Ein Beitrag zur Beschreibung von Diffusionsprozessen in den Dünnschichtsystemen Cu-Ni-Au und CuSn6-Ni-Au:
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| Format: | Buch |
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1996
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| Beschreibung: | Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
1
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG UND ZIELSETZUNG 4
2 GRUNDLAGEN 6
2.1 CHEMISCHE DIFFUSION . 6
2.2 DIFFUSIONSSTADIEN. 8
2.2.1 DIFFUSIONSSTADIEN FUER STATIONAERE KORNGRENZEN. 8
2.2.2 DIFFUSIONSSTADIEN FUER MIGRIERENDE KORNGRENZEN. 11
2.3 DIFFUSIONSKURZSCHLUESSE . 14
2.4 DIFFUSIONSBARRIEREN.20
2.5 DAS SYSTEM CU-AU.23
2.5.1 DAS CU-AU-PHASENDIAGRAMM . 23
2.5.2 CHEMISCHE DIFFUSION IM CU-AU-DUENNSCHICHTSYSTEM IM STADIUM
B
. 24
2.6 DAS SYSTEM CU-NI .26
2.6.1 DAS CU-NI-PHASENDIAGRAMM. 26
2.6.2 CHEMISCHE DIFFUSION IM CU-NI-DUENNSCHICHTSYSTEM IM STADIUM
B .
27
2.7 ZUSAMMENFASSUNG DER DATEN DER SYSTEME CU-AU UND CU-NI.29
2.8 DAS SYSTEM NI-AU. 30
2.8.1 DAS NI-AU-PHASENDIAGRAMM. 30
2.8.2 CHEMISCHE DIFFUSION IM NI-AU-DUENNSCHICHTSYSTEM IM STADIUM
B
. 30
2.9 DAS SYSTEM CU-NI-AU. 32
2.9.1 DAS CU-NI-AU-PHASENDIAGRAMM.32
2.9.2 CHEMISCHE DIFFUSION IM CU-NI-AU-DUENNSCHICHTSYSTEM IM STADIUM
B
32
3 MODELLE ZUR KORNGRENZENDIFFUSION 38
3.1 BISHERIGE MODELLVORSTELLUNGEN. 38
3.1.1 MODELL EINER ISOLIERTEN KORNGRENZE NACH FISHER.38
3.1.2
MODELL POLYKRISTALLINEN MATERIALS NACH LEVINE/MACCALLUM . 40
3.1.3 KORNGRENZENMODELL NACH
HWANG/BALLUFFI
.41
3.2 ENTWICKLUNG EINES MODELLS FUER DAS SCHICHTSYSTEM A/B/C.43
3.2.1 PHAENOMENOLOGISCHES MODELL.43
3.2.2 MATHEMATISCH-PHYSIKALISCHES MODELL.45
3.2.3 NUMERISCHE SIMULATION MITTELS FINITE DIFFERENZEN VERFAHREN
. 47
3.2.4 AKTIVITAETSKOEFFIZIENTEN IN DEN SYSTEMEN CU-NI, CU-AU UND NI-AU .
51
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/949431117
INHA LTSVERZEICHNIS
2
3.2.5 ZUM PHAENOMEN DER BERGAUFDIFFUSION. 55
4 ERGEBNISSE DER NUMERISCHEN SIMULATION 60
4.1 VERGLEICH MIT ANALYTISCHEN LOESUNGEN . 60
4.2 BERECHNUNG DER CU-KONZENTRATIONS- UND -STROMENTWICKLUNG.61
4.2.1 BERECHNUNG DER ECU - A: - Y-ENTWICKLUNG.61
4.2.2 BERECHNUNG DER CC
U - T-ENTWICKLUNG.63
4.2.3 BERECHNUNG DER JCU
- X - Y-ENTWICKLUNG.65
4.2.4 BERECHNUNG DER JCU -
T-ENTWICKLUNG.68
4.2.5 FEHLEREINFLUSS DER WEG- UND ZEITSCHRITTWEITE.69
4.3 SIMULATION VON KORNGRENZENBEWEGUNGEN. 70
4.4 SIMULATION EINER ANREGUNGSBIRNE . 74
4.5
VERGLEICH MIT EXPERIMENTELLEN DATEN VON
PINNEL/J3ENNETT
.
75
4.6 VARIATION DER RANDBEDINGUNGEN UND DIFFUSIONSPARAMETER.80
4.6.1 VARIATION DER RANDBEDINGUNGEN. 80
4.6.2 VARIATION AUSGEWAEHLTER DIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN. 84
5 EXPERIMENTE UND VERGLEICHENDE SIMULATION 8.8
5.1 EXPERIMENTELLE HERANGEHENSWEISE. 88
5.2 UNTERSUCHUNGEN AM SCHICHTSYSTEM CU/NI/AU. 89
5.2.1 PROBENHERSTELLUNG.89
5.2.2 PROBENCHARAKTERISIERUNG. 90
5.2.3 450C-DIFFUSIONSUNTERSUCHUNGEN. 93
5.2.4 VERGLEICHENDE SIMULATION.101
5.2.5 300C-DIFFUSIONSUNTERSUCHUNGEN.103
5.2.6 VERGLEICHENDE SIMULATION.105
5.3 UNTERSUCHUNGEN AM SCHICHTSYSTEM CUSN6/NI/AU.107
5.3.1 PROBENHERSTELLUNG.107
5.3.2 PROBENCHARAKTERISIERUNG.107
5.3.3 300 C-DIFFUSIONSUNTERSUCHUNGEN.110
5.3.4 VERGLEICHENDE SIMULATION.118
5.4 VERGLEICH DER SYSTEME CU/NI/AU UND CUSN6/NI/AU .119
5.5 VERGLEICH DER ANALYTIKMETHODEN.120
6 GRENZEN DES MODELLS UND FEHLERQUELLEN
122
INHA LTSVERZEICHNIS
3
7 ZUSAMMENFASSUNG 126
A ANHANG 129
A.L HAEUFIG GEBRAUCHTE ABKUERZUNGEN UND SYMBOLE.129
A.2 EINIGE AUSGEWAEHLTE EIGENSCHAFTEN DER ELEMENTE CU, NI UND AU.131
A.3 ENTHALPIEAENDERUNG IN DEN SYSTEMEN NI-AU, NI-CU UND CU-AU.131
A.4 ANFANGS- UND RANDBEDINGUNGEN ZUR BERECHNUNG DER NI- UND
AU-KONZENTRATION 132
A.5 HERLEITUNG DES VORFAKTORS | .133
A.6 BELEGUNG DER DIFFUSIONSKOEFFIZIENTEN DJ,
D2, D2 UND D4.134
A.7 PROGRAMMABLAUFPLAN FUER CU-KONZENTRATIONSBERECHNUNG MITTELS FDM .
135
A.8 ZEITLICHE 2D-CC
U*ENTWICKLUNG EINER 29 SSM CU / 18 SSM NI / 25 /AN AU-
SANDWICHPROBE BEI 400 C-GLUEHUNG.136
A.9 ZEITLICHE 2D-CC
U-ENTWICKLUNG EINER 29 SSM CU / 18 SSM NI / 25 /TM AU-
SANDWICHPROBE BEI 400 C-GLUEHUNG, CU- UND AU-KORNGRENZENBEWEGUNG . . 138
A.10 LICHT- UND ELEKTRONENMIKROSKOPISCHE ABBILDUNGEN.143
A.LL 2D-CNI-
UND 2D-CAU-KONZENTRATIONSVERLAUF EINER 29
SSM
CU
/ 18 SSM
NI
/
25 SSM AU-SANDWICHPROBE BEI 400 C-GLUEHUNG NACH 80 D.157
LITERATUR 158
ABBILDUNGSVERZEICHNIS 167
TABELLENVERZEICHNIS
171 |
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| title_fullStr | Ein Beitrag zur Beschreibung von Diffusionsprozessen in den Dünnschichtsystemen Cu-Ni-Au und CuSn6-Ni-Au vorgelegt von Thomas Spann |
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| title_short | Ein Beitrag zur Beschreibung von Diffusionsprozessen in den Dünnschichtsystemen Cu-Ni-Au und CuSn6-Ni-Au |
| title_sort | ein beitrag zur beschreibung von diffusionsprozessen in den dunnschichtsystemen cu ni au und cusn6 ni au |
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