Selbstjustierende Aufbautechnik zur Ankopplung von Glasfaser-Arrays an integrierte optoelektronische Schaltkreise:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG.
1
2.
FASER CHIP-KOPPLUNGYY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.YY.3
2.1. MATERIALUEBERGAENGE.3
2.2. WIRKUNGSGRAD UND KOPPELVERLUST.8
2.2.1. BERECHNUNG DER KOPPLUNG MIT GAUSSSCHEN STRAHLEN.8
2.2.2. KOPPELWIRKUNGSGRAD BEI UNTERSCHIEDLICHEN FLECKGROESSEN.10
2.2.3. KOPPEL WIRKUNGSGRAD BEI LONGITUDINALEM ABSTAND.10
2.2.4. KOPPELWIRKUNGSGRAD BEI TRANSVERSALEM VERSATZ DER OPTISCHEN
ACHSEN.11
2.2.5. KOPPELWIRKUNGSGRAD BEI VERKIPPUNG DER OPTISCHEN ACHSEN.11
2.3. KOPPEL VERLUSTE BEI VERSCHIEDENEN KOPPELMETHODEN.12
2.3.1. STOSSKOPPLUNG OHNE FLECKANPASSUNG.12
2.3.2. EXTERNE FLECKANPASSUNG DURCH LINSEN.13
2.3.3. INTERNE FLECKANPASSUNG DURCH INTEGRIERTE HALBLEITER-TAPER.15
2.3.4. VERGLEICH DER KOPPELVERLUSTE VERSCHIEDENER KOPPLMETHODEN.17
2.4. MEHRFASER-CHIP-KOPPLUNG.~.18
2.4.1. KOPPEL VERLUSTE DURCH SCHRAEGE CHIPENDFLAECHEN.19
2.4.2. KOPPELVERLUSTE DURCH TEMPERATURAENDERUNG.21
3. SELBSTJUSTIERENDE
AUFBAUTECHNIK.
23
3.1. KONZEPT ZUR HOCHEFFIZIENTEN SELBSTJUSTIERENDEN ANKOPPLUNG VON
FASERN AN MEHRKANALIGE OEICS.23
3.1.1. GRUNDPRINZIP DER SELBSTJUSTIERENDEN AUFBAUTECHNIK IN SILIZIUM.24
3.1.2. MOEGLICHKEIT ZUR VERTIKALEN ANPASSUNG.25
3.2. HERSTELLUNG UND FUNKTIONEN DER SILIZIUM-KOMPONENTEN.27
3.2.1. ANISOTROPES NASSAETZEN VON SILIZIUM.27
3.2.2. SILIZIUM-FASERHALTER.31
3.2.3. SILIZIUM-JUSTAGEPLATTE.35
4. AUFBAU DER ERSTEN OPTISCHEN 8X8 SCHALTMATRIX AUF INP.38
4.1. GEOMETRISCHE TOLERANZEN DER EINZELKOMPONENTEN.38
4.1.1. CHIPABMESSUNGEN.38
4.1.2. FASERABMESSUNGEN.40
4.1.3. GEOMETRISCHE TOLERANZEN DER SILIZIUMKOMPONENTEN.40
4.1.3.1. HERSTELLUNGSTOLERANZ DER SI-JUSTAGEPLATTE.40
4.1.3.2. HERSTELLUNGSTOLERANZ DER SI-FASERHALTER.42
4.2. THEORETISCHE ABSCHAETZUNG DES ZU ERWARTENDEN KOPPELVERLUSTES.43
4.3. AUFBAU EINES TEILMODULS.44
4.3.1. DURCHFUEHRUNG DER SELBSTJUSTIERENDEN MEHRFASER-CHIP-KOPPLUNG.44
4.3.2. VOM FASERGEKOPPELTEN OEIC ZUM TEILMODUL.50
4.3.3. MESSERGEBNISSE DES TEILMODULS.52
4.4. HYBRIDER GESAMTAUFBAU.53
4.5. MESSERGEBNISSE DER ERSTEN OPTISCHEN 8X8 SCHALTMATRIX AUF INP.56
5.
AUSBLICK.-------._.
58
6.
ZUSAMMENFASSUNG._._.YY.YY.59
LITERATURVERZEICHNIS
YY62
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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