Elektrochemische Untersuchungen am Silizium-Flußsäure-Elektrolytkontakt und Anwendungen von nano- und makroporösen Siliziumschichten:
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| Format: | Buch |
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1996
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| Beschreibung: | Kiel, Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
EINLEITUNG.
_
1
1
ELEKTROCHEMIE
AN
HALBLEITERELEKTRODEN
_
6
1.1
D
ER
F
ESTKOERPER
.
6
1.1.1
EINTEILUNG
DER
FESTKOERPER
AUFGRUND
IHRER
LEITFAEHIGKEIT
.
6
1.1.2
DAS
BAENDERMODELL.
.
7
1.1.3
LEITUNGSMECHANISMEN
IN
HALBLEITERN
.
9
1.1.4
EINFLUSS
VON
LICHT
AUF
HALBLEITER
.
10
1.2
D
ER
E
LEKTROLYT
.
12
1.2.1
DIE
NERNST-GLEICHUNG
.
12
1.2.2
ENERGIENIVEAUS
IN
LOESUNGEN
UND
ELEKTROCHEMISCHES
POTENTIAL
.
13
1.3
D
IE
H
ALBLEITER
/E
LEKTROLYT
-G
RENZFLAECHE
.
15
1.3.1
DIE
STRUKTUR
DER
GRENZFLAECHE
.
15
1.3.2
LADUNGSTRANSFER
UND
KINETIK
.
20
2
ELEKTROCHEMISCHE
MEBMETHODEN
UND
PROBENPRAEPARATION
_23
2.1
A
LLGEMEINES
.23
2.2
I
MPEDANZSPEKTROSKOPIE
.
24
2.2.1
EINFUEHRUNG
.
24
2.2.2
FFT-IMPEDANZSPEKTROMETER
.
26
2.2.2.
1
EXPERIMENTELLER
AUFBAU
UND
MESSTECHNIK
.
27
2.2
2
2
STOERSIGNAL
UND
DATENVALIDIERUNG
.
28
2.3
D
IE
H
OCHFREQUENZWIDERSTANDSMESSUNG
.30
2.3.1
EINFUEHRUNG
.
30
2.3.2
EXPERIMENTELLER
AUFTAU
.
31
2.4
D
IE
ELEKTROCHEMISCHE
Z
ELLE
.
32
2.5
P
ROBENPRAEPARATION
.34
3
PHAENOMENOLOGISCHE
BESCHREIBUNG
DES
SILIZIUM/FLUBSAEURE
ELEKTROLYTKONTAKTES
_35
3.1
G
RUNDLEGENDE
E
IGENSCHAFTEN
DES
S
ILIZIUM
/F
LUBSAEURE
-E
LEKTROLYTKONTAKTES
.
35
3.2
C
HEMIE
IN
FLUORIDHALTIGEN
E
LEKTROLYTEN
.37
3.3
P
-S
ILIZIUM
.38
3.4
N-SLLIZIUM
.
40
4
BESTIMMUNG
DER
LAGE
DER
ENERGIENIVEAUS
DES
SHJZIUM/FLUSSSAEURE
ELEKTROLYTKONTAKTES
MIT
HOCHFREQUENZWIDERSTANDSMESSUNGEN
_
43
4.1
M
ETHODEN
ZUR
B
ESTIMMUNG
DES
F
LACHBANDPOTENTIALS
.43
4.2
B
ESTIMMUNG
DES
F
LACHBANDPOTENTIALS
MIT
H
OCHFREQUENZWIDERSTANDSMESSUNGEN
.
48
4.2.1
ERGEBNISSE.
.
48
4.2.2
THEORETISCHES
MODELL
DER
HFR-MESSUNGFTLR
SIHZIUMELEKTRODEN
.
53
4.3
D
ISKUSSION
.56
4.4
Z
USAMMENFASSUNG
.
62
INHALTSVERZEICHNIS
5
ELEKTROCHEMISCHE
UNTERSUCHUNGEN
IM ELEKTROPOLIERBEREICH.
_
64
5.1
E
XPERIMENTELLES
.
64
5.2
I
MPEDANZMESSUNGEN
IM
STATIONAEREN
B
EREICH
.
64
5.3
C
HARAKTERISIERUNG
DER
O
XIDSCHICHT
DURCH
P
OTENTIALSPRUNGEXPERIMENTE
.
66
5.4
Z
EIT
AUFGELOESTE
I
MPEDANZMESSUNGEN
WAEHREND
DES
A
UFTRETENS
DES
TRANSIENTEN
S
TROMPEAKS
.
70
5.5
D
ISKUSSION
.
72
5.5.1
ZUSAMMENSETZUNG
DER
OXIDSCHICHT
.
73
5.5.2
TRANSIENTER
STROMPEAK
.
74
5.6
Z
USAMMENFASSUNG
.
79
6
POREN
IN
SILIZIUM.
-----------------------------------------------------------------------------------------------------------
80
6.1
E
INFUEHRUNG
.
80
6.2
K
LASSIFIKATION
DER
P
OREN
IN
S
ILIZIUM
.
82
6.2.1
MORPHOLOGIE
.
84
6
2
11
NANOPOROESES
SILIZIUM
.
84
6
2.1.2
MESOPOROESES
SILIZIUM
.
86
6.2.1.3
MAKROPOROSES
SILIZIUM
UND
DURCHSCHLAGSPOREN
.
87
6.2
2
PORENNUKLEATION
.
88
6.2.3
PORENBILDUNGSMECHANISMEN
.
88
6.3
M
AKROPORENAETZUNG
IN
N
-S
I
.
91
6.3.1
EXPERIMENTELLES
.
92
6.3.2
PHYSIK
DER
MAKROPORENAETZUNG
UNTER
RUECKSEITENBELEUCHTUNG
.
94
6.3.3
VARIATIONSMOEGHCHKEITEN
BEI
DER
MAKROPORENBILDUNG
BEI
RUECKSEITENBELEUCHTUNG
.
98
6.3.4
MAKROPOREN
OHNE
VORGEGEBENE
ATZKEIME
-
YY
WILDE
POREN"
.
101
6.3.5
MAKROPOREN
MIT
VORGEGEBENEN
ATZKEIMEN
.
103
6.4
D
URCHSCHLAGSPOREN
.
106
6.5
A
NWENDUNGSMOEGLICHKEITEN
DER
VERSCHIEDENEN
P
ORENFORMEN
IN
S
ILIZIUM
.
109
6.6
Z
USAMMENFASSUNG
.
111
7
ELEKTROCHEMISCHE
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
ENTSTEHUNG
VON
NANO- UND
MESOPO
REN
IN
P-SL
_
112
7.1
S
TROMDICHTE
-S
PANNUNGSKENNLINIEN
UND
P
OTENTIALSPRUNGEXPERIMENTE
.
112
7.2
I
MPEDANZMESSUNGEN
UNTER
STATIONAEREN
B
EDINGUNGEN
.
115
7
3
A
USWERTUNG
DER
I
MPEDANZSPEKTREN
.
116
7.4
Z
EIT
AUFGELOESTE
I
MPEDANZSPEKTROSKOPIE
IM
P
ORENBILDUNGSBEREICH
AN
P
-S
I
-E
LEKTRODEN
.
118
7.5
D
ISKUSSION
.
122
7.5.1
POTENTIALVERTEILUNG
.
122
7.5.2
IMPEDANZVERHALTEN
.
123
7.5.3
INTERPRETATION
DER
ZEITAUFGELOESTEN
IMPEDANZMESSUNGEN
IM
PORENBILDUNGSBEREICH
.
125
7.5.4
INDUKTIVES
VERHALTEN
IM
IMPEDANZSPEKTRUM
WAEHREND
DER
PORENBILDUNG
.
128
7.6
Z
USAMMENFASSUNG
.
129
8
ELEKTRISCH
LEITENDE
POLYMERKONTAKTE AUF
NANOPOROESEM
SILIZIUM
_
130
8.1
N
ANOPOROESES
LEUCHTENDES
S
ILIZIUM
.
130
8.1.1
EXPERIMENTELLE
BEFUNDE
ZUR
PHOTOLUMINESZENZ
.
130
8.1
2
THEORETISCHE
BETRACHTUNGEN
ZUR
BANDSTRUKTUR
VON
NANOPOROESEM
SILIZIUM
.
132
8.1
3
MODELLE
FOERDIE
PHOTOLUMINESZENZ
.
132
8.1
4
ELEKTROLUMINESZENZ
.
134
8.2
L
EITENDE
P
OLYMERE
.
135
8.3
A
BSCHEIDUNG
LEITENDER
P
OLYMERER
AUF
NANOPOROESEM
S
ILIZIUM
.
138
INHALTSVERZEICHNIS
III
8.3.1
EXPERIMENTELLES
.
138
8.3.2
ELEKTROCHEMISCHE
ABSCHEIDUNG
VON
PPY
.
139
8.3.3
SIMS-UNTERSUCHUNGEN
ZUR
ELEKTROCHEMISCHEN
ABSCHEIDUNG
VON
PPY
UND
DER
ABSCHEIDUNG
VON
PANI-DISPERSIONEN
AUF
NANOPOROESEM SILIZIUM
.
141
8.3.4
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
PHOTOLUMINESZENZ
AN
POLYMERBESCHICHTETEN
NANOPOROESEN
SILIZIUMSCHICHTEN
.
142
8.3.5
LICHTEMITTIERENDE
DIODEN
(LED)
AUF
DER
BASIS
VON
POLYMERBESCHICHTETEM
NANOPOROESEN
SILIZIUM
.
143
8
3
5
1
STROM-SPANNUNGSKENNLMIE
.
144
8
3
5
2
ELEKTROLUNUNESZENZ
.
145
8.4
D
ISKUSSION
.
147
8.4.1
SIMS-UNTERSUCHUNGEN
.
147
8.4.2
PHOTOLUMINESZENZVERHALTEN
.
147
84
3
STROM-SPANNUNGSCHARAKTERISTIK
.
148
8
4.4
ELEKTROLUMINESZENZ
.
149
8.5
Z
USAMMENFASSUNG
.
151
9
ENTWICKLUNG
EINES
PROZESSES
ZUR
DREIDIMENSIONALEN
MIKROSTRUKTURIERUNG
VON
SI
AUF
DER
BASIS
VON
MAKROPOREN
_
152
9.1
M
IKROSTRUKTURTECHNIK
.
152
9.2
M
IKROSTRUKTURFERTIGUNG
MIT
M
AKROPOREN
.
156
9.2.1
MOTIVATION
.
156
9.2.2
KONZEPTE
ZUR
REALISIERUNG
VON
MIKROSTRUKTUREN
.
156
9.2.3
EXPERIMENTELLES
.
160
9.2.4
PORENRASTER
.
160
9.2.5
SEITENWANDPASSIVIERUNG
.
161
9.2.6
MASKENTECHNIK
.
162
9.2
6
1
DIREKTE
ABDECKUNG
DER
POREN
MIT
PHOTOLACK
.
163
9
2
6
2
VERSCHLIESSEN
DER
POREN
.
163
9.2.7
ENTFERNUNG
DER
SEITENWANDPASSIVIERUNG
.
166
9.2.8
AETZUNG
DER
MIKROSTRUKTUREN
.
168
9
2
8
1
AUSWAHL
DES
VERFAHRENS
168
9
2
8
2
ERGEBNISSE
DES
AETZPROZESSES
169
9.2.9
PORENAUFFILLLUNG
DER
MIKROSTRUKTUREN
.
170
9.2.10
GRENZEN
UND
VERBESSERUNGEN
DER
TECHNOLOGIE
SOWIE
ANWENDUNGSMOEGLICHKEITEN
DER
MIKROSTRUKTUREN
.
172
9.3
Z
USAMMENFASSUNG
.
173
ZUSAMMENFASSUNG.
_
175
ANHANG
178
LITERATURVERZEICHNIS
_
181 |
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| spelling | Ottow, Stefan Verfasser aut Elektrochemische Untersuchungen am Silizium-Flußsäure-Elektrolytkontakt und Anwendungen von nano- und makroporösen Siliziumschichten vorgelegt von Stefan Ottow 1996 III, 199 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kiel, Univ., Diss., 1996 Poröser Stoff (DE-588)4046811-2 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Grenzfläche (DE-588)4021991-4 gnd rswk-swf Flusssäure (DE-588)4209062-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Flusssäure (DE-588)4209062-3 s Grenzfläche (DE-588)4021991-4 s DE-604 Poröser Stoff (DE-588)4046811-2 s DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007573759&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
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