Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 175 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV011208297 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19980203 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 970218s1997 ad|| m||| 00||| gerod | ||
| 016 | 7 | |a 950103217 |2 DE-101 | |
| 035 | |a (OCoLC)258135373 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV011208297 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-29 |a DE-29T |a DE-355 |a DE-12 |a DE-703 |a DE-83 |a DE-11 |a DE-188 | ||
| 084 | |a UP 7550 |0 (DE-625)146434: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Stöckel, Reinhard |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen |c vorgelegt von Reinhard Stöckel |
| 264 | 1 | |c 1997 | |
| 300 | |a 175 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997 | ||
| 650 | 4 | |a Diamant - Dünne Schicht - Polykristall - CVD-Verfahren - Texturanalyse | |
| 650 | 0 | 7 | |a Texturanalyse |0 (DE-588)4184965-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Diamant |0 (DE-588)4012069-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Dünne Schicht |0 (DE-588)4136925-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Polykristall |0 (DE-588)4188261-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Texturanalyse |0 (DE-588)4184965-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007517832&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007517832 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1807505352230436864 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
3
2
GRUNDLAGEN
7
2.1
KOHLENSTOFF
.
7
2.1.1
DAS
ELEMENT
KOHLENSTOFF
.
7
2.1.2
MODIFIKATIONEN
DES
KOHLENSTOFFS
.
8
2.2
KUENSTLICHE
HERSTELLUNG
VON
DIAMANT
.
12
2.2.1
DIAMANTHERSTELLUNG
DURCH
HOCHDRUCKSYNTHESE
.
13
2.2.2
DIAMANTABSCHEIDUNG
AUS
DER
GASPHASE
.
14
2.3
DIAMANT-CVD
.
14
2.3.1
MOEGLICHKEITEN
DER
GASAKTIVIERUNG
.
17
2.3.2
ZUSAMMENSETZUNG
DER
AKTIVIERTEN
GASPHASE
.
18
2.3.3
REAKTIONEN
VON
ATOMAREM
WASSERSTOFF
MIT
FESTEM
KOHLENSTOFF
.
19
2.3.4
DIAMANTOBERFLAECHEN
.
21
2.3.5
THERMODYNAMIK
DES
WACHSTUMSPROZESSES
.
21
2.3.6
MIKROSKOPISCHE
WACHSTUMSMODELLE
.
23
2.3.7
HOMOEPITAXIE
.
25
2.3.8
HETEROEPITAXIE
.
25
2.3.9
KEIMBILDUNG
.
26
2.4
PLASMEN
.
28
2.4.1
DC-GLIMMENTLADUNG
.
28
2.4.2
MIKROWELLENPLASMA
.
31
3
BESCHREIBUNG
DER
MIKROWELLEN-CVD-ANLAGE
33
4
CHARAKTERISIERUNGSMETHODEN
40
4.1
PHOTOELEKTRONENSPEKTROSKOPIE
(XPS)
.
40
4.2
RAMANSPEKTROSKOPIE
.
44
4.3
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE
(REM)
.
45
4.4
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPIE
(TEM)
.
46
5
DIAMANTABSCHEIDUNG
MITTELS
MW-CVD
49
5.1
TYPISCHER
ABLAUF
DER
DIAMANTABSCHEIDUNG
.
49
5.2
ZUSAMMENSETZUNG
DER
PROBENOBERFLAECHE
ALS
FUNKTION
DER
WACHSTUMSZEIT
NACH
MANUELLEM
ZERKRATZEN
ZUR
ERHOEHUNG
DER
KEIMDICHTE
.
52
5.3
ORIENTIERT
TEXTURIERTE
DIAMANTFILME
.
57
5.3.1
MORPHOLOGIE
DER
KRISTALLE
.
57
5.3.2
TEXTURBILDUNG
.
60
5.3.3
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
63
5.3.4
ORIENTIERT
TEXTURIERTE
FILME
.
64
5.3.4.1
HISTORIE
DER
ORIENTIERT
TEXTURIERTEN
DIAMANTFILME
.
65
5.3.4.2
MODELLE
DER
KEIMBILDUNG
BEI
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
68
6
KEIMBILDUNG
70
6.1
HETEROGENE
DIAMANTKEIMBILDUNG
.
70
6.1.1
KLASSISCHE
THEORIE
DER
HETEROGENEN
KEIMBILDUNG
.
71
6.1.2
HETEROGENE
KEIMBILDUNG
VON
DIAMANT
UNTER
CVD-BEDINGUNGEN
.
74
6.2
KEIMBILDUNG
BEI
DER
DIAMANT-CVD
AUF
SILIZIUM
.
76
6.2.1
VERSCHIEDENE
SUBSTRATVORBEHANDLUNGEN
.
76
6.2.2
MOEGLICHE
URSACHEN
DER
KEIMBILDUNG
OHNE
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
80
6.3
KEIMBILDUNG
BEI
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
81
6.3.1
MAKROSKOPISCHE
PROZESSE
WAEHREND
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
82
6.3.1.1
TYPISCHER
ABLAUF
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
82
6.3.1.2
ZEITLICHER
VERLAUF
DES
BIAS-STROMS
.
82
6.3.1.3
FORM
DES
PLASMAS
.
84
6.3.1.4
BEREICHE
HOHER
KEIMDICHTEN
.
85
6.3.1.5
CHARAKTERISIERUNG
DER
PROBENOBERFLAECHE
UNMITTELBAR
NACH
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
86
6.3.1.6
DISKUSSION
UND
MODELL
DER
MAKROSKOPISCHEN
PROZESSE
WAEHREND
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
96
6.3.2
DETAILUNTERSUCHUNGEN
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
101
6.3.2.1
BIAS-VORBEHANDLUNG
BEI
EINER
DIAMANTFREIEN
SILIZIUMDECKSCHEI
BE
DES
PROBENHALTERS
.
101
6.3.2.2
LOKALISIERUNG
DER
KEIMBILDUNGSZONE
.
103
6.3.2.3
DIAMANTWACHSTUM
WAEHREND
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
-
VERLUST
DER
ORIENTIERUNG
.
105
6.3.2.4
GROSSFLAECHIG
ORIENTIERT
TEXTURIERTE
DIAMANTFILME
.
106
6.3.2.5
AETZEN
DER
PROBENOBERFLAECHE
.
107
6.3.2.6
SUBKUTANE
KEIMZENTREN
.
109
6.3.2.7
STABILITAET
VERSCHIEDENER
KOHLENSTOFFORMEN
.
111
6.3.2.8
DIAMANTWACHSTUM
AUF
SILIZIUMKARBID
.
112
6.3.2.9
METALLISCHE
VERUNREINIGUNGEN
.
112
6.3.2.10
LAENGERE
BIAS-VORBEHANDLUNG
-
WOLLE
.
117
6.3.2.11
KEGELAETZEN,
GRAPHITFASERN
UND
NANOTUBES
.
120
6.3.2.12
TEM-CHARAKTERISIERUNG
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
133
6.3.3
DISKUSSION
DER
KEIMBILDUNG
WAEHREND
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
.
142
6.3.3.1
KEGEL
UND
WHISKER
ALS
KEIMZENTREN
.
147
6.3.3.2
KOHLENSTOFFASERN
ALS
KEIMZENTREN
.
147
6.3.3.3
DEFEKTE
ALS
KEIMZENTREN
.
148
6.3.3.4
SILIZIUMKARBID
.
149
6.3.3.5
MODELL
DER
PROZESSE
WAEHREND
DER
BIAS-VORBEHANDLUNG
MIT
SUB
KUTANER
BILDUNG
VON
EPITAKTISCH
AUSGERICHTETEN
KEIMEN
IN
SILI
ZIUMKARBID
.
151
6.3.3.6
KEIMBILDUNG
AUF
KOHLENSTOFFNANOSTRUKTUREN
.
154
7
ZUSAMMENFASSUNG
157 |
| any_adam_object | 1 |
| author | Stöckel, Reinhard |
| author_facet | Stöckel, Reinhard |
| author_role | aut |
| author_sort | Stöckel, Reinhard |
| author_variant | r s rs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV011208297 |
| classification_rvk | UP 7550 |
| ctrlnum | (OCoLC)258135373 (DE-599)BVBBV011208297 |
| discipline | Physik |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV011208297</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19980203</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">970218s1997 ad|| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">950103217</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)258135373</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV011208297</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-29</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-703</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield><subfield code="a">DE-188</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UP 7550</subfield><subfield code="0">(DE-625)146434:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Stöckel, Reinhard</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Reinhard Stöckel</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1997</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">175 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Diamant - Dünne Schicht - Polykristall - CVD-Verfahren - Texturanalyse</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Texturanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184965-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Diamant</subfield><subfield code="0">(DE-588)4012069-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Dünne Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4136925-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Polykristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4188261-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Texturanalyse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4184965-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007517832&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007517832</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV011208297 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-08-16T01:23:51Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007517832 |
| oclc_num | 258135373 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-29 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-703 DE-83 DE-11 DE-188 |
| owner_facet | DE-29 DE-29T DE-355 DE-BY-UBR DE-12 DE-703 DE-83 DE-11 DE-188 |
| physical | 175 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1997 |
| publishDateSearch | 1997 |
| publishDateSort | 1997 |
| record_format | marc |
| spelling | Stöckel, Reinhard Verfasser aut Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen vorgelegt von Reinhard Stöckel 1997 175 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1997 Diamant - Dünne Schicht - Polykristall - CVD-Verfahren - Texturanalyse Texturanalyse (DE-588)4184965-6 gnd rswk-swf Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd rswk-swf Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Diamant (DE-588)4012069-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Diamant (DE-588)4012069-7 s Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 s Polykristall (DE-588)4188261-1 s CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Texturanalyse (DE-588)4184965-6 s DE-604 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007517832&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Stöckel, Reinhard Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen Diamant - Dünne Schicht - Polykristall - CVD-Verfahren - Texturanalyse Texturanalyse (DE-588)4184965-6 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4184965-6 (DE-588)4188261-1 (DE-588)4136925-7 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4012069-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen |
| title_auth | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen |
| title_exact_search | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen |
| title_full | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen vorgelegt von Reinhard Stöckel |
| title_fullStr | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen vorgelegt von Reinhard Stöckel |
| title_full_unstemmed | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen vorgelegt von Reinhard Stöckel |
| title_short | Keimbildung und Wachstum von orientiert texturierten Diamantfilmen |
| title_sort | keimbildung und wachstum von orientiert texturierten diamantfilmen |
| topic | Diamant - Dünne Schicht - Polykristall - CVD-Verfahren - Texturanalyse Texturanalyse (DE-588)4184965-6 gnd Polykristall (DE-588)4188261-1 gnd Dünne Schicht (DE-588)4136925-7 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Diamant (DE-588)4012069-7 gnd |
| topic_facet | Diamant - Dünne Schicht - Polykristall - CVD-Verfahren - Texturanalyse Texturanalyse Polykristall Dünne Schicht CVD-Verfahren Diamant Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007517832&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| work_keys_str_mv | AT stockelreinhard keimbildungundwachstumvonorientierttexturiertendiamantfilmen |