Vorionisation von Excimer-Lasergasen mit Hilfe der stillen Entladung:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
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| Beschreibung: | Stuttgart, Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
VERZEICHNIS
DER
VERWENDETEN
FORMELZEICHEN
UND
ABKUERZUNGEN
V
AUFGABENSTELLUNG
1
1
EINLEITUNG
2
1.1
DER
EXCIMERLASER,
PHYSIKALISCHE
GRUNDLAGEN
.
2
1.2
PUMPEN
VON
EXCIMERLASERN
.
4
1.2.1
PUMPEN
MIT
HILFE
EINER
ELEKTRISCHEN
GASENTLADUNG
.
4
1.2.1.1
DIE
ENTLADUNG
IM
TEA-EXCIMERLASER
.
6
1.2.2
PUMPEN
MIT
HILFE
EINES
ELEKTRONENSTRAHLES
.
7
1.2.3
PUMPEN
MIT
HILFE
VON
MIKROWELLEN
.
8
1.3
VORIONISATIONSSYSTEME
VON
GASENTLADUNGSLASERN
.
10
1.3.1
PRINZIPIELLE
ANFORDERUNGEN
AN
DAS
VORIONISATIONSSYSTEM
.
10
1.3.2
VORIONISATION
MIT
HILFE
EINER
FUNKENENTLADUNG
.
11
1.3.3
VORIONISATION
MIT
HILFE
EINER
KORONAENTLADUNG
.
12
1.3.4
VORIONISATION
MIT
HILFE
DER
STILLEN
ENTLADUNG
.
13
1.3.5
VORIONISATION
MIT
HILFE
EINER
ENTLADUNG
AUF
EINER
ISOLATOROBERFLAECHE
.
16
1.3.6
VORIONISATION
MIT
HILFE
EINER
ENTLADUNG
AUF
DER
OBERFLAECHE
EINES
HALB
LEITERS
18
1.3.7
VORIONISATION
MIT
HILFE
EINES
LASERS
.
19
1.3.8
VORIONISATION
MIT
HILFE
VON
ROENTGENSTRAHLUNG
.
21
1.4
ZUSAMMENFASSUNG
UND
VERGLEICH
.
22
2
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
IN
EINER
ENTLADUNGSKAMMER
24
2.1
VERSUCHSAUFBAU
.
24
2.2
VERSUCHSDURCHFUEHRUNG
.
25
2.3
ERGEBNISSE
.
25
2.3.1
ABHAENGIGKEIT
VOM
HCL-PARTIALDRUCK
.
26
2.3.2
ABHAENGIGKEIT
VOM
GESAMTDRUCK
.
27
3
MODELLMAESSIGE
BESCHREIBUNG
DER
VORIONISATION
28
3.1
BERECHNUNG
DER
ANFANGSELEKTRONENDICHTE
.
28
3.2
EINFLUESSE
RELEVANTER
PARAMETER
AUF
DIE
MESSUNGEN
.
34
4
BESTIMMUNG
DER
VORIONISATIONSELEKTRONENDICHTE
37
4.1
AUSWERTUNGSSTRATEGIE
.
37
4.2
ERGEBNISSE
DER
ANPASSUNGSRECHNUNG
.
38
4.3
BESTIMMUNG
DER
ELEKTRONENBEWEGLICHKEIT
.
38
4.4
DISSOZIATIVE
ANLAGERUNG
VON
ELEKTRONEN
.
40
4.5
BESTIMMUNG
DER
ANFANGSELEKTRONENDICHTE
.
.
,
.
42
4.6
BESTIMMUNG
DER
ABSORPTION
VON
IONISIERENDER
VUV-STRAHLUNG
.
45
4.7
INTERPRETATION
DER
ERGEBNISSE
.
51
5
REALISIERUNG
EINES
EXCIMERLASERS
54
5.1
AUFBAU
DES
LASERS
.
54
5.1.1
GASVERSORGUNG
.
54
5.1.2
PULSFORMENDES
NETZWERK
.
54
5.1.3
LASERKOPFGEHAEUSE
.
56
5.1.4
HAUPTENTLADUNGSELEKTRODEN
.
56
5.1.5
VORIONISATIONSELEKTRODEN
.
57
5.1.6
OPTISCHER
RESONATOR
.
59
6
EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN
AM
EXCIMERLASER
60
6.1
ZEITLICHER
ABSTAND
ZWISCHEN
VORIONISATIONS
UND
HAUPTENTLADUNG
.
60
6.1.1
BESTIMMUNG
DES
HAUPTENTLADUNGSSTROMES
.
61
6.1.2
ELEKTRONENVERVIELFACHUNGSZEIT
R
OV
.
62
6.2
ANORDNUNG
DER
VORIONISATIONSELEKTRODEN
.
65
6.2.1
BESTIMMUNG
DER
PULSENERGIE
.
66
6.2.2
ABHAENGIGKEIT
DER
PULSENERGIE
VON
DER
VORIONISATIONSELEKTRONENDICHTE
67
6.3
BESTIMMUNG
VON
PULSENERGIE
UND
WIRKUNGSGRAD
.
68
6.3.1
BESCHALTUNG
DES
PULSFORMENDEN
NETZWERKES
.
68
6.3.2
EINFLUSS
DER
LADESPANNUNG
.
70
6.3.3
EINFLUSS
DES
GASDRUCKES
.
70
A
VORIONISATIONSELEKTRONENDICHTE
73
A.L
MESSERGEBNISSE
UND
BERECHNETE
WERTE
.
73
B
AUFBAU
DES
XECL-EXCIMERLASERS
81
B.L
AUFBAU
DES
LASERKOPFES,
KONSTRUKTIONSZEICHNUNGEN
.
81
B.2
HOCHSPANNUNGSVERSORGUNG
.
86
C
PHYSIK
DER
GASENTLADUNGEN
87
C.L
GRUNDLAGEN
.
87
C.2
STROM
-
SPANNUNGS
-
CHARAKTERISTIK
EINES
GASES
.
88
C.2.1
GLIMMENTLADUNG
.
88
C.2.
2
BOGENENTLADUNG
.
88
C.2.3
STREAMERENTLADUNG
.
89
C.2.4
FUNKENENTLADUNG
.
89
C.2.
5
KORONAENTLADUNG
.
90
C.2.
6
STILLE
ENTLADUNG
.
90
LITERATURVERZEICHNIS
93 |
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