Charakterisierung der elektroneninduzierten Wolframabscheidung für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Mikrofilm Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1996
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| Ausgabe: | [Mikrofiche-Ausg.] |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Berlin, Techn. Univ., Diss. 1996. - Mikrofiche-Ausg.: 2 Mikrofiches : 24x |
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