Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1996
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Lasertechnik
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | VIII, 192 S. Ill., graph. Darst. |
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INHALTSVERZEICHNIS
FORMELZEICHEN
V
1
EINLEITUNG
1
1.1
THEMA
.
1
1.2
INDUSTRIELLER
HINTERGRUND
.
3
1.2.1
STAND
DER
TECHNIK
.
'.
.
4
1.2.2
NEUE
PRODUKTE
.
5
1.3
EINSATZ
DER
LASERTECHNIK
.
8
1.4
ZIELSETZUNG
.
9
2
WERKSTOFFE
UND
DUENNSCHICHTEN
13
2.1
WERKSTOFFKLASSIFIZIERUNG
.
13
2.2
HERSTELLUNG
VON
SCHICHTEN
UND
SCHICHTSYSTEMEN
.
15
2.2.1
LASERUNTERSTUETZTE
VERFAHREN
.
15
2.2.2
WEITERE
VERFAHREN
.
18
2.3
STRUKTURIERUNG
.
21
2.3.1
LASERUNTERSTUETZTE
VERFAHREN
.
21
2.3.2
WEITERE
VERFAHREN
.
22
3
APPARATIVES
23
II
INHALTSVERZEICHNIS
3.1
PLD
PROZESSSYSTEM
.
23
3.1.1
STRAHLQUELLE UND
VAKUUMSYSTEM
.
23
3.1.2
DC-ENTLADUNG
.
28
3.2
PLASMAEMISSIONSSPEKTROSKOPIE
.
30
3.3
HYSTERESE-MESSPLATZ
.
30
3.4
BEARBEITUNGSSYSTEM
ZUR
STRUKTURIERUNG
.
34
3.4.1
STRAHLFUEHRUNG
UND
-FORMUNG
.
34
3.4.2
VAKUUMSYSTEM
.
36
3.4.3
MIKROPOSITIONIERUNG
UND
LASERSTEUERUNG
.
37
4
MODELLBILDUNG
ZUM
PLD-PROZESS
41
4.1
MATERIALABTRAG
.
41
4.1.1
WAERMELEITUNG
UND
ABTRAGSCHWELLE
.
43
4.1.2
ABTRAGMENGEN
.
43
4.2
LASERINDUZIERTES
PLASMA
.
45
4.2.1
PLASMAABSORPTION
.
45
4.2.2
ISOTHERME
EXPANSION
.
53
4.2.3
ADIABATISCHE
EXPANSION
.
57
4.2.4
ADIABATISCHE
EXPANSION
IM
HYDRODYNAMISCHEN
MODELL
.
63
4.2.5
GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNG
UND
TEMPERATUR
.
68
4.2.6
WECHSELWIRKUNG
MIT
DEM
PROZESSGAS
.
70
5
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
73
5.1
EMISSIONSSPEKTREN
.
73
5.2
RADIALE
VERTEILUNG
.
75
5.3
FLUGZEITMESSUNGEN
.
78
INHALTSVERZEICHNIS
III
5.4
BEEINFLUSSUNG
DURCH
EIN
DC-POTENTIAL
.
85
5.5
ENERGIEBILANZ
.
91
5.6
DISKUSSION
.
93
6
SCHICHTABSCHEIDUNG
MIT
DEM
PLD-VERFAHREN
97
6.1
PROBENVORBEHANDLUNG
.
97
6.2
SCHICHTABSCHEIDUNG
.
101
6.3
SCHICHTCHARAKTERISIERUNG
.
103
6.3.1
SCHICHTDICKENVERTEILUNG
.
103
6.3.2
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE
.
106
6.3.3
CHEMISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
110
6.3.4
STRUKTURELLE
EIGENSCHAFTEN
.
114
6.3.5
MIKRO-RAMAN-SPEKTROSKOPIE
.
120
6.3.6
TEM
.
123
6.3.7
ELEKTRISCHE
EIGENSCHAFTEN
.
125
6.4
DISKUSSION
.
131
6.5
EFFEKTIVITAET
DES
PLD-PROZESSES
.
132
7
STRUKTURIERUNG
135
7.1
BULKMATERIAL
.
135
7.2
SCHICHTSYSTEME
.
135
7.2.1
OBERFLAECHENEIGENSCHAFTEN
.
135
7.2.2
TIEFENKONTROLLE
.
136
7.2.3
DEBRIS
.
137
7.3
APPLIKATIONSBEISPIELE
.
139
DISKUSSION
141
IV
INHALTSVERZEICHNIS
ZUSAMMENFASSUNG
145
A
OPTISCHER
AUFBAU
147
B
ENERGIEERWARTUNGSWERT
149
C
LOESUNGEN
DER
EGGERT-SAHA-GLEICHUNG
151
D
PLASMAAUSDEHNUNG
157
E
OPTISCHE
DICHTE
159
F
ADIABATISCHE
EXPANSION
161
G
EMISSIONSSPEKTROSKOPIE
163
H
GESCHWINDIGKEITSVERTEILUNGEN
165
I
STRUKTURUNTERSUCHUNGEN
169
J
HYSTERESESCHLEIFEN
171
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
173
LITERATURVERZEICHNIS
181 |
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