Wengelink, J. (1996). Photolithographie mit semitransparenten Masken: Entwicklung einer Methode zur photolithographischen Erzeugung reliefartiger Strukturen für Elemente der integrierten Optik (1. Aufl.). Cuvillier.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wengelink, Jörg. Photolithographie Mit Semitransparenten Masken: Entwicklung Einer Methode Zur Photolithographischen Erzeugung Reliefartiger Strukturen Für Elemente Der Integrierten Optik. 1. Aufl. Göttingen: Cuvillier, 1996.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wengelink, Jörg. Photolithographie Mit Semitransparenten Masken: Entwicklung Einer Methode Zur Photolithographischen Erzeugung Reliefartiger Strukturen Für Elemente Der Integrierten Optik. 1. Aufl. Cuvillier, 1996.
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