Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle: = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Verl. der Augustinus-Buchh.
1996
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung
60 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | III, 132 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860735683 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011254786 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20130213 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970311s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 949625094 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3860735683 |c kart. |9 3-86073-568-3 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75899017 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011254786 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91G |a DE-11 | ||
| 084 | |a UP 7580 |0 (DE-625)146437: |2 rvk | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 786d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Stollenwerk, Manfred |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle |b = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |c Manfred Stollenwerk |
| 246 | 1 | 1 | |a Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a Aachen |b Verl. der Augustinus-Buchh. |c 1996 | |
| 300 | |a III, 132 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung |v 60 | |
| 502 | |a Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Plasmapolymerisation |0 (DE-588)4174832-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Hexamethyldisiloxan |0 (DE-588)4441798-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikrowellentechnik |0 (DE-588)4131042-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Hexamethyldisiloxan |0 (DE-588)4441798-6 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Plasmapolymerisation |0 (DE-588)4174832-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Mikrowellentechnik |0 (DE-588)4131042-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Beschichtung |0 (DE-588)4144863-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung |v 60 |w (DE-604)BV007039552 |9 60 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007555610&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007555610 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807320405704179712 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
UND
ZIELSETZUNG
.
1
2
GRUNDLAGEN
DER
PLASMAPROZESSE
.
5
2.1
DIE
PLASMAPOLYMERISATION
.
6
2.2
CHEMISCHE
REAKTIONEN
BEI
DER
PLASMAPOLYMERISATION
.
7
2.2.1
REAKTIONEN
ZWISCHEN
ELEKTRONEN
UND
ATOMEN
.
7
2.2.2
REAKTIONEN
ZWISCHEN ATOMEN
BZW.
MOLEKUELEN
.
9
2.2.3
REAKTIONEN
ZWISCHEN
GASPHASE
UND
FESTKOERPEROBERFLAECHEN
.
.
10
2.3
DEN
PLASMAPOLYMERISATIONSPROZESS
BEEINFLUSSENDE
PARAMETER
.
12
3
NUMERISCHE
SIMULATION
DER
ELEKTRONENENERGIEVERTEILUNG
IM
PLASMA
.
15
3.1
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
.
15
3.2
NUMERISCHE
SIMULATION
DER
PHYSIKALISCHEN
PLASMAPROZESSE
.
17
3.2.1
ENTWICKLUNG
DER
BOLTZMANN-GLEICHUNG
.
17
3.2.2
PROGRAMMSTRUKTUR
.
19
3.2.3
SIMULATIONSERGEBNISSE
.
20
3.2.4
ANWENDUNG
DER
BERECHNUNGEN
AUF
DIE
EXPERIMENTELL
VERWENDETE
PLASMAQUELLE
.
21
4
EIGENSCHAFTEN
PLASMAPOLYMERISIERTER
HEXAMETHYLDISILOXAN-SCHICHTEN
.
25
4.1
AUFBAU
DER
VERWENDETEN
ANLAGE
ZUR
KLEINFLAECHIGEN
BESCHICHTUNG
.
26
4.2
UNTERSUCHUNG
DER
GASPHASENREAKTIONEN
MITTELS
MASSENSPEKTROMETRIE
.
28
4.2.1
AUFTRETENDE
CHEMISCHE
REAKTIONEN
.
28
4.2.2
EINFLUSS
DER
MIKROWELLENLEISTUNG
AUF
DIE
PLASMAPOLYMERISATION
VON
HMDSO
.
31
4.3
EINFLUSS
VON
SAUERSTOFFZUGABEN
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
VON
PLASMAPOLYMERISIERTEM
HMDSO
.
34
4.3.1
CHEMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
35
II
INHALTSVERZEICHNIS
4.3.2
MORPHOLOGIE
.
37
4.3.3
E-MODUL
.
42
4.4
EINFLUSS
VON
FREMDGASEN
AUF
DIE
PLASMAPROZESSE
.
44
4.4.1
MASSENSPEKTROMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
.
44
4.4.2
EINFLUSS
AUF
DIE
SCHICHTZUSAMMENSETZUNG
.
47
4.5
EINFLUSS
DER
AMPLITUDENMODULATION
DER
MIKROWELLENSTRAHLUNG
AUF
DIE
SCHICHTEIGENSCHAFTEN
.
50
4.5.1
VERWENDETE
MIKROWELLENGENERATOREN
.
51
4.5.2
EINFLUSS
AUF
DIE
PLASMAPOLYMERISATIOJI
VON
HMDSO
.
52
4.5.3
EINFLUSS
AUF
DIE
PLASMAPOLYMERISATION
VON
ETHYLEN
.
53
4.6
THERMISCHES
VERHALTEN
VON
PLASMAPOLYMERISIERTEM
HMDSO
.
54
5
ENTWICKLUNG
EINER
GROSSFLAECHIGEN,
MIKROWELLENANGEREGTEN
PLASMAQUELLE
ZUR
HOMOGENEN
SCHICHTABSCHEIDUNG
.
59
5.1
PROBLEMSTELLUNG
.
59
5.2
STAND
DER
TECHNIK
.
61
5.2.1
PLASMAQUELLEN
.
61
5.2.2
BISHER
ERREICHBARE
SCHICHTHOMOGENITAETEN,
AUSGANGSSITUATION
.
.
63
5.3
UNTERSUCHUNGEN
ZU
BESCHICHTUNGEN
INNERHALB
DER
PLASMAZONE
.
65
5.4
NEU
ENTWICKELTE
PLASMAQUELLE
.
69
5.4.1
TECHNISCHE
REALISIERUNG
.
71
5.4.2
OPTIMIERUNG
DER
MIKROWELLEN-AUSKOPPLUNGS-EINHEIT
.
74
5.4.3
ELEKTRONENENERGIEVERTEILUNG
.
TI
5.4.4
GRUNDLEGENDES
ABSCHEIDEVERHALTEN
.
79
5.4.5
UEBERLEGUNGEN
ZUR
GASSTROEMUNG
.
82
5.4.6
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
HOMOGENITAET
.
85
5.5
VERWENDUNG
DER
"GIGATRON
'
-MIKROWELLENAUSKOPPLUNG
.
96
5.5.1
UNTERSUCHUNGEN
ZUM
PLASMABRAND
.
98
5.5.2
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
SCHICHTHOMOGENITAET
BEI
DER
"GIGATRON"
MIKROWELLENAUSKOPPLUNG
.
98
5.6
ZUSAMMENFASSENDE
WERTUNG
DER
NEUEN
PLASMAQUELLE
.
104
INHALTSVERZEICHNIS
III
6
UNTERSUCHUNGEN
ZUR
BESCHICHTUNG
MITTELS
DER
REMOTE-PLASMAPOLYMERI
SATION
107
6.1
ANLAGENAUFBAU
.
108
6.2
SCHICHTABSCHEIDEMECHANISMEN
BEI
DER
REMOTE-PLASMAPOLYMERISATION
109
6.3
BESCHICHTUNGSERGEBNISSE
.
110
7
ZUSAMMENFASSUNG
.
115
SUMMARY
.
117
8
LITERATURVERZEICHNIS
.
121
9
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
.
131 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Stollenwerk, Manfred |
| author_facet | Stollenwerk, Manfred |
| author_role | aut |
| author_sort | Stollenwerk, Manfred |
| author_variant | m s ms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011254786 |
| classification_rvk | UP 7580 |
| classification_tum | FER 882d FER 786d |
| ctrlnum | (OCoLC)75899017 (DE-599)BVBBV011254786 |
| discipline | Physik Fertigungstechnik |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV011254786</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20130213</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970311s1996 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">949625094</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3860735683</subfield><subfield code="c">kart.</subfield><subfield code="9">3-86073-568-3</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75899017</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011254786</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7580</subfield><subfield code="0">(DE-625)146437:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 786d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Stollenwerk, Manfred</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle</subfield><subfield code="b">= Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source</subfield><subfield code="c">Manfred Stollenwerk</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Verl. der Augustinus-Buchh.</subfield><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">III, 132 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung</subfield><subfield code="v">60</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Plasmapolymerisation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174832-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hexamethyldisiloxan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4441798-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrowellentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131042-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Hexamethyldisiloxan</subfield><subfield code="0">(DE-588)4441798-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Plasmapolymerisation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4174832-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Mikrowellentechnik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4131042-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Beschichtung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144863-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung</subfield><subfield code="v">60</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV007039552</subfield><subfield code="9">60</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007555610&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007555610</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011254786 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-14T00:24:11Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3860735683 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007555610 |
| oclc_num | 75899017 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-11 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-11 |
| physical | III, 132 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| publisher | Verl. der Augustinus-Buchh. |
| record_format | marc |
| series | Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung |
| series2 | Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung |
| spelling | Stollenwerk, Manfred Verfasser aut Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source Manfred Stollenwerk Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source 1. Aufl. Aachen Verl. der Augustinus-Buchh. 1996 III, 132 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung 60 Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd rswk-swf Plasmapolymerisation (DE-588)4174832-3 gnd rswk-swf Hexamethyldisiloxan (DE-588)4441798-6 gnd rswk-swf Mikrowellentechnik (DE-588)4131042-1 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Hexamethyldisiloxan (DE-588)4441798-6 s Plasmapolymerisation (DE-588)4174832-3 s Mikrowellentechnik (DE-588)4131042-1 s Beschichtung (DE-588)4144863-7 s DE-604 Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung 60 (DE-604)BV007039552 60 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007555610&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Stollenwerk, Manfred Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source Aachener Beiträge zur Kunststoffverarbeitung Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Plasmapolymerisation (DE-588)4174832-3 gnd Hexamethyldisiloxan (DE-588)4441798-6 gnd Mikrowellentechnik (DE-588)4131042-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4144863-7 (DE-588)4174832-3 (DE-588)4441798-6 (DE-588)4131042-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| title_alt | Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| title_auth | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| title_exact_search | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| title_full | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source Manfred Stollenwerk |
| title_fullStr | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source Manfred Stollenwerk |
| title_full_unstemmed | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source Manfred Stollenwerk |
| title_short | Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle |
| title_sort | mikrowellenangeregte plasmapolymerisation plasma und schichteigenschaften sowie entwicklung einer grossflachigen plasmaquelle microwave stimulated plasma polymerization plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| title_sub | = Microwave stimulated plasma polymerization: plasma and layer properties and development of a large area plasma source |
| topic | Beschichtung (DE-588)4144863-7 gnd Plasmapolymerisation (DE-588)4174832-3 gnd Hexamethyldisiloxan (DE-588)4441798-6 gnd Mikrowellentechnik (DE-588)4131042-1 gnd |
| topic_facet | Beschichtung Plasmapolymerisation Hexamethyldisiloxan Mikrowellentechnik Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007555610&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV007039552 |
| work_keys_str_mv | AT stollenwerkmanfred mikrowellenangeregteplasmapolymerisationplasmaundschichteigenschaftensowieentwicklungeinergrossflachigenplasmaquellemicrowavestimulatedplasmapolymerizationplasmaandlayerpropertiesanddevelopmentofalargeareaplasmasource AT stollenwerkmanfred microwavestimulatedplasmapolymerizationplasmaandlayerpropertiesanddevelopmentofalargeareaplasmasource |