Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen:
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Buch |
Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1995
|
Schlagworte: | |
Beschreibung: | Hamburg, Univ., Diss., 1996 |
Beschreibung: | [6], 126 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | BV011266320 | ||
003 | DE-604 | ||
005 | 19970929 | ||
007 | t | ||
008 | 970321s1995 ad|| m||| 00||| gerod | ||
016 | 7 | |a 94933166X |2 DE-101 | |
035 | |a (OCoLC)56320827 | ||
035 | |a (DE-599)BVBBV011266320 | ||
040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
041 | 0 | |a ger | |
049 | |a DE-91 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-12 |a DE-11 | ||
084 | |a PHY 658d |2 stub | ||
084 | |a PHY 660d |2 stub | ||
100 | 1 | |a Boettger, Eckart |e Verfasser |4 aut | |
245 | 1 | 0 | |a Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen |c vorgelegt von Eckart Boettger |
264 | 1 | |c 1995 | |
300 | |a [6], 126 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
336 | |b txt |2 rdacontent | ||
337 | |b n |2 rdamedia | ||
338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
500 | |a Hamburg, Univ., Diss., 1996 | ||
650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Elektrische Stoffeigenschaft |0 (DE-588)4270242-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
650 | 0 | 7 | |a Mikrostruktur |0 (DE-588)4131028-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
689 | 0 | 0 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
689 | 0 | 1 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |D s |
689 | 0 | 2 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
689 | 0 | 3 | |a PECVD-Verfahren |0 (DE-588)4267316-1 |D s |
689 | 0 | 4 | |a Mikrostruktur |0 (DE-588)4131028-7 |D s |
689 | 0 | 5 | |a Elektrische Stoffeigenschaft |0 (DE-588)4270242-2 |D s |
689 | 0 | |5 DE-604 | |
999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007564483 |
Datensatz im Suchindex
_version_ | 1804125769384853504 |
---|---|
any_adam_object | |
author | Boettger, Eckart |
author_facet | Boettger, Eckart |
author_role | aut |
author_sort | Boettger, Eckart |
author_variant | e b eb |
building | Verbundindex |
bvnumber | BV011266320 |
classification_tum | PHY 658d PHY 660d |
ctrlnum | (OCoLC)56320827 (DE-599)BVBBV011266320 |
discipline | Physik |
format | Book |
fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01664nam a2200457 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011266320</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19970929 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970321s1995 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">94933166X</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)56320827</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011266320</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 658d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 660d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Boettger, Eckart</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Eckart Boettger</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">[6], 126 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Hamburg, Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrische Stoffeigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4270242-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131028-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">PECVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4267316-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Mikrostruktur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131028-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Elektrische Stoffeigenschaft</subfield><subfield code="0">(DE-588)4270242-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007564483</subfield></datafield></record></collection> |
genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
genre_facet | Hochschulschrift |
id | DE-604.BV011266320 |
illustrated | Illustrated |
indexdate | 2024-07-09T18:06:49Z |
institution | BVB |
language | German |
oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007564483 |
oclc_num | 56320827 |
open_access_boolean | |
owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-11 |
owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-11 |
physical | [6], 126 S. Ill., graph. Darst. |
publishDate | 1995 |
publishDateSearch | 1995 |
publishDateSort | 1995 |
record_format | marc |
spelling | Boettger, Eckart Verfasser aut Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen vorgelegt von Eckart Boettger 1995 [6], 126 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Hamburg, Univ., Diss., 1996 Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd rswk-swf Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd rswk-swf Elektrische Stoffeigenschaft (DE-588)4270242-2 gnd rswk-swf Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Diamant (DE-588)4012069-7 s Polykristall (DE-588)4188261-1 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 s Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 s Elektrische Stoffeigenschaft (DE-588)4270242-2 s DE-604 |
spellingShingle | Boettger, Eckart Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd Elektrische Stoffeigenschaft (DE-588)4270242-2 gnd Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd |
subject_GND | (DE-588)4136925-7 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4267316-1 (DE-588)4188261-1 (DE-588)4270242-2 (DE-588)4131028-7 (DE-588)4113937-9 |
title | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen |
title_auth | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen |
title_exact_search | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen |
title_full | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen vorgelegt von Eckart Boettger |
title_fullStr | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen vorgelegt von Eckart Boettger |
title_full_unstemmed | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen vorgelegt von Eckart Boettger |
title_short | Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen |
title_sort | polykristalline diamantschichten fur elektronische anwendungen |
topic | Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd PECVD-Verfahren (DE-588)4267316-1 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd Elektrische Stoffeigenschaft (DE-588)4270242-2 gnd Mikrostruktur (DE-588)4131028-7 gnd |
topic_facet | Dünne Schicht Diamant PECVD-Verfahren Polykristall Elektrische Stoffeigenschaft Mikrostruktur Hochschulschrift |
work_keys_str_mv | AT boettgereckart polykristallinediamantschichtenfurelektronischeanwendungen |