Berührungslose Gestaltvermessung von Mikrostrukturen durch Fokussuche: = Profilometry of microstructures by depth from focus techniques
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Pfinztal
ICT
1997
|
| Schriftenreihe: | Fraunhofer-Institut für Chemische Technologie <Pfinztal>: Wissenschaftliche Schriftenreihe des ICT
13 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997 |
| Beschreibung: | 186 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
.
23
1.1
MOTIVATION
-
AUFGABENSTELLUNG
.
23
1.2
LOESUNGSMOEGLICHKEITEN
-
STAND
DER
TECHNIK
.
26
1.2.1
SONDENVERFAHREN
.
26
1.2.2
TRIANGULATIONSVERFAHREN
.
26
1.2.3
INTERFEROMETRISCHE
VERFAHREN
.
27
1.2.4
LAUFZEITVERFAHREN
.
28
1.2.5
FOKUSSUCHENDE
VERFAHREN
.
29
2.
THEORETISCHE
GRUNDLAGEN
.
31
2.1
SYSTEMTHEORIE
.
33
2.2
OPTIK
.
35
2.2.1
ABBILDUNGSPERSPEKTIVEN
.
35
2.2.2
GEOMETRISCHE
OPTIK
-
STRAHLENMODELL
.
36
2.2.3
KOHAERENTES
UND
INKOHAERENTES
LICHT
.
39
2.2.4
WELLENOPTIK
-
BEUGUNGSMODELL
.
42
2.2.5
UEBERTRAGUNGSFUNKTIONEN
BEI
DEFOKUSSIERTEN
SYSTEMEN
.
45
2.2.6
ABBILDUNGSFEHLER
.
57
2.3
KONFOKALES
PRINZIP
.
59
2.3.1
LATERALE
AUFLOESUNG
.
60
2.3.2
AXIALE
AUFLOESUNG
.
61
2.4
DIGITALE
BILDVERARBEITUNG
.
63
2.4.1
BILDABTASTUNG
.
64
2.4.2
LINEARE
FILTERUNG
.
67
2.4.3
NICHTLINEARE
FILTERUNG
.
68
2.5
FUZZY-LOGIK
.
:
.
69
2.5.1
UNSCHARFE
MENGEN,
ZUGEHOERIGKEITSFUNKTION
.
69
2.5.2
LINGUISTISCHE
VARIABLE
.
71
2.5.3
FESTLEGUNG
DER
TERMANZAHL
.
72
2.5.4
OPERATOREN
DER
FUZZY
LOGIK
.
72
2.5.5
ENTWURF
EINES
FUZZY-CONTROLLERS
.
73
3.
GESTALTVERMESSUNG
DURCH
FOKUSSUCHE
.
77
3.1
FUNKTIONSPRINZIP
.
80
3.2
APPARATIVER
AUFBAU
.
82
3.2.1
MIKROSKOP
.
84
16
3.2.2
KAMERA
.
85
3.2.3
DIGITALISIERUNG
.
86
3.2.4
SIGNALVERARBEITUNG
.
87
3.3
MESSABLAUF
.
88
3.3.1
AUSSTEUERUNG
DER
SIGNALSTRECKE
.
88
3.4
KONTRASTBERECHNUNG
.
90
3.4.1
DER
LAPLACEOPERATOR
.
92
3.4.2
MODIFIZIERTER
SOBELOPERATOR
.
93
3.5
AKTIVE
BELEUCHTUNG
.
97
3.5.1
PERIODISCHE
MUSTER
.
98
3.5.2
STOCHASTISCHE
MUSTER
.
106
3.5.3
NAEHERUNGSFORMELN
FUER
DEN
VERLAUF
DER
HALBWERTSTIEFE
.
112
3.5.4
LATERALE
AUFLOESUNG
.
113
3.5.5
EINFLUSS
MONOCHROMATISCHER
ABBILDUNGSFEHLER
AUF
DEN
KONTRAST
VERLAUF
.
114
3.5.6
EINFLUSS
CHROMATISCHER
ABBILDUNGSFEHLER
AUF
DEN
KONTRASTVERLAUF
117
3.5.7
DIE
HALBWERTSTIEFEN
DER
BELEUCHTUNGSMUSTER
IM
VERGLEICH
.
120
3.6
EINFLUSS
DER
OPTISCHEN
OBJEKTEIGENSCHAFTEN
.
122
3.7
REKONSTRUKTION
DER
OBJEKTOBERFLAECHE
.
125
3.7.1
TELEZENTRISCHE
ABBILDUNG
.
125
3.7.2
REGRESSION
.
126
3.7.3
SCHARFBILD-,
KONTRAST-,
UND
MOMENTENBERECHNUNG
.
127
3.7.4
MODIFIZIERTE
MAXIMADETEKTION
.
131
3.7.5
OPTIMALE
ABTASTUNG
DER
KONTRASTKURVE
.
132
3.7.6
MESSGENAUIGKEIT
.
134
3.8
RESSOURCEN
.
138
3.8.1
SPEICHERBEDARF
.
138
3.8.2
LAUFZEIT
.
138
3.9
URSACHEN
FUER
MESSFEHLER
UND
IHRE
AUSWIRKUNGEN
.
139
3.9.1
NICHTSYSTEMATISCHE
MESSFEHLER
.
139
3.9.2
SYSTEMATISCHE
MESSFEHLER
.
142
3.10
AUTOMATISIERTE
MESSFEHLERERKENNUNG
.
149
3.10.1
MESSFEHLERDIAGNOSE
DURCH
FUZZY-LOGIK
.
150
4.
ANWENDUNGEN
.
159
5.
ZUSAMMENFASSUNG
.
165
ANHANG
169
A.
SYSTEMTHEORETISCHE
DEFINITIONEN
UND
SAETZE
.
171
A.L
DIE
J-FUNKTION
.
171
A.2
FALTUNGSPRODUKT
.
171
A.3
KORRELATIONSPRODUKT
.
172
17
A.4
DIE
IMPULSANTWORT
.
173
A.5
UEBERTRAGUNGSFUNKTION
.
173
A.6
FALTUNGS
UND
KORRELATIONSSAETZE
.
174
A.7
PARSEVALSCHE
GLEICHUNG
.
175
B.
HERLEITUNGEN
.
177
B.L
INKOHAERENTE
PSF
.
177
B.2
DER
AXIALE
VERLAUF
DER
PSF
.
179 |
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