Untersuchung der Gitterplatzbesetzung von Fremdatomen nach Implantation in Beryllium-Einkristallen:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1996
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5805 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1996 |
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I
INHALT
S
VERZEICHNIS
1
EINLEITUNG
1
2
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
4
2.1
IONENIMPLANTATION
.
5
2.1.1
ELEKTRONISCHER
ENERGIEVERLUST
.
5
2.1.2
NUKLEARER
ENERGIEVERLUST
.
7
2.1.3
DEFEKTERZEUGUNG
.
8
2.1.4
KASKADENMODELLE
.
9
2.2
RUTHERFORD-RUECKSTREUUNG
.
11
2.2.1
PRINZIP
DER
RUTHERFORD-RUECKSTREUSPEKTROMETRIE
.
11
2.2.2
MASSENTRENNUNG
.
12
2.2.3
TIEFENSKALIERUNG
UND
ENERGIEVERLUST
.
13
2.2.4
ATOMARE
ZUSAMMENSETZUNG
.
14
2.3
CHANNELING
.
16
2.3.1
KLASSISCHES
KONTINUUMMODELL
.
17
2.3.2
MONTE-CARLO
SIMULATION
.
20
2.3.3
ANWENDUNGEN
DES
CHANNELING-EFFEKTS
.
20
2.4
DIE
ACP-STRUKTUR
DES
BERYLLIUMS
.
21
2.5
FREMDATOM-PUNKTDEFEKT-WECHSELWIRKUNGEN
.
23
2.6
MODELLE
ZUR
GITTERPLATZBESSETZUNG
IMPLANTIERTER
FREMDATOME
.
25
2.6.1
ERSETZUNGSSTOSSTHEORIE
.
26
2.6.2
MIEDEMA
MODELL
.
28
2.6.3
VOLUMENFEHLANPASSUNGSENERGIE
.
29
3
EXPERIMENTELLES
31
3.1
EXPERIMENTELLE
ANORDNUNG
.
31
3.1.1
VAN
DE
GRAAFF-BESCHLEUNIGER
UND
LONENBESCHLEUNIGER
.
31
II
I
NHALTSVERZEICHNIS
3.1.2
TIEFTEMPERATUR
UND
DREIACHSENGONIOMETER
.
33
3.2
PROBENPRAEPARATION
.
33
3.3
AUSWAHL
DER
LONENSORTEN
.
34
4
RESULTATE
UND
DISKUSSION
35
4.1
GITTERPLATZBESETZUNG
IMPLANTIERTER
FREMDATOME
.
35
4.1.1
GOLD,
ZINK
UND
MANGAN
.
35
4.1.2
INDIUM
.
40
4.1.3
BISMUT
.
42
4.1.4
JOD
.
45
4.1.5
CALCIUM
.
46
4.1.6
XENON
.
48
4.1.7
QUECKSILBER
.
49
4.1.8
GALLIUM,
ANTIMON
UND
TELLUR
.
50
4.1.9
CHLOR
.
53
4.2
DISKUSSION
DER
GITTERPLATZBESETZUNG
.
55
4.3
TIEFENABHAENGIGKEIT
DER
GITTERPLATZBESETZUNG
.
60
4.4
NACHBESTRAHLUNGSEXPERIMENTE
.
66
4.4.1
NACHBESTRAHLUNG
DER
HOCHDOSIS
BI-IMPLANTATION
.
66
4.4.2
NACHBESTRAHLUNG
DER
XE-TIEFTEMPERATURIMPLANTATION
.
68
4.4.3
NACHBESTRAHLUNG
DER
ZN-TIEFTEMPERATURIMPLANTATION
.
69
4.4.4
ZUSAMMENFASSENDE
DISKUSSION
DER
NACHBESTRAHLUNGEN
.
70
4.5
SCHAEDIGUNG
DES
WIRTSGITTERS
.
71
5
ZUSAMMENFASSUNG
75
LITERATURVERZEICHNIS
79 |
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