Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | IV, 108 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011237022 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19971020 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970310s1996 gw ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 950043559 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258138118 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011237022 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-12 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a UP 3150 |0 (DE-625)146377: |2 rvk | ||
| 084 | |a UP 3200 |0 (DE-625)146379: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Lahnor, Peter |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren |c von Peter Lahnor |
| 264 | 1 | |c 1996 | |
| 300 | |a IV, 108 S. |b Ill., zahlr. graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996 | ||
| 650 | 4 | |a Silicium - Silicide - Schottky-Kontakt - Elektronischer Transport | |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektronischer Transport |0 (DE-588)4210733-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Schottky-Kontakt |0 (DE-588)4240294-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Silicide |0 (DE-588)4268288-5 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Schottky-Kontakt |0 (DE-588)4240294-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Elektronischer Transport |0 (DE-588)4210733-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007541315&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007541315 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807773625180225536 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINLEITUNG
1
2.
KINETIK
DER
SILIZIDBILDUNG
3
2.1
PLATINSILIZIDE
.
3
2.2
IRIDIUMSILIZIDE
.
6
2.3
MISCHSILIZIDE
.
6
3.
ELEKTRONISCHE
STRUKTUR
DER
SCHOTTKY-BARRIERE
10
3.1
ENTSTEHUNG
DER
SCHOTTKY-BARRIERE
.
10
3.2
LADUNGSTRANSPORT
UEBER
HOMOGENE
BARRIEREN
.
13
3.2.1
SCHOTTKY-EFFEKT
.
13
3.2.2
THERMIONISCHE
EMISSION
.
15
3.2.3
KAPAZITAET
VON
SCHOTTKY-KONTAKTEN
.
18
3.2.4
INNERE
PHOTOEMISSION
.
18
3.3
URSACHEN
FUER
INHOMOGENE
BARRIEREN
.
21
3.4
BANDVERLAUF
HINTER
INHOMOGENITAETEN
.
22
3.4.1
ISOLIERTE
EINBRUECHE
.
23
3.4.2
ALTERNIERENDE
BARRIERE
.
25
3.5
LADUNGSTRANSPORT
UEBER
INHOMOGENE
BARRIEREN
.
29
INHALTSVERZEICHNIS
3.5.1
ANALYSE
VON
DUNKELSTROMKENNLINIEN
.
29
3.5.2
ANALYSE
VON
PHOTOSTROMKENNLINIEN
.
33
4.
EXPERIMENTELLE
DETAILS
37
4.1
SILIZIUM-SUBSTRATSTRUKTUREN
.
37
4.2
CHEMISCHE
VORBEHANDLUNG
.
39
4.3
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
.
41
4.4
TEMPERVERFAHREN
.
43
4.5
MESSAUFBAU
FUER
ELEKTROOPTISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
45
4.6
MESSVERFAHREN
ZUR
STRUKTURUNTERSUCHUNG
.
48
4.6.1
RUTHERFORD
RUECKSTREUUNG
.
48
4.6.2
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
.
50
4.6.3
AUGER-ELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
.
50
5.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
52
5.1
UNTERSUCHUNGEN
AN
PLATINSILIZID
.
53
5.1.1
SCHOTTKY-DIODEN
AUF
N-SI(LLL)
.
53
5.1.2
SCHOTTKY-DIODEN
AUF
P-SI(100)
.
55
5.1.3
STRUKTURUNTERSUCHUNGEN
AN
PTSI-DUENNFILMEN
.
57
5.2
PLATIN-IRIDIUM
MISCHSILIZIDE
.
62
5.2.1
HERSTELLUNGSVERFAHREN
.
62
5.2.2
STRUKTURUNTERSUCHUNGEN
.
64
5.2.3
ELEKTRISCHE
CHARAKTERISIERUNG
.
71
INHALTSVERZEICHNIS
6.
AUSWERTUNG
UND
DISKUSSION
77
6.1
ISOLIERTE
EINBRUECHE
IN
DER
SCHOTTKY-BARRIERE
.
78
6.2
OPTIMALE
PROZESSIERUNG
FUER
INFRAROT-DETEKTOREN
.
84
6.3
EINSTELLEN
DER
BARRIERENHOEHE
DURCH
MISCHSILIZIDE
.
89
6.3.1
ENTMISCHUNG
VON
PT-IR
METALLFILMEN
.
89
6.3.2
EINSTELLEN
DER
BARRIERENHOEHE
.
92
6.3.3
NACHWEIS
ALTERNIERENDER
BARRIEREN
.
95
7.
ZUSAMMENFASSUNG
98
8.
AUSBLICK
101 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Lahnor, Peter |
| author_facet | Lahnor, Peter |
| author_role | aut |
| author_sort | Lahnor, Peter |
| author_variant | p l pl |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011237022 |
| classification_rvk | UP 3150 UP 3200 |
| ctrlnum | (OCoLC)258138118 (DE-599)BVBBV011237022 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011237022</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19971020</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970310s1996 gw ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">950043559</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258138118</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011237022</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3150</subfield><subfield code="0">(DE-625)146377:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 3200</subfield><subfield code="0">(DE-625)146379:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Lahnor, Peter</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren</subfield><subfield code="c">von Peter Lahnor</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1996</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IV, 108 S.</subfield><subfield code="b">Ill., zahlr. graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Silicium - Silicide - Schottky-Kontakt - Elektronischer Transport</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektronischer Transport</subfield><subfield code="0">(DE-588)4210733-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Schottky-Kontakt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240294-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Silicide</subfield><subfield code="0">(DE-588)4268288-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Schottky-Kontakt</subfield><subfield code="0">(DE-588)4240294-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Elektronischer Transport</subfield><subfield code="0">(DE-588)4210733-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007541315&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007541315</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011237022 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-19T00:27:54Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007541315 |
| oclc_num | 258138118 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | IV, 108 S. Ill., zahlr. graph. Darst. |
| publishDate | 1996 |
| publishDateSearch | 1996 |
| publishDateSort | 1996 |
| record_format | marc |
| spelling | Lahnor, Peter Verfasser aut Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren von Peter Lahnor 1996 IV, 108 S. Ill., zahlr. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996 Silicium - Silicide - Schottky-Kontakt - Elektronischer Transport Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Elektronischer Transport (DE-588)4210733-7 gnd rswk-swf Silicide (DE-588)4268288-5 gnd rswk-swf Schottky-Kontakt (DE-588)4240294-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Silicide (DE-588)4268288-5 s Schottky-Kontakt (DE-588)4240294-3 s Elektronischer Transport (DE-588)4210733-7 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007541315&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Lahnor, Peter Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren Silicium - Silicide - Schottky-Kontakt - Elektronischer Transport Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Elektronischer Transport (DE-588)4210733-7 gnd Silicide (DE-588)4268288-5 gnd Schottky-Kontakt (DE-588)4240294-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4210733-7 (DE-588)4268288-5 (DE-588)4240294-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren |
| title_auth | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren |
| title_exact_search | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren |
| title_full | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren von Peter Lahnor |
| title_fullStr | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren von Peter Lahnor |
| title_full_unstemmed | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren von Peter Lahnor |
| title_short | Ladungsträgertransport über inhomogene Silizid-Silizium-Schottky-Barrieren |
| title_sort | ladungstragertransport uber inhomogene silizid silizium schottky barrieren |
| topic | Silicium - Silicide - Schottky-Kontakt - Elektronischer Transport Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Elektronischer Transport (DE-588)4210733-7 gnd Silicide (DE-588)4268288-5 gnd Schottky-Kontakt (DE-588)4240294-3 gnd |
| topic_facet | Silicium - Silicide - Schottky-Kontakt - Elektronischer Transport Silicium Elektronischer Transport Silicide Schottky-Kontakt Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007541315&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT lahnorpeter ladungstragertransportuberinhomogenesilizidsiliziumschottkybarrieren |