Transportphänomene in ungeordneten Siliziumschichten:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
I
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
DUENNSCHICHTTECHNOLOGIE
3
2.1
HERSTELLUNGSVERFAHREN
3
2.2
ABSCHEIDUNG
AUS
DER
GASPHASE
6
2.3
MODIFIKATIONEN
ZUR
HERSTELLUNG
VON
PC-SI:H
8
3
TRANSPORTPHAENOMENE
IN
UNGEORDNETEN
HALBLEITERSYSTEMEN
AM
BEISPIEL
17
VON
A-SI:H
3.1
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
18
3.1.1
ATOMARE
STRUKTUR
18
3.1.2
ANDERSON-LOKALISIERUNG
22
3.1.3
ELEKTRONISCHE
ZUSTANDSDICHTE
24
3.2
TRANSPORTEIGENSCHAFTEN
29
3.2.1
ELEKTRISCHE
LEITFAEHIGKEIT
29
3.2.2
REKOMBINATIONS
UND
EMISSIONSMECHANISMEN
32
3.2.3
LEBENSDAUER
UND
BEWEGLICHKEIT
35
3.3.
MESSMETHODEN
37
3.3.1
STATIONAERER
PHOTOSTROM
3
8
3.3.2
STATIONAERE
LICHTGITTERMETHODE
39
3.3.3
TRANSIENTER
PHOTOSTROM
42
3.3.4
FLUGZEITMESSUNG
46
4
EXPERIMENTELLE
BESTAETIGUNG
VON
TRANSPORTMODELLEN
IN
A-SI:H
49
4.1
GUELTIGKEIT
DER
EINSTEIN-BEZIEHUNG
50
4.1.1
GAUSS
'
SCHER
TRANSPORT
50
4.1.2
SEPARATE
BESTIMMUNG
VON
DRIFT
UND
DIFFUSION
51
4.1.3
GRENZEN
DER
EINSTEIN-BEZIEHUNG
FUER
DISPERSIVEN
TRANSPORT
54
4.2
MEHRFACHEINFANGMODELL
56
4.2.1
FORMULIERUNG
UND
SIMULATION
56
4.2.2
EXPERIMENTELLE
UEBERPRUEFUNG
58
4.2.3
EINFLUSS
DER
FERMI-NIVEAU-POSITION
UND
DER
GRENZFLAECHE
63
INHALTSVERZEICHNIS
II
5
MIKROKRISTALLINES
SILIZIUM
69
5.1
MIKROSKOPISCHE
BESCHAFFENHEIT
70
5.11
KRISTALLITANTEIL
UND
KORNGROESSE
70
5.1.2
WASSERSTOFFBINDUNGEN
74
5.1.3
BESCHAFFENHEIT
DER
KOMGRENZEN
76
5.2
ABSORPTION
IM
SICHTBAREN
SPEKTRALBEREICH
78
5.2.1
OPTISCHE
BANDLUECKE
78
5.2
2
ABSORPTION
UNTERHALB
E
OPT
79
5.2.3
KRITISCHE
BETRACHTUNG
DER
CPM
81
5.3
TRANSPORTVERHALTEN
83
5.3.1
ABSTAND
ZWISCHEN
FERMI-NIVEAU
UND
BEWEGLICHKEITSKANTE
83
5.3.2
VERLAUF
DES
TRANSIENTEN
PHOTOSTROMS
86
5.3.3
DISKUSSION
DER
AMBIPOLAREN
DIFFUSIONSLAENGE
89
5.4
STRUKTURLEITUNGSMODELL
91
5.4.1
ELEKTRISCHE
VIA
STRUKTURELLER
KOMPOSITION
91
5.4.2
VERAENDERTES
DREI-PHASEN-MODELL
95
5.4.3
WEITERE
UEBERPRUFUNGSMOGLICHKEITEN
99
6
UNTERSUCHUNG
VON
KORNGRENZEN
IN
MESOPOROESEM
SILIZIUM
102
6.1
HERSTELLUNG
UND
STRUKTUR
103
6.1.1
ANODISCHES
AETZEN
103
6.1.2
SCHICHTSTRUKTUR
104
6.2
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
105
6.2.1
ELEKTRONISCHE
ZUSTANDSDICHTE
105
6.2.2
LAGE
DES
FERMI-NIVEAUS
106
6.2.3
DRIFT
UND
DIFFUSION
107
6.3
EINFLUSS
DER
ATMOSPHAERE
109
ZUSAMMENFASSUNG
112
ANHANG:
PARAMETER
DER
VERWENDETEN
PC-SI:H-PROBEN
114
LITERATURVERZEICHNIS
116
DANKSAGUNG
128 |
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