Herstellung und Charakterisierung von Metall-Isolator-Halbleiterstrukturen auf hexagonalem Siliciumkarbid:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1997
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
1997,3 |
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