Läppen von einkristallinem Silicium:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
IPK
1997
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 199 S. Ill. |
| ISBN: | 3816746314 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011363845 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19981026 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970527s1997 gw a||| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 950477044 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3816746314 |c Pb. : DM 24.80 |9 3-8167-4631-4 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75738361 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011363845 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29T |a DE-91G |a DE-634 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a ZM 8330 |0 (DE-625)157186: |2 rvk | ||
| 084 | |a WER 320d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 749d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Engel, Hendrik |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Läppen von einkristallinem Silicium |c Hendrik Engel. Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik, IPK Berlin |
| 264 | 1 | |a Berlin |b IPK |c 1997 | |
| 300 | |a III, 199 S. |b Ill. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 0 | |a Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin | |
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Läppen |0 (DE-588)4133900-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Läppen |0 (DE-588)4133900-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007637755&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007637755 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807229819118682112 |
|---|---|
| adam_text |
INHALT
SEITE
0
KURZZEICHEN
1
1
EINFUEHRUNG
8
2
STAND
DER
ERKENNTNISSE
11
2.1
FERTIGUNG
VON
EINKRISTALLINEN
SILICIUMSCHEIBEN
11
2.2
MECHANISCHE
EIGENSCHAFTEN
VON
EINKRISTALLINEM
SILICIUM
20
2.3
PLANPARALLELLAEPPEN
VON
WAFERN
26
2.4
WIRKMECHANISMEN
UND
RANDZONENSCHAEDIGUNG
35
3
ZIELSETZUNG
UND
ARBEITSSCHWERPUNKTE
49
4
BEGRIFFSBESTIMMUNGEN
UND
MESSMETHODEN
52
4.1
ABTRENNSYSTEM
LAEPPPROZESS
52
4.2
WERKZEUGSPEZIFIKATION
56
4.3
MASCHINENSTELLPARAMETER
60
4.3.1
EINGRIFFSDRUCK
60
4.3.2
PROZESSKINEMATIK
60
4.4
ABTRENNRATE
UND
RANDZONENBEZOGENES
ARBEITSERGEBNIS
66
4.4.1
ABTRENNRATE
66
4.4.2
OBERFLAECHENTOPOGRAFIE
67
4.4.3
RANDZONENSCHAEDIGUNG
69
4.5
TANGENTIALKRAEFTE
72
II
INHALT
5
OBERFLAECHEN
UND
STOERSCHICHTENTSTEHUNG
74
5.1
EINDRUCKUNTERSUCHUNGEN
75
5.1.1
EINDRUCKMORPHOLOGIEN
UND
RISSSYSTEM
77
5.1.2
RANDZONENSCHAEDIGUNG
81
5.2
MODELL-LAEPPVERSUCHE
82
5.2.1
KOMEINGRIFF
UND
OBERFLAECHENENTSTEHUNG
85
5.2.2
RANDZONENSCHAEDIGUNG
90
5.3
SCHLUSSFOLGERUNGEN
92
6
PROZESSVERLAUF
UND
ARBEITSERGEBNIS
94
6.1
VERSUCHSBEDINGUNGEN
UND
VERSUCHSPARAMETER
94
6.2
TANGENTIALKRAEFTE
UND
REIBKOEFFIZIENT
99
6.3
PROZESSKOMGROESSE
101
6.3.1
ARTEN
UND
KENNGROESSEN
DES
LAEPPMITTELVERSCHLEISSES
101
6.3.2
EINFLUSS
DER
BEARBEITUNGSPARAMETER
AUF
DEN
LAEPPMITTELVERSCHLEISS
104
6.3.3
SCHLUSSFOLGERUNGEN
109
6.4
ABTRENNRATE,
STOERTIEFE
UND
OBERFLAECHENGUETE
110
6.4.1
EINFLUSS
DER
MASCHINENSTELLPARAMETER
110
6.4.2
EINFLUSS
DER
LAEPPMITTELSPEZIFIKATION
113
6.4.3
EINFLUSS
DER
KOMKONZENTRATION
118
6.4.4
EINFLUSS
DES
LAEPPSCHEIBENWERKSTOFFES
121
6.4.5
EINFLUSS
DER
KRISTALLORIENTIERUNG
123
6.4.6
SCHLUSSFOLGERUNGEN
125
6.5
WECHSELWIRKUNGEN
MIT
DEM
VORBEARBEITUNGSZUSTAND
126
6.5.1
VORBETRACHTUNGEN
UND
VERSUCHSMETHODIK
126
6.5.2 STOERSCHICHTABBAU
129
6.5.3
STOERSCHICHTSTRUKTUR
132
6.5.3
ABLEITUNGEN
FUER
DIE
FERTIGUNGSFOLGE
137
7
PROZESSMODELL
UND SIMULATION
DER
PROZESSEFFEKTIVITAET
139
7.1
VORBETRACHTUNGEN
139
7.2
ANALYSE
UND
BEWERTUNG
VORHANDENER
PROZESSMODELLE
141
INHALT
III
7.3
MODELLIERUNG
DES ABTRENNSYSTEMS
146
7.3.1
WERKZEUGAUSBILDUNG
148
7.3.2
WERKZEUGEINGRIFF
151
7.3.3
BERECHNUNGSALGORITHMUS
156
7.4
MODELLVERIFIKATION
UND
PROZESSSIMULATION
157
7.4.1
PROZESSEFFEKTIVITAET
UND
AKTIVE
KORNZAHL
159
7.4.2
EINFLUSS
DER
MASCHINENSTELLPARAMETER
163
7.4.3
EINFLUSS
DER
WERKZEUGPARAMETER
165
7.4.4
SCHLUSSFOLGERUNGEN
FUER
DIE
PRAKTISCHE
ANWENDUNG
173
8
ZUSAMMENFASSUNG
177
9
LITERATUR
181 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Engel, Hendrik |
| author_facet | Engel, Hendrik |
| author_role | aut |
| author_sort | Engel, Hendrik |
| author_variant | h e he |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011363845 |
| classification_rvk | ZM 8330 |
| classification_tum | WER 320d FER 749d |
| ctrlnum | (OCoLC)75738361 (DE-599)BVBBV011363845 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften Fertigungstechnik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011363845</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19981026</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970527s1997 gw a||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">950477044</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3816746314</subfield><subfield code="c">Pb. : DM 24.80</subfield><subfield code="9">3-8167-4631-4</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75738361</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011363845</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZM 8330</subfield><subfield code="0">(DE-625)157186:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 320d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 749d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Engel, Hendrik</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Läppen von einkristallinem Silicium</subfield><subfield code="c">Hendrik Engel. Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik, IPK Berlin</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">IPK</subfield><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 199 S.</subfield><subfield code="b">Ill.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Läppen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133900-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Läppen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133900-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007637755&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007637755</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011363845 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-13T00:24:21Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3816746314 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007637755 |
| oclc_num | 75738361 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29T DE-91G DE-BY-TUM DE-634 DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-29T DE-91G DE-BY-TUM DE-634 DE-83 DE-11 |
| physical | III, 199 S. Ill. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| publisher | IPK |
| record_format | marc |
| series2 | Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin |
| spelling | Engel, Hendrik Verfasser aut Läppen von einkristallinem Silicium Hendrik Engel. Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik, IPK Berlin Berlin IPK 1997 III, 199 S. Ill. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Berichte aus dem Produktionstechnischen Zentrum Berlin Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1997 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Läppen (DE-588)4133900-9 gnd rswk-swf Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Einkristall (DE-588)4013901-3 s Läppen (DE-588)4133900-9 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007637755&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Engel, Hendrik Läppen von einkristallinem Silicium Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Läppen (DE-588)4133900-9 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4133900-9 (DE-588)4013901-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Läppen von einkristallinem Silicium |
| title_auth | Läppen von einkristallinem Silicium |
| title_exact_search | Läppen von einkristallinem Silicium |
| title_full | Läppen von einkristallinem Silicium Hendrik Engel. Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik, IPK Berlin |
| title_fullStr | Läppen von einkristallinem Silicium Hendrik Engel. Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik, IPK Berlin |
| title_full_unstemmed | Läppen von einkristallinem Silicium Hendrik Engel. Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik, IPK Berlin |
| title_short | Läppen von einkristallinem Silicium |
| title_sort | lappen von einkristallinem silicium |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Läppen (DE-588)4133900-9 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd |
| topic_facet | Silicium Läppen Einkristall Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007637755&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT engelhendrik lappenvoneinkristallinemsilicium |