Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium:
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
1997
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Physical Description: | IV, 108, V Bl. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011365774 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970528s1997 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 950244309 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)634764737 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011365774 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-355 |a DE-29T |a DE-188 | ||
| 100 | 1 | |a Martini, Torsten |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium |c von Torsten Martini |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a IV, 108, V Bl. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bonden |0 (DE-588)4232594-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Wafer |0 (DE-588)4294605-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Bonden |0 (DE-588)4232594-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007638746&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007638746 | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1812453235289489408 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG 1
2. PHYSIKALISCHE UND CHEMISCHE GRUNDLAGEN DES WAFERBONDENS 4
2.1 VAN DER WAALS-WECHSELWIRKUNG ZWEIER OBERFLAECHEN UND ATOMARES
VERBINDEN VON 4
FESTKOERPERN
2.2
BINDUNGSMECHANISMEN BEIM ATOMAREN VERBINDEN VON SILIZIUM 6
2.2.1 OBERFLAECHENREAKTIONEN VON SILIZIUM UND SILIZIUMDIOXID 7
2.2.2 DAS BINDUNGSVERHALTEN ALS FUNKTION DER TEMPERATUR 10
2.3 EXPERIMENTELLE DURCHFUEHRUNG DES DIREKTEA_WAFERBONDENS 15
2.4 OBERFLAECHENENERGIE UND DEREN MESSUNG 19
3. EINFLUSS DER OBERFLAECHENMORPHOLOGIE UND BILDUNG VON
GRENZFLAECHENDEFEKTEN 24
3.1 EINFLUSS DER OBERFLAECHENSTRUKTUR AUF DAS ATOMARE VERBINDEN VON
FESTKOERPERN 24
3.1.1 OBERFLAECHENWELLIGKEIT UND ATOMARE RAUHIGKEIT 24
3.1.2 EINFLUSS VON PARTIKELN ' 29
3.1.3 ATOMARES VERBINDEN UEBER STUFEN 32
3.2 BILDUNG UND WACHSTUM VON GRENZFLAECHENBLASEN 36
3.2.1 URSACHEN DER GRENZFLAECHENBLASEN 36
3.2.2 WACHSTUM VON GRENZFLAECHENBLASEN 43
3.2.3 SCHRUMPFEN UND VERSCHWINDEN DER GRENZFLAECHENBLASEN 45
4. EXPERIMENTELLES UND ERGEBNISSE 47
4.1 BINDUNGSGESCHWINDIGKEIT BEIM SILIZIUM WAFERBONDEN 47
4.2 DIE MESSUNG DER OBERFLAECHENENERGIE MIT DER SPALTMETHODE ALS
ZEITABHAENGIGER 59
PROZESS
4.3 ATOMARES VERBINDEN UEBER STRUKTUREN 69
4.4 ENTSTEHUNG UND WACHSTUM VON GRENZFLAECHENBLASEN 83
5. ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 101
6. LITERATURVERZEICHNIS 104
ANHANG
LEBENSLAUF, ERKLAERUNG UND DANKSAGUNG
II
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/950244309 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Martini, Torsten |
| author_facet | Martini, Torsten |
| author_role | aut |
| author_sort | Martini, Torsten |
| author_variant | t m tm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011365774 |
| ctrlnum | (OCoLC)634764737 (DE-599)BVBBV011365774 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011365774</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970528s1997 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">950244309</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)634764737</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011365774</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Martini, Torsten</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium</subfield><subfield code="c">von Torsten Martini</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 108, V Bl.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bonden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4232594-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Wafer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4294605-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Bonden</subfield><subfield code="0">(DE-588)4232594-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007638746&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007638746</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011365774 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:08:19Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007638746 |
| oclc_num | 634764737 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-188 |
| owner_facet | DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-188 |
| physical | IV, 108, V Bl. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Martini, Torsten Verfasser aut Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium von Torsten Martini 1997 IV, 108, V Bl. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 1997 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Bonden (DE-588)4232594-8 gnd rswk-swf Wafer (DE-588)4294605-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Wafer (DE-588)4294605-0 s Bonden (DE-588)4232594-8 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007638746&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Martini, Torsten Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Bonden (DE-588)4232594-8 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4232594-8 (DE-588)4294605-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium |
| title_auth | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium |
| title_exact_search | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium |
| title_full | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium von Torsten Martini |
| title_fullStr | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium von Torsten Martini |
| title_full_unstemmed | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium von Torsten Martini |
| title_short | Bindungsverhalten, Grenzflächendefekte und Einfluss der Oberflächenstruktur beim direkten atomaren Verbinden von Silizium |
| title_sort | bindungsverhalten grenzflachendefekte und einfluss der oberflachenstruktur beim direkten atomaren verbinden von silizium |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Bonden (DE-588)4232594-8 gnd Wafer (DE-588)4294605-0 gnd |
| topic_facet | Silicium Bonden Wafer Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007638746&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT martinitorsten bindungsverhaltengrenzflachendefekteundeinflussderoberflachenstrukturbeimdirektenatomarenverbindenvonsilizium |