Optische Mikrotopometrie und Rauheitsmessung an technischen Oberflächen:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
ITO
1996
|
| Schriftenreihe: | Institut für Technische Optik <Stuttgart>: Berichte aus dem Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
28 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | XVI, 182 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
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INHALT
IX
SEITE
1
EINLEITUNG
1
2
CHARAKTERISIERUNG
VON
OBERFLAECHEN
UND
VERGLEICHBARKEIT
VON
6
MESSVERFAHREN
2.1
CHARAKTERISIERUNG
VON
OBERFLAECHEN
6
2.1.1
VERSCHIEDENE
METHODEN
ZUR
CHARAKTERISIERUNG
VON
OBERFLAECHEN
6
2.1.2
STATISTISCHE
PARAMETER
VON
3D-TOPOGRAPHIEN
7
2.1.3
DIE
TOPOGRAPHIE,
DEREN
SPEKTRALEN
LEISTUNGSDICHTE
UND
DIE
11
AUTOKORRELATIONSFUNKTION
2.2
CHARAKTERISIERUNG
UND
VERGLEICHBARKEIT
VON
MESSVERFAHREN
15
2.2.1
CHARAKTERISIERUNG
VON
MESSVERFAHREN
15
2.2.2
ALTERNATIVEN
ZU
SINUS-NORMALEN
17
2.2.3
VERGLEICHBARKEIT
VON
MESSVERFAHREN:
BANDBREITENBEGRENZTE
^-BERECHNUNG
19
3
MIKROTRIANGULATION
MIT
KOMPENSATION
DER
EINFLUESSE
LOKALER
22
OBERFLAECHENSTEIGUNGEN
3.1
DAS
GRUNDPRINZIP
DER
MIKROTRIANGULATION
MIT
OBERFLAECHENSTEIGUNGS
22
KOMPENSATION
3.2
REFLEXION
AN
EINEM
GENEIGTEN
UND
DEFOKUSSIERTEN
OBERFLAECHENELEMENT
24
3.3
DIE
HOEHENFORMEL
DER
MIKROTRIANGULATION
MIT
OBERFLAECHENSTEIGUNGS
26
KOMPENSATION
3.4
MESSWERTERFASSUNG
UND
KALIBRIERUNG
28
3.5
DIE
AUSLEGUNG
DER
STRAHLPARAMETER
UND
ERZIELTE
AUFLOESUNG
29
3.6
MESSERGEBNISSE
30
3.6.1
PTB-RAUHNORMAL
1
30
3.6.2
PTB-RAUHNORMAL
2
31
4
HETERODYN-MIKROPROFILOMETRIE
MIT
ADAPTIVER
NEIGUNGSVOREINSTELLUNG
33
4.1
DAS
MESSPRINZIP
DER
HETERODYN-MIKROPROFILOMETRIE
33
4.2
DAS
PROBLEM
DER
LOKALEN
OBERFLAECHENSTEIGUNG
UND
DIE
IDEE
DER
ADAPTIVEN
37
NEIGUNGSVOREINSTELLUNG
4.3
PRINZIP
UND
UMSETZUNG
DER
ADAPTIVEN
NEIGUNGSVOREINSTELLUNG
38
4.4
THEORETISCHE
UEBERLEGUNGEN
ZU
DEN
PSD-STRAHLKOORDINATEN
41
4.5
DIE
AUSLEGUNG
DER
STRAHLPARAMETER
44
4.6
MESSERGEBNISSE
47
4.6.1
PTB-TIEFENEINSTELLNORMAL
48
4.6.2
STATISTISCHES
RAUHNORMAL,
TYP
RUGO
104N2
51
4.6.3
STATISTISCHES
RAUHNORMAL,
TYP
RUGO
104N4
52
4.6.4
PTB-RAUHNORMAL
1
55
4.6.5
PTB-RAUHNORMAL
2
60
4.6.6
PTB-RAUHNORMAL
3
62
5
DAS
KONFOKALE
MIKROSKOP
MIT
ROTIERENDER
NIPKOW-SCHEIBE
64
5.1
EINFUEHRUNG
64
5.2
DAS
KONFOKALE
MESSPRINZIP
68
5.2.1
DIE
KOHAERENTE
ABBILDUNG
DER
EINZELLINSE
68
5.2.2
DAS
KONFOKALE
PRINZIP
DER
ZWEIMALIGEN
KOHAERENTEN
ABBILDUNG
71
5.2.3
DIE
TIEFENDISKRIMINIERUNG
DES
PUNKTDETEKTORS
72
X
INHALT
SEITE
5.2.4
DER
EINFLUSS
DES
AUSGEDEHNTEN
DETEKTORPINHOLES
74
5.3
DER
AUFBAU
DES
KONFOKALEN
MIKROSKOPS
MIT
ROTIERENDER
NIPKOW-SCHEIBE
76
5.4
SYSTEMCHARAKTERISTISCHE
EIGENSCHAFTEN
82
5.4.1
EXPERIMENTELL
ERMITTELTE
HALBWERTSBREITEN
FWHM
82
5.4.2
FELDER
UND
AUFLOESUNGEN
84
5.5
KALIBRIERUNG
UND
FORMTREUE
DER
TOPOGRAPHIEN
86
5.5.1
PTB-TIEFENEINSTELLNORMAL
86
5.5.2
VICKERS-HAERTEEINDRUCK
89
5.5.3
GEKRUEMMTE
OBERFLAECHEN
MIT
GROSSEN
LOKALEN
TOPOGRAPHIESTEIGUNGEN
91
5.5.4
PTB-RAUHNORMAL
1
93
5.5.5
PTB-RAUHNORMAL
3
95
5.6
STATISTISCHE
RAUHEITSMESSUNG
98
5.7
REPRODUZIERBARKEIT
DER
RAUHWERTE
100
5.8
KONFOKALE
BILDINFORMATIONEN
KOMPLEXER
PROBEN
102
5.8.1
LASERTEX-BLECH
103
5.8.2
LINSENREINIGUNGSPAPIER
107
6
UNTERSUCHUNGEN
INNERHALB
EINES
BCR-PROJEKTS
'NON
-
CONTACT
SURFACE
110
METROLOGY'
6.1
ZIELE
UND
HINTERGRUENDE
DES
PROJEKTES
110
6.2
TESTSTRUKTUREN
UND
PROBEN
111
6.3
DIE
STREULICHTVERFAHREN
ARIS
UND
TIIS
112
6.3.1
ARIS
-
ANGLE
RESOLVED
INFRARED
SCATTERING
113
6.3.2
TIIS
-
TOTAL
INTEGRATED
INFRARED
SCATTERING
114
6.4
VERGLEICHSMETHODEN
116
6.5
MESSBEISPIELE
IM
RAHMEN
DES
BCR-PROJEKTS
117
6.5.1
SKF
ARTEFAKT
PIA
117
6.5.2
PHILIPS
STUFENGITTER
400NM-128PM/128|IM
120
6.5.3
PHILIPS
STUFENGITTER
LOONM-LPM
123
6.5.4
PHILIPS
SINUSGITTER
160NM-32PM/128PM
124
6.6
VERGLEICH
DER
ERGEBNISSE
IM
RAHMEN
DES
BCR-PROJEKTS
130
6.6.1
SKF
ARTEFAKTE
130
6.6.2
EINDIMENSIONALE
PHILIPS
STUFENGITTER
131
6.6.3
ZWEIDIMENSIONALE
PHILIPS
STUFENGITTER
132
6.6.4
EINDIMENSIONALE
PHILIPS
SINUSGITTER
133
6.6.5
ZWEIDIMENSIONALE
PHILIPS
SINUSGITTER
134
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
135
8
LITERATURVERZEICHNIS
137
9
ANHANG
I:
SYSTEMAUSLEGUNGEN
142
9.1
EINIGE
EIGENSCHAFTEN
UND
PARAMETER
GAUSS'SCHER
STRAHLEN
142
9.2
SYSTEMAUSLEGUNG
DER
MIKROTRIANGULATION
MIT
OBERFLAECHENSTEIGUNGS
146
KOMPENSATION
9.3
SYSTEMAUSLEGUNG
DER
HETERODYN-MIKROPROFILOMETRIE
MIT
ADAPTIVER
148
NEIGUNGSVOREINSTELLUNG
9.4
SYSTEMAUSLEGUNG
DES
KONFOKALEN
MIKROSKOPS
MIT
ROTIERENDER
NIPKOW
150
SCHEIBE
INHALT
XI
SEITE
10
ANHANG
II:
REFERENZANGABEN
ZU
DEN
PTB-NORMALEN
152
10.1
RAUHNORMAL
1,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
0,1
PM)
153
10.2
RAUHNORMAL
2,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
0,1
PM)
160
10.3
RAUHNORMAL
3,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
0,1
PM)
167
10.4
VERGLEICH
DER
REFERENZMESSUNGEN
MIT
ANDEREN
TASTSPITZENRADIEN
174
10.4.1
RAUHNORMAL
1,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
2PM)
174
10.4.2
RAUHNORMAL
2,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
2PM)
175
10.4.3
RAUHNORMAL
3,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
2PM)
176
10.4.4
RAUHNORMAL
3,
NANOSTEP-PROFILE
(TASTSPITZENRADIUS
5PM)
177
10.5
DIE
GEOMETRIE
DES
PTB-TIEFENEINSTELLNORMALS
178
11.
ANHANG
III:
ZUWEISUNG DER
DARSTELLUNGEN
VON
MESSUNGEN
ZU
DEN
180
MESSDATEIEN
LEBENSLAUF
181
DANKSAGUNG
182 |
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