Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten:
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| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1997
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| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5]
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| adam_text | Titel: Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten
Autor: Hartmann, Josef
Jahr: 1997
FORTSCHRITTBERICHTE VM Dipl.-Phys. Josef Hartmann, Augsburg Herstellung und Charakterisierung von Carbonitridschichten Reihe 5 : Grund- und Werkstoffe
V Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung 1 2 Theoretische Betrachtungen 4 2.1 Einführung .............................. 4 2.2 Mögliche Kristallstrukturen..................... 5 2.3 Mechanische Eigenschaften...................... 8 2.3.1 Semiempirische Abschätzung................. 9 2.3.2 Gesamtenergieansatz.................... 10 2.3.3 Anwendungen des Gesamtenergieansatzes.......... 14 2.3.4 Vergleich der Ergebnisse................... 19 3 Stand der Forschung 21 3.1 Einführung .............................. 21 3.2 Chemische Verfahren......................... 22 3.3 Ionenstrahl verfahren......................... 25 3.4 Physikalische Gasphasenabscheidung................ 26 3.5 Ziel der Arbeit ............................ 29 4 Experimentelle Methoden 32 4.1 Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung....... 32 4.2 Ionenimplantation in Graphit.................... 36 4.3 Hochstrombogen-Verdampfen.................... 40 4.4 Analyseverfahren........................... 43 4.4.1 Elastische Rückstoßanalyse.................. 43 4.4.2 Röntgen-Photoelektronenemissions-Spektroskopie..... 45 4.4.3 Infrarot- und Raman-Spektroskopie............. 48
VI LITERATURVERZEICHNIS 5 Ergebnisse und Diskussion 53 5.1 Ergebnisse der PACVD-Experimente................ 53 5.1.1 Stickstoffgehalt und Abscheiderate ............. 53 5.1.2 Stickstoffeinbau und Strukur der Schichten......... 57 5.1.3 Diskussion........................... 59 5.2 Ionenimplantation in Graphit.................... 61 5.2.1 Stickstofftiefenprofile und Diffusionsverhalten ....... 61 5.2.2 Bindungsverhältnisse und Struktur............. 66 5.2.3 Diskussion......... .................. 70 5.3 Hochstrombogen-Verdampfen.................... 73 5.3.1 Stickstoffgehalt der Schichten................ 73 5.3.2 Bindungscharakter und Nahordnung ............ 76 5.3.3 Diskussion........................... 80 5.4 Gegenüberstellung der Resultate................... 82 6 Zusammenfassung 85 7 Literaturverzeichnis 89 Danksagung 98 Publikationen des Autors 100
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