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Küstner, Michael 1964- Zerstäubung rauher Oberflächen Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Rauigkeit (DE-588)4128988-2 gnd Oberfläche (DE-588)4042907-6 gnd Grafit (DE-588)4158067-9 gnd Beryllium (DE-588)4144824-8 gnd Zerstäubung (DE-588)4067687-0 gnd Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4182614-0 (DE-588)4128988-2 (DE-588)4042907-6 (DE-588)4158067-9 (DE-588)4144824-8 (DE-588)4067687-0 (DE-588)4335201-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Zerstäubung rauher Oberflächen |
| title_auth | Zerstäubung rauher Oberflächen |
| title_exact_search | Zerstäubung rauher Oberflächen |
| title_full | Zerstäubung rauher Oberflächen vorgelegt von Michael Küstner |
| title_fullStr | Zerstäubung rauher Oberflächen vorgelegt von Michael Küstner |
| title_full_unstemmed | Zerstäubung rauher Oberflächen vorgelegt von Michael Küstner |
| title_short | Zerstäubung rauher Oberflächen |
| title_sort | zerstaubung rauher oberflachen |
| topic | Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Rauigkeit (DE-588)4128988-2 gnd Oberfläche (DE-588)4042907-6 gnd Grafit (DE-588)4158067-9 gnd Beryllium (DE-588)4144824-8 gnd Zerstäubung (DE-588)4067687-0 gnd Ionenbestrahlung (DE-588)4335201-7 gnd |
| topic_facet | Sputtern Rauigkeit Oberfläche Grafit Beryllium Zerstäubung Ionenbestrahlung Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007715152&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT kustnermichael zerstaubungrauheroberflachen |