Röntgenographische Charakterisierung von ultradünnen III-V-Halbleiterschichtstrukturen:
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1996
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L_ EINLEITUNG
2 _ IDEAL-UNDBEALSTRUKT
UR VON AMBV-HALBLEITERN
L_
KRISTALLOGRAPHISCHER AUFBAU UND VEGARDREGEL
22U
PSEUDOMORPHIE UND RELAXATION IN HETEROEPITAKTISCHEN SCHICHTSVSTEMEN
2.2.1. PSEUDOMORPHIE UND RELAXATION
2.2.2. VERSETZUNGEN UND KRITISCHE SCHICHTDICKE
2
I^H.
2.3.1. ALLGEMEINES ZUR EPITAXIE
2.3.2. EPITAXIE IM MATERIALSYSTEM ALAS/GAAS
2.3.3. ABSCHEIDUNG VON INAS-MONO UND SUBMONOLAGEN IN GAAS
&_
PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN DER ROENTGENBEUGUNG
XL_
KINEMATISCHE STREUUNG AM KRISTALL
3.1.1. GRUNDLAGEN DER KINEMATISCHEN THEORIE
3.1.2. EINFUEHRUNG DES REZIPROKEN GITTERS
3.1.3. PRINZIPIELLE KRITERIEN FUER DIE REFLEXAUSWAHL
12^
DYNAMISCHE INTERFERENZTHEORIE
3.2.1. GRUNDLAGEN DER DYNAMISCHEN INTERFERENZTHEORIE
3 .2.2. ZUSAMMENHANG VON DYNAMISCHER UND KINEMATISCHER THEORIE
3.2.3. VERGLEICH VON KINEMATISCH UND DYNAMISCH BERECHNETEN
ROENTGENBEUGUNGSPROFILEN
4*. CHARAKTERISIERUNG VON SCHICHT- UND SUPERYITTCRST
RUKTUREN
1L
CHARAKTERISIERUNG VON SUPERGITTERSTRUKTUREN
4.1.1. STRUKTURELLE PARAMETER EINES IDEALEN SUPERGITTERS
4.1.2. STOERUNGEN IM IDEALEN SUPERGITTER-REALES SUPERGITTER
4JL
FEHLORIENTIERUNG UND VERZERRUNG
4.2.1. ELASTISCHER NORMIERUNGSFAKTOR UND FEHLORIENTIERUNG
4.2.2. THEORETISCHE ASPEKTE DER VERZERRUNG DER ELEMENTARZELLE
2
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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EXPERIMCNTEUECR AUFBAU UND R8NTGENBCUGUNGSMETHODCO
ANFORDERUNGEN AN DIE HOCHAUFLOESENDE ROENTGENDIFFRAKTOMETRIE
2JL_ MONOCHROMATORAUSWAHL
5.3. EXPERIMENTELLER AUFBAU DER ROENTGENBEUGUNGSEXPERIMENTE
A_ ROENTGENBEUGUNGSMETHODEN
5.4.1. DOPPELKRISTALLDIFFRAKTOMETRIE
5.4.2. DREIKRISTALLDIFFFAKTOMETRIE
5.4.2.1. ALLGEMEINES ZUR DREIKRISTALLDIFFRAKTOMETRIE
5.4.2 2. MESSUNG DER GITTERVERKIPPUNGEN
5.4.2 3. MESSUNG DER GITTERPARAMETERVERTEILUNG
5.4.2 4. DIE VOLLSTAENDIGE MESSUNG DER INTENSITAETSVERTEILUNG UM EINEN
REZIPROKEN GIT
TERPUNKT
&L.
MESSHUEGCA U
PISSE
MESSUNGEN AN ALAS/GAAS-HETEROSTRUKTUREN
6.1.1. MOTIVATION ZU UNTERSUCHUNGEN AN ALAS/GAAS-SUPERGITTEM
6.1.2. DISKUSSION DES NORMIERUNGSFAKTOR AN ALAS-SCHICHTEN IM
MIKROMETERBEREICH
6.1.3. ROENTGENOGRAPHISCHE UNTERSUCHUNG VON ALAS/GAAS-SUPERGITTEM AUF
EXAKT ORIENTIERTEN
UND FEHLORIENTIERTEN (001) GAAS-SUBSTRATEN
6.1.3.1. PROBENSTRUKTUR
6.1.3.2. AUSWERTUNG DER LAGE DER SATELLITENREFLEXIONEN
6.13.3. CHARAKTERISIERUNG DER EXAKT (001) ORIENTIERTEN PROBE
6.13.4. ROENTGENOGRAPHISCHE CHARAKTERISIERUNG VON PROBEN MIT
FEHLORIENTIERUNG
6.1.3.5. EINFLUSS DER INTERFACE UND DER GRENZFLAECHE AUF DAS
ROENTGENBEUGUNGSPROFIL
6.1.3.6. SIMULATIONSRECHNUNGEN ZUR DISKUSSION DER MITTLEREN VERZERRUNG
EINER SUPERGIT
TEREINHEITSZELLE
6.1.4. CHARAKTERISIERUNG VON ULTRADUENNEN SCHICHTEN IN
ALAS/GAAS-SUPERGITTEM
6.1.4.1. ROENTGENOGRAPHISCHE CHARAKTERISIERUNG AN ULTRADUENNEN
ALAS-SCHICHTEN IN
ALAS/GAAS-SUPERGITTEM
6.1.4.2. ROENTGENBEUGUNG AN ULTRADUENNEN GAAS-SCHICHTEN IN
GAAS/ALAS-SUPERGITTEM
6.1.5. DREIKRISTALLUNTERSUCHUNGEN AN ALAS/GAAS-SUPERGITTEM
6.2. ROENTGENOGRAPHISCHE UNTERSUCHUNGEN AN ULTRADUENNEN INAS
MONOLAGENSCHICHTEN IM
INA^GAAS-SCHICHTGYSTEM
6.2.1. EINFUEHRUNG IN DAS MATERIALSYSTEM INAS/GAAS
6.2.2. EXPERIMENTELLE CHARAKTERISIERUNG VON INAS/GAAS-SQW (SINGLE
QUANTUM WELLS)
6.2.3. SIMULATIONSRECHNUNGEN AUF DER GRUNDLAGE DER DYNAMISCHEN THEORIE
ZUR CHARAKTE
RISIERUNG VON INAS-SQWS IN INAS/GAAS-HETEROSTRUKTUREN
6.2.4. ROENTGENOGRAPHISCHE CHARAKTERISIERUNG VON INAS/GAAS-SUPERGITTEM
3
6.2.5. UNTERSUCHUNGEN ZUR CHARAKTERISIERUNG DER FEHLORIENTIERUNG UND DER
VERZERRUNG
6.2.6. DREIKRISTALLUNTERSUCHUNGEN AN EINEM INAS/GAAS-SUPERGITTER
ZDISMUITOFISSIIIIFI
LITERATURVERZEICHNIS
ANHANG
DANKSAGUNG
SELBSTAENDIGKEITSERKLAERUNG
THESEN
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