Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Potsdam, Univ., Diss., 1996 |
| Beschreibung: | 101 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011410311 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20000720 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970625s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 950584991 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)632748242 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011410311 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-355 | ||
| 100 | 1 | |a Fischer, Gerhard Gottlob |d 1966- |e Verfasser |0 (DE-588)115435840 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen |c von Gerhard Gottlob Fischer |
| 264 | 1 | |c 1996 | |
| 300 | |a 101 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Potsdam, Univ., Diss., 1996 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgendiffraktometrie |0 (DE-588)4336833-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kohlenstoff |0 (DE-588)4164538-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Temperaturbeständigkeit |0 (DE-588)4184690-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Germanium |0 (DE-588)4135644-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Temperaturbeständigkeit |0 (DE-588)4184690-4 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Röntgendiffraktometrie |0 (DE-588)4336833-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Kohlenstoff |0 (DE-588)4164538-8 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Heterostruktur |0 (DE-588)4123378-5 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Temperaturbeständigkeit |0 (DE-588)4184690-4 |D s |
| 689 | 1 | 4 | |a Röntgendiffraktometrie |0 (DE-588)4336833-5 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007671170&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007671170 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812453328492167168 |
|---|---|
| adam_text |
1
INHALTSVERZEICHNIS
ABKUERZUNGEN UND SYMBOLE . 3
1 EINLEITUNG .6
2 RELAXATION VON SPANNUNGEN IN HETEROEPITAKTISCHEN SCHICHTSYSTEMEN .10
2.1 ELASTISCHE VERZERRUNG DER VERSPANNTEN SI,.
XGE*/SI- UND SI^CY/SI- SCHICHTEN .10
2.2 PLASTISCHE RELAXATION .12
2.2.1 UEBERSCHUSSSPANNUNG .12
2.2.2 THEORETISCHE MODELLE ZUR D
YNAMIK DER PLASTISCHEN RELAXATION .14
2.3 INTERDIFLUSION . 20
2.4 SPANNUNGSABBAU IN SI^C/SI-SCHICHTEN .21
3 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGSMETHODEN
.25
3.1 ROENTGEH-DIFLRAKTOMETRIE .25
3.2 AUSWERTUNGSVERFAHREN .26
3.2.1 BESTIMMUNG VON GE-KONZENTRATION UND GRAD DER PLASTISCHEN
RELAXATION .26
3.2.2 S
IMULATION VON DEFORMATIONSPROFILAI .30
3.2.3 BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKEN .31
3.3 ANDERE METHODEN .32
4 HERSTELLUNG, WAERME- UND HOCHDRUCKBEHANDLUNG DER PROBEN
.35
4.1 LP/RTCVD- UND MBE-VERFAHREN .35
4.2 TEMPERUNG .36
4.3 HOCHDRUCKKAMMER .37
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/950584991
2
5 EXPERIMENTELLE ERGEBNISSE UND AUSWERTUNG
.38
5.1 TEMPERATURRAMPEN AN SI^GE^I-SCHICHTEN .38
5.1.1 THERMISCHE SPANNUNGEN BEIM AUFLIEIZEN .38
5.1.2 PLASTISCHE RELAXATION BEIM AUIHEIZEN .41
5.2 KINETIK DER PLASTISCHEN RELAXATION .46
5.2.1 SIMULATION MIT DER HULL-DIFLERENTIALGLEICHUNG .47
5.2.2 VERGLEICH VON SIMULATION UND EXPERIMENT (GOSLING-MODELL) .52
5.2.3 SIMULATION WEITERER EXPERIMENTELLER RESULTATE .56
5.2.4 DISKUSSION DES MODIFIZIERTEN GOSLING-MODELLS .62
5.3 SI^GE^SI-SCHICHTEN BEI HOHEN TEMPERATUREN UND UNTER HOHEM
HYDROSTATISCHEN DRUCK .65
5.4 HOCHTEMPERATURVERHALTEN DER SI^CY/SI-SCHICHTEN .72
5.4.1
IN SITU
UNTERSUCHUNGEN .72
5.4.2 EX .S/TU MESSUNGEN . 81
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK
.92
LITERATUR
.95
VEROEFFENTLICHUNGEN
100 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Fischer, Gerhard Gottlob 1966- |
| author_GND | (DE-588)115435840 |
| author_facet | Fischer, Gerhard Gottlob 1966- |
| author_role | aut |
| author_sort | Fischer, Gerhard Gottlob 1966- |
| author_variant | g g f gg ggf |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011410311 |
| ctrlnum | (OCoLC)632748242 (DE-599)BVBBV011410311 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011410311</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20000720</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970625s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">950584991</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)632748242</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011410311</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fischer, Gerhard Gottlob</subfield><subfield code="d">1966-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)115435840</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen</subfield><subfield code="c">von Gerhard Gottlob Fischer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">101 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Potsdam, Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgendiffraktometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4336833-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4164538-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Temperaturbeständigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184690-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Germanium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4135644-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Temperaturbeständigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184690-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Röntgendiffraktometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4336833-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Kohlenstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4164538-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Heterostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4123378-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Temperaturbeständigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184690-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="4"><subfield code="a">Röntgendiffraktometrie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4336833-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007671170&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007671170</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011410311 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:09:46Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007671170 |
| oclc_num | 632748242 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR |
| physical | 101 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| record_format | marc |
| spelling | Fischer, Gerhard Gottlob 1966- Verfasser (DE-588)115435840 aut Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen von Gerhard Gottlob Fischer 1996 101 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Potsdam, Univ., Diss., 1996 Germanium (DE-588)4135644-5 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Röntgendiffraktometrie (DE-588)4336833-5 gnd rswk-swf Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd rswk-swf Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd rswk-swf Temperaturbeständigkeit (DE-588)4184690-4 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Germanium (DE-588)4135644-5 s Heterostruktur (DE-588)4123378-5 s Temperaturbeständigkeit (DE-588)4184690-4 s Röntgendiffraktometrie (DE-588)4336833-5 s DE-604 Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007671170&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Fischer, Gerhard Gottlob 1966- Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Röntgendiffraktometrie (DE-588)4336833-5 gnd Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd Temperaturbeständigkeit (DE-588)4184690-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4135644-5 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4336833-5 (DE-588)4123378-5 (DE-588)4164538-8 (DE-588)4184690-4 (DE-588)4113937-9 |
| title | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen |
| title_auth | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen |
| title_exact_search | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen |
| title_full | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen von Gerhard Gottlob Fischer |
| title_fullStr | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen von Gerhard Gottlob Fischer |
| title_full_unstemmed | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen von Gerhard Gottlob Fischer |
| title_short | Röntgendiffraktometrische Untersuchungen zur thermischen Stabilität von Si1tn11tn-1tnxGe1tnx/Si- und Si1tn11tn-1tnyC1tny/Si-Heterostrukturen |
| title_sort | rontgendiffraktometrische untersuchungen zur thermischen stabilitat von si1tn11tn 1tnxge1tnx si und si1tn11tn 1tnyc1tny si heterostrukturen |
| topic | Germanium (DE-588)4135644-5 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Röntgendiffraktometrie (DE-588)4336833-5 gnd Heterostruktur (DE-588)4123378-5 gnd Kohlenstoff (DE-588)4164538-8 gnd Temperaturbeständigkeit (DE-588)4184690-4 gnd |
| topic_facet | Germanium Silicium Röntgendiffraktometrie Heterostruktur Kohlenstoff Temperaturbeständigkeit Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007671170&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT fischergerhardgottlob rontgendiffraktometrischeuntersuchungenzurthermischenstabilitatvonsi1tn11tn1tnxge1tnxsiundsi1tn11tn1tnyc1tnysiheterostrukturen |