Läppen von einkristallinem Silicium:
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Berlin
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1997
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INHALT
SEITE
0
KURZZEICHEN
1
1
EINFUEHRUNG
8
2
STAND
DER
ERKENNTNISSE
11
2.1
FERTIGUNG
VON
EINKRISTALLINEN
SILICIUMSCHEIBEN
11
2.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
EINKRISTALLINEM
SILICIUM
20
2.3
PLANPARALLELLAEPPEN
VON
WAFERN
26
2.4
WIRKMECHANISMEN
UND
RANDZONENSCHAEDIGUNG
35
3
ZIELSETZUNG
UND
ARBEITSSCHWERPUNKTE
49
4
BEGRIFFSBESTIMMUNGEN
UND
MESSMETHODEN
52
4.1
ABTRENNSYSTEM
LAEPPPROZESS
52
4.2
WERKZEUGSPEZIFIKATION
56
4.3
MASCHINENSTELLPARAMETER
60
4.3.1
EINGRIFFSDRUCK
60
4.3.2
PROZESSKINEMATIK
60
4.4
ABTRENNRATE
UND
RANDZONENBEZOGENES
ARBEITSERGEBNIS
66
4.4.1
ABTRENNRATE
66
4.4.2
OBERFLAECHENTOPOGRAFIE
67
4.4.3
RANDZONENSCHAEDIGUNG
69
4.5
TANGENTIALKRAEFTE
72
II
INHALT
5
OBERFLAECHEN
UND
STOERSCHICHTENTSTEHUNG
74
5.1
EINDRUCKUNTERSUCHUNGEN
75
5.1.1
EINDRUCKMORPHOLOGIEN
UND
RISSSYSTEM
77
5.1.2
RANDZONENSCHAEDIGUNG
81
5.2
MODELL-LAEPPVERSUCHE
82
5.2.1
KOMEINGRIFF
UND
OBERFLAECHENENTSTEHUNG
85
5.2.2
RANDZONENSCHAEDIGUNG
90
5.3
SCHLUSSFOLGERUNGEN
92
6
PROZESSVERLAUF
UND
ARBEITSERGEBNIS
94
6.1
VERSUCHSBEDINGUNGEN
UND
VERSUCHSPARAMETER
94
6.2
TANGENTIALKRAEFTE
UND
REIBKOEFFIZIENT
99
6.3
PROZESSKOMGROESSE
101
6.3.1
ARTEN
UND
KENNGROESSEN
DES
LAEPPMITTELVERSCHLEISSES
101
6.3.2
EINFLUSS
DER
BEARBEITUNGSPARAMETER
AUF
DEN
LAEPPMITTELVERSCHLEISS
104
6.3.3
SCHLUSSFOLGERUNGEN
109
6.4
ABTRENNRATE,
STOERTIEFE
UND
OBERFLAECHENGUETE
110
6.4.1
EINFLUSS
DER
MASCHINENSTELLPARAMETER
110
6.4.2
EINFLUSS
DER
LAEPPMITTELSPEZIFIKATION
113
6.4.3
EINFLUSS
DER
KOMKONZENTRATION
118
6.4.4
EINFLUSS
DES
LAEPPSCHEIBENWERKSTOFFES
121
6.4.5
EINFLUSS
DER
KRISTALLORIENTIERUNG
123
6.4.6
SCHLUSSFOLGERUNGEN
125
6.5
WECHSELWIRKUNGEN
MIT
DEM
VORBEARBEITUNGSZUSTAND
126
6.5.1
VORBETRACHTUNGEN
UND
VERSUCHSMETHODIK
126
6.5.2 STOERSCHICHTABBAU
129
6.5.3
STOERSCHICHTSTRUKTUR
132
6.5.3
ABLEITUNGEN
FUER
DIE
FERTIGUNGSFOLGE
137
7
PROZESSMODELL
UND SIMULATION
DER
PROZESSEFFEKTIVITAET
139
7.1
VORBETRACHTUNGEN
139
7.2
ANALYSE
UND
BEWERTUNG
VORHANDENER
PROZESSMODELLE
141
INHALT
III
7.3
MODELLIERUNG
DES ABTRENNSYSTEMS
146
7.3.1
WERKZEUGAUSBILDUNG
148
7.3.2
WERKZEUGEINGRIFF
151
7.3.3
BERECHNUNGSALGORITHMUS
156
7.4
MODELLVERIFIKATION
UND
PROZESSSIMULATION
157
7.4.1
PROZESSEFFEKTIVITAET
UND
AKTIVE
KORNZAHL
159
7.4.2
EINFLUSS
DER
MASCHINENSTELLPARAMETER
163
7.4.3
EINFLUSS
DER
WERKZEUGPARAMETER
165
7.4.4
SCHLUSSFOLGERUNGEN
FUER
DIE
PRAKTISCHE
ANWENDUNG
173
8
ZUSAMMENFASSUNG
177
9
LITERATUR
181 |
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