Laserdeposition großflächiger YBa 2 Cu 3 O 7 - x-Schichten für Hochfrequenzanwendungen:
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Augsburg
Wißner
1997
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18 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
MATERIALEIGENSCHAFTEN
4
2.1
STRUKTUR
UND
EIGENSCHAFTEN
DES
YBCO
.
4
2.1.1
KRISTALLSTRUKTUR
.
4
2.1.2
PHASEN
.
4
2.1.3
SUPRALEITENDE
EIGENSCHAFTEN
.
5
2.2
SUBSTRATE
.
6
3
LASERABLATION
(PLD)
8
3.1
GRUNDLAGEN
.
8
3.1.1
PRIMAERE
MECHANISMEN
.
9
3.1.2
SEKUNDAERE
MECHANISMEN
.
10
3.1.3
LASERABLATION
UND
SCHICHTWACHSTUM
.
12
3.2
HERSTELLUNG
GROSSFLAECHIGER
YBCO-SCHICHTEN
.
14
3.2.1
PRINZIP
.
14
3.2.2
EXPERIMENTELLES
.
15
4
HOCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN
18
4.1
GRUNDLEGENDE
BEGRIFFE
.
18
4.2
OBERFLAECHENIMPEDANZ
EINES
SUPRALEITERS
.
19
4.2.1
ZWEIFLUESSIGKEITENMODELL
.
19
4.2.2
BCS-OBERFLAECHENWIDERSTAND
.
20
4.2.3
EXTRINSISCHE
BEITRAEGE
.
20
4.2.4
TEMPERATURABHAENGIGKEITEN
.
21
4.2.5
MAGNETFELDABHAENGIGKEITEN
.
21
5
METHODEN
DER
CHARAKTERISIERUNG
23
5.1
INDUKTIVE
BESTIMMUNG
VON
T
C
UND
J
C
.
23
5.2
ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
(XRD)
.
24
5.3
RBS/CHANNELING
.
26
5.3.1
ALLGEMEINES
.
26
5.3.2
AUSWERTUNG
VON
RBS-SPEKTREN
.
27
5.3.3
CHANNELING
.
29
5.4
HF-RESONATOR-MESSUNGEN
.
30
5.4.1
ALLGEMEINES
.
30
5.4.2
DIELEKTRISCHER
RESONATOR
.
32
II
INHALTSVERZEICHNIS
6
ERGEBNISSE
UND
DISKUSSION
34
6.1
HOMOGENITAETSEIGENSCHAFTEN
.
34
6.1.1
STRUKTUR
.
34
6.1.1.1
XRD-ANALYSE
VON
YBCO-SCHICHTEN
AUF
(LOO)LAALOS
.
35
6.1.1.2
CHANNELING-MESSUNGEN
AN
YBCO//(100)LAA10A
.
37
6.1.1.3
XRD-ANALYSE
VON
YBCO-SCHICHTEN
AUF
(LOO)MGO
.
37
6.1.1.4
CHANNELING-MESSUNGEN
AN
YBCO//(100)MGO
.
39
6.1.2
STOECHIOMETRIE
UND
SCHICHTDICKE
.
40
6.1.2.1
YBCO//(100)LAALO
3
.
41
6.1.2.2
YBCO//(100)MGO
.
42
6.1.3
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
43
6.2
EINFLUESSE
DER
HERSTELLUNGSPARAMETER
.
44
6.2.1
SAUERSTOFFDRUCK
.
45
6.2.2
TARGET-SUBSTRAT-ABSTAND
.
48
6.2.3
STRAHLHOMOGENITAET
UND
TARGET-EIGENSCHAFTEN
.
50
6.2.4
MONTE-CARLO-SIMULATIONEN
.
52
6.2.5
DISKUSSION
.
57
6.2.5.1
EINFLUSS
DES
SAUERSTOFFDRUCKS
.
57
6.2.5.2
EINFLUSS
DES
TARGET-SUBSTRAT-ABSTANDS
.
61
6.3
KORRELATIONEN
.
63
6.4
HOCHFREQUENZEIGENSCHAFTEN
.
69
6.4.1
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
VON
RS
.
69
6.4.2
LEISTUNGSABHAENGIGKEIT
DES
OBERFLAECHENWIDER
STANDS
71
6.4.3
DISKUSSION
.
72
7
ZUSAMMENFASSUNG
78
A
DANKSAGUNG
80
B
SIMULATIONSPROGRAMM
PLDSIM
81
B.L
KLASSENDEFINITIONEN
.
81
B.1.1
BASISKLASSEN
.
81
B.L.
2
ABGELEITETE
KLASSEN
.
83
B.2
ABLAUF
DER
SIMULATION
.
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