Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen: Technologie und Anwendung
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Abschlussarbeit Mikrofilm Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1996
|
Ausgabe: | [Mikrofiche-Ausg.] |
Schlagworte: | |
Beschreibung: | Würzburg, Univ., Diss., 1997. - Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x |
Beschreibung: | 108 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV011349193 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 19980414 | ||
007 | he|uuuuuuuuuu | ||
008 | 970521s1996 ad|| bm||| 00||| ger d | ||
035 | |a (OCoLC)258069609 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV011349193 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-20 |a DE-29T |a DE-12 |a DE-703 |a DE-355 |a DE-11 |a DE-188 | ||
100 | 1 | |a Illing, Matthias |d 1967- |e Verfasser |0 (DE-588)115502629 |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen |b Technologie und Anwendung |c vorgelegt von Matthias Illing |
250 | |a [Mikrofiche-Ausg.] | ||
264 | 1 | |c 1996 | |
300 | |a 108 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b h |2 rdamedia | ||
338 | |b he |2 rdacarrier | ||
500 | |a Würzburg, Univ., Diss., 1997. - Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x | ||
502 | |a Würzburg, Univ., Diss. | ||
650 | 0 | 7 | |a Ätzen |0 (DE-588)4000648-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Zwei-Sechs-Halbleiter |0 (DE-588)4191263-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Lateralstruktur |0 (DE-588)4328963-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Zwei-Sechs-Halbleiter |0 (DE-588)4191263-9 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Lateralstruktur |0 (DE-588)4328963-0 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Ätzen |0 (DE-588)4000648-7 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007626244 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804125859017129984 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Illing, Matthias 1967- |
author_GND | (DE-588)115502629 |
author_facet | Illing, Matthias 1967- |
author_role | aut |
author_sort | Illing, Matthias 1967- |
author_variant | m i mi |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV011349193 |
ctrlnum | (OCoLC)258069609 (DE-599)BVBBV011349193 |
edition | [Mikrofiche-Ausg.] |
format | Thesis Microfilm Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01398nam a2200373 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011349193</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980414 </controlfield><controlfield tag="007">he|uuuuuuuuuu</controlfield><controlfield tag="008">970521s1996 ad|| bm||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258069609</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011349193</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-20</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Illing, Matthias</subfield><subfield code="d">1967-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)115502629</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen</subfield><subfield code="b">Technologie und Anwendung</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Matthias Illing</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[Mikrofiche-Ausg.]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">108 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">h</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">he</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Würzburg, Univ., Diss., 1997. - Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Würzburg, Univ., Diss.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000648-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zwei-Sechs-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191263-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Lateralstruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4328963-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Zwei-Sechs-Halbleiter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4191263-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Lateralstruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4328963-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ätzen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4000648-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007626244</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV011349193 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T18:08:15Z |
institution | BVB |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007626244 |
oclc_num | 258069609 |
open_access_boolean | |
owner | DE-20 DE-29T DE-12 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-11 DE-188 |
owner_facet | DE-20 DE-29T DE-12 DE-703 DE-355 DE-BY-UBR DE-11 DE-188 |
physical | 108 S. Ill., graph. Darst. |
publishDate | 1996 |
publishDateSearch | 1996 |
publishDateSort | 1996 |
record_format | marc |
spelling | Illing, Matthias 1967- Verfasser (DE-588)115502629 aut Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung vorgelegt von Matthias Illing [Mikrofiche-Ausg.] 1996 108 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent h rdamedia he rdacarrier Würzburg, Univ., Diss., 1997. - Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x Würzburg, Univ., Diss. Ätzen (DE-588)4000648-7 gnd rswk-swf Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 gnd rswk-swf Lateralstruktur (DE-588)4328963-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 s Lateralstruktur (DE-588)4328963-0 s Ätzen (DE-588)4000648-7 s DE-604 |
spellingShingle | Illing, Matthias 1967- Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung Ätzen (DE-588)4000648-7 gnd Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 gnd Lateralstruktur (DE-588)4328963-0 gnd |
subject_GND | (DE-588)4000648-7 (DE-588)4191263-9 (DE-588)4328963-0 (DE-588)4113937-9 |
title | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung |
title_auth | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung |
title_exact_search | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung |
title_full | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung vorgelegt von Matthias Illing |
title_fullStr | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung vorgelegt von Matthias Illing |
title_full_unstemmed | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen Technologie und Anwendung vorgelegt von Matthias Illing |
title_short | Laterale Strukturierung von II-VI-Halbleitern durch Tiefätzen |
title_sort | laterale strukturierung von ii vi halbleitern durch tiefatzen technologie und anwendung |
title_sub | Technologie und Anwendung |
topic | Ätzen (DE-588)4000648-7 gnd Zwei-Sechs-Halbleiter (DE-588)4191263-9 gnd Lateralstruktur (DE-588)4328963-0 gnd |
topic_facet | Ätzen Zwei-Sechs-Halbleiter Lateralstruktur Hochschulschrift |
work_keys_str_mv | AT illingmatthias lateralestrukturierungvoniivihalbleiterndurchtiefatzentechnologieundanwendung |