CVD-Wolfram-Aluminiumoxid-Cermetschichten für optisch selektive Absorber: Herstellung und Charakterisierung
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Köster
1997
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Beiträge zur Solarforschung
7 |
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VI, 138 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
1.
EINFUEHRUNG
UND
ZIELSETZUNG
1
2.
GRUNDLAGEN
5
2.1
SELEKTIVE
SCHICHTEN
5
2.1.1
DAS
KONZEPT
DER
OPTISCHEN
SELEKTIVITAET
5
2.1.2.
PHYSIKALISCHE
PRINZIPIEN
ZUR
ERZEUGUNG
EINER
OPTISCH
SELEKTIVIVEN
OBERFLAECHE
7
2.1.3
OPTISCHE
KONSTANTEN
METALLISCHER
PARTIKEL
IN
DIELEKTRISCHEN
MEDIEN
9
2.1.4
DER
REFLEXIONSGRAD
VON
SCHICHTSYSTEMEN
12
2.2
BESCHICHTUNGSVERFAHREN
14
2.2.1
CHEMICAL
VAPOUR
DEPOSITION
(CVD)
15
2.2.2
MODELLVORSTELLUNGEN
ZUM
CVD-VERFAHREN
16
2.2.3
CVD-WOLFRAM/WOLFRAMOXID
18
2.2.4
CVD
ALUMINIUMOXID
24
3.
EXPERIMENTELLES
30
3.1
AUFBAU
DER
CVD-APPARATUR
30
3.1.1
GASVERSORGUNG
32
3.1.2
PRECURSORQUELLEN
32
3.1.3
WOLFRAMHEXACARBONYL:
PARTIALDRUCKBESTIMMUNG
DURCH
OPTISCHE
ABSORPTION
33
3.1.4
AUFBAU
DER
PARTIALDRUCKMESSUNG
35
3.1.5
KALIBIRIERUNG
37
3.1.6
EMPFINDLICHKEIT
DES
AUFBAUS 39
3.1.7
ALUMINIUMTRIISOPROPYLAT:
AUFBAU
DER
DOSIEREINRICHTUNG
DOSIERUNG
40
3.1.8
REAKTIONSROHR
41
3.1.9
MASSENSPEKTROMETER
42
3.1.10
MOEGLICHKEITEN
ZUR
SCHICHTHERSTELLUNG
MIT
DEM
CVD-SYSTEM
44
3.2
HERSTELLUNG
UND
AUSLAGERUNG
VON
W-ALJOJ-CERMETS
45
3.2.1
SUBSTRATE
45
3.2.2
ABLAUF
DER
BESCHICHTUNG
45
3.3.3
TEMPERUNG
IN
WASSERSTOFF
46
3.4
ANALYSE
DER
PROBEN
48
3
4.1
SCHICHTDICKE
48
3.4.2
UNTERSUCHUNGSVERFAHREN
FUER
MIKROSTRUKTUR
UND
ZUSAMMENSETZUNG
51
3.4.3
EDX-ANALYSE
VON
DUENNEN
SCHICHTEN
52
3.4.4
MESSUNG
DER
OPTISCHEN
EIGENSCHAFTEN,
BENUTZTE
VERSUCHSAUFBAUTEN
57
4.
CHARAKTERISIERUNG
DES
CVD-PROZESSES
59
4.1
MASSENSPEKTROMETRISCHE
UNTERSUCHUNGEN
59
4.2
ABSCHEIDERATEN
66
4.2.1
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
66
4.2.2
KONZENTRATIONSABHAENGIGKEIT
68
4.3
ZUSAMMENSETZUNG
DER
CVD-SCHICHTEN
69
4.3.1
TEMPERATURABHAENGIGKEIT
69
4.3.2
KONZENTRATIONSABHAENGIGKEIT
70
4.4
GRADIENTENSCHICHTEN
71
4.5
STABILITAET
DER
CVD-SCHICHTEN
74
4.5.1
HAFTUNG
VON
CVD-W-SCHICHTEN
AUF
STAHL-SUBSTRATEN
BEI
TEMPERATURWECHSELBELASTUNG
4.5.2
HAFTUNG
DER
CENNET-SCHICHTEN
4.5.3
HAERTE
DER
CENNET-SCHICHTEN
74
75
75
5.
STRUKTURUNTERSUCHUNGEN
77
5.1
XPS-ANALYSEN
77
5.2
RASTERELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
AUFNAHMEN
80
5.3
TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPISCHE
AUFNAHMEN
83
5.4
ARM
88
5.5
DISKUSSION
DER
OBERFLAECHENAUFNAHMEN
89
5.6
ROENTGENBEUGUNGSUNTERSUCHUNGEN
90
6.
OPTISCHE
EIGENSCHAFTEN
94
6.1
METALLISCHE
CVD-WOLFRAM-SCHICHTEN
95
6.2
CERMET-FILME
NACH
DER
ABSCHEIDUNG
96
6.3
TEMPERUNG
DER
SCHICHTEN
IN
REINSTWASSERSTOFF
99
6.4
GRADIENTENSCHICHTEN
104
7
MODELLRECHNUNGEN
107
7.1
SIMULATION
DES
REFLEXIONSVERHALTENS
VON
CVD-CERMETSCHICHTEN
109
7.2
DER
FUELLFAKTOR
DER
METALLISCHEN
KOMPONENTE
110
7.3
OPTISCHE
KONSTANTEN
FUER
DIE
BERECHNUNG
DER
REFLEXIONSSPEKTREN
112
7.4
CVD-CERMETSCHICHTEN
NACH
DER
ABSCHEIDUNG
115
7.4.1
SIMULATION
EINES
EINFACHEN
ZWEISTOFFSYSTEMS:
W-ALJOJ
115
7.5
CVD-SCBICHTEN
NACH
AUSLAGERUNG
IN
WASSERSTOFF
117
7.5.1
SIMULATION
EINES
EINFACHEN
ZWEISTOFFSYSTEMS:
W-ALJOJ
117
7.5.2
SIMULATION
EINES
DREISTOFFSYSTEMS
POROESES
W-AI2O3
119
7.6
SPEKTRENSIMULATION
MIT
OPTISCHEN
DATEN
VON
'
WO/
121
7.7
MODELL
DER
AUSGELAGERTEN
SCHICHTEN
123
8.
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
125
9.
ANHANG
126
9.1
DIE
GUETE
VON
SELEKTIVEN
SCHICHTEN
BEI
HOHEN
ANWENDUNGSTEMPERATUREN
126
9.2
PHASENDIAGRAMM
DES
SYSTEMS
WOLFRAM-SAUERSTOFF
131
10.
LITERATURVERZEICHNIS
132 |
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