Wege zu vergleichbaren Rauheitsprofilen bei der Messung mit mechanischen und optischen Tastern:
Gespeichert in:
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Sprache: | German |
Veröffentlicht: |
1996
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Beschreibung: | München, Techn. Univ., Diss., 1996 |
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INHALTSVERZEICHNIS
V
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG
1
1.1 MOTIVATION . 1
1.2 AUFBAU DER ARBEIT. 2
1.3 STAND DER TECHNIK . .-. 2
1.4 SIGNALFLUSS BEI DER MESSUNG. 3
2 MODELLE DER BETRACHTETEN SYSTEME 5
2.1 MECHANISCH BERUEHRENDER TASTER. 5
2.1.1 FUNKTIONSPRINZIP. 5
2.1.2 ZEITLICHES VERHALTEN . 7
2.1.3 OERTLICHES VERHALTEN. 13
2.2 LASER-AUTOFOKUS-TASTER . 16
2.2.1 FUNKTIONSPRINZIP. 16
2.2.2 ZEITLICHES VERHALTEN . 22
2.2.3 OERTLICHES VERHALTEN. 23
3 VERMESSUNG DES ZEITLICHEN VERHALTENS 32
3.1 MESSAUFBAU. 32
3.2 MECHANISCH BERUEHRENDER TASTER. 36
3.3 LASER-AUTOFOKUS-TASTER . 39
4 VERMESSUNG DES OERTLICHEN VERHALTENS 42
4.1 MESSAUFBAU . 42
4.1.1 DERX/Y-TISCH. 42
4.1.2 KALIBRIEREN DES GEMEINSAMEN STARTPUNKTES
. 47
4.2 YYLOCH". 49
4.2.1 MECHANISCH BERUEHRENDER TASTER. 49
4.2.2 LASER-AUTOFOKUS-TASTER. 50
4.3 RAUHEITSNORMAL HA3. 54
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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VI
INHALTSVERZEICHNIS
5 ANPASSUNG DES VERHALTENS 61
5.1 TESTPROGRAMM . 61
5.1.1 PROBEN . 62
5.1.2 BEWERTUNG DER PROFILAEHNLICHKEIT. 62
5.2 ANPASSUNG DES ZEITLICHEN VERHALTENS. 63
5.3 ANPASSUNG DES OERTLICHEN VERHALTENS. 69
5.3.1 HEURISTISCHE FILTERUNG BEIM OPTISCHEN TASTER . 69
5.3.2 KORREKTUR MIT LINEARER ORTSUEBERTRAGUNGSFUNKTION . 74
5.3.3 KORREKTURMOEGLICHKEIT MIT NICHTLINEARER ORTSUEBER
TRAGUNGSFUNKTION . 81
5.4 VERGLEICH DER ANPASSUNGS-VERFAHREN. 86
6 ZUSAMMENFASSUNG 91 |
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