Elektrischer Transport in lateral strukturierten Si-Ge-Heterostrukturen:
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
.
1
1.
EINLEITUNG
.
3
2.
ZWEIDIMENSIONALE
LADUNGSTRAEGERSYSTEME
IN
SILIZIUM-GERMANIUM.
-----
.5
2.1.
SI/GE-HETEROSTRUKTUREN
.
5
2.2.
HOCHBEWEGLICHE
ELEKTRONEN
UND
LOECHERGASE
.
8
2.3.
PROBENMATERIAL
FUER
DIE
LATERALE
STRUKTURIERUNG
.
12
2.4.
TRANSPORTEIGENSCHAFTEN
.
13
2.4.1.
STREUUNG
AN
DOTIERATOMEN
.
14
2.4.2.
STREUUNG
AN
IONISIERTEN
HINTERGRUNDVERUNREINIGUNGEN
.
14
2.4.3.
STREUUNG
AN
VERSETZUNGEN
.
15
2.4.4.
GRENZFLAECHENRAUHIGKEIT
.
15
2.4.5.
STREUUNG
DURCH
VERSPANNUNGSVARIATIONEN
.
16
2.4.6.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
.
16
2.5.
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
DER
BEWEGLICHKEIT
.
20
3.
TRANSPORT
IN
NIEDRIGDIMENSIONALEN
LADUNGSTRAEGERSYSTEMEN
.
24
3.1.
ZWEIDIMENSIONALE
LADUNGSTRAEGERSYSTEME
.
24
3.2.
EINDIMENSIONALE
SYSTEME
.
27
3.2.1.
DICHTEMODULIERTE
ZWEIDIMENSIONALE
SYSTEME
.
27
3.2.2.
QUASIBALLISTISCHER
TRANSPORT
.
31
3.2.3.
BALLISTISCHER
TRANSPORT
.
33
3.3.
EINZELELEKTRONENTUNNELN
DURCH
QUANTENPUNKTE
.
35
3.4.
IN-PLANE-GATE-STRUKTUREN
.
40
4.
PROBENPRAEPARATION
UND
MESSTECHNIK
.
44
4.1.
PROBENPRAEPARATION
.
44
4.1.1.
MESAHERSTELLUNG
.
44
4.1.2.
HOLOGRAPHISCHE
LITHOGRAPHIE
.
45
4.1.3.
STRUKTURIERUNG
DURCH
SCHOTTKY-GATES
.
46
4.1.4.
LONENSTRAHLSCHREIBEN
.
47
4.1.5.
LASERSTRAHLSCHREIBEN
.
49
4.1.6.
REAKTIVES
LONENAETZEN
.
52
4.2.
MESSTECHNIK
.
56
5.
TRANSPORT
IN
NIEDRIGDIMENSIONALEN
ELEKTRONENSYSTEMEN
.
59
5.1
TRANSPORT
IN
PERIODISCHEN
DRAHTGITTEM
.
59
5.1.1.
EINFUEHRUNG
.
59
5.1.2.
FELDEFFEKT-INDUZIERTE
ELEKTRONENKANAELE
.
60
5.1.3.
REAKTIV
IONENGEAETZTE
ELEKTRONENKANAELE
.
68
5.1.3.1.
TRANSPORT
PARALLEL
ZU
PERIODISCHEN
DRAHTGITTEM
.
68
5.1.3.2.
TRANSPORT
SENKRECHT
ZU
PERIODISCHEN
DRAHTGITTEM
.
75
5.1.4.
WERTUNG
DER
ERGEBNISSE
.
81
5.2.
TRANSPORT
DURCH
QUANTENPUNKTSTRUKTUREN
IN
SI/SIGE
.
82
6.
/N-P/ANE-GATE-STRUKTUREN
.
88
6.1.
STRUKTURIERUNG
MIT
DEM
FOKUSSIERTEN
LASERSTRAHL
.
88
6.1.1.
ERGEBNISSE
AN
N-TYP-HETEROSTRUKTUREN
.
88
6.1.2.
ERGEBNISSE
AN
P-TYP-HETEROSTRUKTUREN
.
98
6.2.
IMPLANTATION
VON
GA-IONEN
.
102
6.3.
REAKTIVES
LONENAETZEN
MIT
IN-SIM-PASSIVIERUNG
.
111
6.4.
VERGLEICH
DER
METHODEN
.
118
6.4.1.
STEUERVERHALTEN
DER
ZN-PZANE-GAZE-STRUKTUREN
.
118
6.4.2.
ZUSAMMENFASSUNG
DER
EIGENSCHAFTEN
.
119
7.
AUSBLICK.
.
121
LITERATURVERZEICHNIS
.123
VEROEFFENTLICHUNGSLISTE
.132
DANKSAGUNG
.
134 |
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