Analyse des feldunterstützten Silber-Natrium-Ionenaustausches zur Herstellung planarer Mikrolinsen:
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Format: | Abschlussarbeit Buch |
Sprache: | German |
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1996
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INHALTSVERZEICHNIS
1
INHALTSVERZEICHNIS
ANALYSE
DES
FELDUNTERSTUETZTEN
SILBER-NATRIUM
LONENAUSTAUSCHES
ZUR
HERSTELLUNG
PLANARER
MIKROLINSEN
EINLEITUNG
UND
ZUSAMMENFASSUNG
1
1.
HERSTELLUNGSVERFAHREN
FUER
MIKROLINSEN
5
1.1
OBERFLAECHENLINSEN
5
1.2
GRADIENTENINDEX
LINSEN
7
1.3
LONENAUSTAUSCH
IN
GLAS
8
1.4
JUSTIERHALTERUNGEN
FUER
DIE
INTEGRIERTE
OPTIK
12
1.5
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
14
2.
GRUNDLAGEN
UND
THEORIE
DES
SILBER-NATRIUM
LONENAUSTAUSCHES
IN
GLAS
15
2.1
BESCHREIBUNG
DES
THERMISCHEN
LONENAUSTAUSCHES
16
2.2
BESCHREIBUNG
DES
FELDUNTERSTUETZTEN
LONENAUSTAUSCHES
20
2.3
SIMULATION
DES
FELDUNTERSTUETZTEN
LONENAUSTAUSCHES
28
2.4
UNTERSUCHUNG
DER
LINSENSYMMETRIE
32
2.5
ABWEICHUNGEN
DER
LINSENSYMMETRIE
IN
VERSCHIEDENEN
ARRAY-ANORDNUNGEN
35
2.6
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
49
3.
ITERATIVE
REKONSTRUKTION
EINER
GRADIENTENINDEX
VERTEILUNG
51
3.1
EINLEITUNG
UND
MOTIVATION
51
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.2
BEKANNTE
MESSMETHODEN
52
3.3
BESCHREIBUNG
DER
ZWIEBELSCHALENMETHODE
55
3.4
UNTERSUCHUNG
DER
STABILITAET
DES
ALGORITHMUS
57
3.5
LONENVERTEILUNG
BEI
VERWENDUNG
ENDLICHER
DIFFUSIONSMASKEN
65
3.6
ERWEITERUNG
DES
ALGORITHMUS
AUF
ELLIPTISCHE
PROFILE
67
3.7
ANPASSUNG
DES
ALGORITHMUS
AN
EXPERIMENTELLE
MESSUNGEN
MIT
EINEM
MACH-ZEHNDER
INTERFEROMETER
69
3.8
BESTIMMUNG
DER
FUNKTION
B(A)
71
3.9
BERUECKSICHTIGUNG
DER
OBERFLAECHENAUFWOELBUNG
BEIM
LONENAUSTAUSCH
75
3.10
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
76
3.11
VERGLEICH
MIT
BPM
80
3.12
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
81
4.
BEURTEILUNGSKRITERIEN
FUER
MIKROLINSEN
83
4.1
DIE
NUMERISCHE
APERTUR
EINER
MIKROLINSE
83
4.2
ZUSAETZLICHE
DEFINITION
EINER
BEUGUNGSBEGRENZTEN
NUMERISCHEN
APERTUR
FUER
MIKROLINSEN
87
4.3
TOLERANZKRITERIEN
FUER
BEUGUNGSBEGRENZTE
ABBILDUNGSLEISTUNG
88
4.4
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
91
5.
HERSTELLUNGSPROZESS
93
5.1
PROZESSUEBERSICHT
93
5.2
DIE
PROZESSSCHRITTE
IM
EINZELNEN
95
5.3
DIE
LONENQUELLE
99
5.4
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
102
6.
EXPERIMENTELLE
ERGEBNISSE
103
6.1
UEBERBLICK
UEBER
FOLGENDE
KAPITEL
103
6.2
UNTERSUCHUNG
DER
LINSENGEOMETRIE
103
6.3
DIE
DREIDIMENSIONALE
INDEXVERTEILUNG
105
INHALTSVERZEICHNIS
UEI
6.4
DIREKTER
VERGLEICH
MIT
ERGEBNISSEN
DES
THERMISCHEN
LONENAUSTAUSCHES
106
6.5
MECHANISCHE
AUFWOELBUNG
DURCH
LONENFEHLPASSUNG
109
6.6
EINFACHE
ABSCHAETZUNG
DES
EINFLUSSES
DER
MATERIALPARAMETER
AUF
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
112
6.7
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
113
7.
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
FELDUNTERSTUETZT
AUSGETAUSCHTER
MIKROLINSEN
115
7.1
BEURTEILUNGSKRITERIEN
UND
BEWERTUNG
115
7.2
ABHAENGIGKEIT
DER
OPTISCHEN
EIGENSCHAFTEN
VON
DEN
PROZESSPARAMETEM
121
7.3
OPTIMIERUNGSPOTENTIAL
DER
FELDUNTERSTUETZT
AUSGETAUSCHTEN
MIKROLINSEN
126
7.4
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
129
8.
BEEINFLUSSUNG
DER
WELLENABERRATIONEN
DURCH
NACHDIFFUSION
131
8.1
BEEINFLUSSUNG
EINES
GEGEBENEN
INDEXPROFILES
132
8.2
EXPERIMENTELLE
ANALYSE
DER
NACHDIFFUESION
134
8.3
WEITERE
OPTIMIERUNG
DURCH
VARIATION
DER
NACHDIFFIISIONSTEMPERATUR
143
8.4
GRENZEN
DER
OPTIMIERBARKEIT
147
8.5
MESSERGEBNISSE
OPTIMIERTER
MIKROLINSEN
152
8.6
VERGLEICH
MIT
KOMMERZIELL
ERHAELTLICHEN
PLANAREN
GRIN-LINSEN
161
8.7
ZUSAMMENFASSUNG
DES
KAPITELS
166
9.
LITERATURVERZEICHNIS
169 |
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