Wege zu vergleichbaren Rauheitsprofilen bei der Messung mit mechanischen und optischen Tastern:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1997
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8]
611 |
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adam_text | Titel: Wege zu vergleichbaren Rauheitsprofilen bei der Messung mit mechanischen und optischen Tastern
Autor: Plenk, Valentin
Jahr: 1997
FORTSCHRITTBERICHTE VM Dipl.-Ing. Valentin Plenk, München Wege zu vergleichbaren Rauheitsprofilen bei der Messung mit mechanischen und optischen Tastern Reihe 8 : Meß-, Steuerungsund Regelungstechnik Nr. 611
INHALTSVERZEICHNIS V Inhaltsverzeichnis 1 Einleitung 1 1.1 Motivation .......................... 1 1.2 Aufbau der Arbeit...................... 2 1.3 Stand der Technik...................... 2 1.4 Signalfluß bei der Messung.................. 3 2 Modelle der betrachteten Systeme 5 2.1 Mechanisch berührender Taster............... 5 2.1.1 Funktionsprinzip................... 5 2.1.2 Zeitliches Verhalten ................. 7 2.1.3 Örtliches Verhalten.................. 13 2.2 Laser-Autofokus-Taster ................... 16 2.2.1 Funktionsprinzip................... 16 2.2.2 Zeitliches Verhalten ................. 22 2.2.3 Örtliches Verhalten.................. 23 3 Vermessung des zeitlichen Verhaltens 32 3.1 Messaufbau.......................... 32 3.2 Mechanisch berührender Taster............... 36 3.3 Laser-Autofokus-Taster ................... 39 4 Vermessung des örtlichen Verhaltens 42 4.1 Meßaufbau .......................... 42 4.1.1 Der X/Y-Tisch.................... 42 4.1.2 Kalibrieren des gemeinsamen Startpunktes .... 47 4.2 „Loch“............................. 49 4.2.1 Mechanisch berührender Taster........... 49 4.2.2 Laser-Autofokus-Taster............... 50 4.3 Rauheitsnormal HA3..................... 54
VI INHALTSVERZEICHNIS 5 Anpassung des Verhaltens 61 5.1 Testprogramm ........................ 61 5.1.1 Proben ........................ 62 5.1.2 Bewertung der Profilähnlichkeit........... 62 5.2 Anpassung des zeitlichen Verhaltens............ 63 5.3 Anpassung des örtlichen Verhaltens............. 69 5.3.1 Heuristische Filterung beim optischen Taster ... 69 5.3.2 Korrektur mit linearer Ortsübertragungsfunktion . 74 5.3.3 Korrekturmöglichkeit mit nichtlinearer Ortsübertragungsfunktion ................... 81 5.4 Vergleich der Anpassungs-Verfahren............ 86 6 Zusammenfassung 91
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