Illing, M. (1996). Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen: Technologie und Anwendung ([Mikrofiche-Ausg.].).
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Illing, Matthias. Laterale Strukturierung Von II-VI-Halbleitern Durch Tiefätzen: Technologie Und Anwendung. [Mikrofiche-Ausg.]. 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Illing, Matthias. Laterale Strukturierung Von II-VI-Halbleitern Durch Tiefätzen: Technologie Und Anwendung. [Mikrofiche-Ausg.]. 1996.
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